装置名 | メーカー | 型番等 | |
---|---|---|---|
100 | 低損傷ナノ加工装置 | Epion corporation | |
101 | 低損傷ナノ加工装置 | Epion corporation | |
102 | 蒸着装置 | 神港精機 | EG-3 |
103 | 電子ビーム蒸着装置 | ULVAC | EBV-6CH |
104 | 真空蒸着装置 | ULVAC | VPC-410 |
105 | イオンミキシング蒸着装置 | 日立 | IVD20/30・2/80-DE |
106 | スパッタ装置 | Kenix | ITO用 |
107 | シリコン単結晶引上装置 | テクノサーチ | TCR-5C |
108 | プラズマCVD装置 | サムコ | PD-220NL |
109 | 卓上型単結晶育成装置 | キャノンマシナリー | |
110 | ミストCVD成膜装置 | 陶喜 | |
111 | 電子ビーム真空蒸着装置 | ULVAC | |
112 | 赤外線加熱炉 | 理学 | |
113 | ミクロトーム | Leica | ULTRACUT-UCT |
114 | 精密カッター | マルトー | ミリオンカッター2 MC-503N |
115 | 精密切断機 | BUEHLER ISOMET | |
116 | 超精密研磨装置 | ムサシノ電 | 子 MA-200D |
117 | スラリードリル | SOUTH BAY TECHNOLOGY | SBT360 |
118 | ディンプルグラインダー | GATAN | Model 656 |
119 | 電解研磨装置 | 日本電子 | JET-N |
120 | 熱間等方圧プレス | 神戸製鋼所 | Dr.HIP |
121 | 電子ビーム露光装置 | Elionix | ELS-3700M |
122 | PZT・Ti/Ptスパッタ | ULVAC | CS-200特 |
123 | 5源汎用スパッタ | Eiko | ES-250B |
124 | シリコンドライエッチング装置 | 住友精密 | MCU-21 |
125 | 汎用ドライエッチング装置 | サムコ | RIE-101HU |
126 | XeF2シリコンエッチング装置 | サムコ | CPE-4F |
127 | ウエハボンダ | アユミ工業 | 特注 |
128 | チップボンダ | Hisol | Model-95 |
129 | ウエハ精密研磨装置 | Logitech | PM-5 |
130 | クロムマスク作製装置 | 日本精工 | TZ-220 |
131 | 片面プロキシミティアライナ | キヤノン | PLA-501 |
132 | 両面コンタクトアライナ | ユニオン光学 | PEM-800 |
133 | 投影型露光装置 | ユメックス | 特注 |
134 | 汎用2源スパッタ | JEOL | JEC-SP360R |
135 | 減圧CVD装置 | 武蔵工業 | IX-200 |
136 | プラズマCVD装置 | サムコ | PD-240 |
137 | 高速赤外線熱処理炉 | サムコ | HT-1000 |
138 | 陽極接合装置 | ユニオン光学 | ー |
139 | ダイシングソー | 東京精密 | A-WD-10 |
140 | 超音波ワイヤーボンダ | Westbond | 7400A |
141 | ロータリーエバポレーター | ヤマト科学 | RE540 |
142 | 乾燥器 | アズワン | DO-450C |
装置名 | メーカー | 型番等 | |
---|---|---|---|
200 | 超短パルスTi:Sレーザー(15fs) | KMLabs | Grrifine |
201 | SHG,2光子蛍光顕微鏡 | Olympus | BX50, IX70 |
202 | 蛍光寿命測定装置 | 堀場製作所 | Fluorocube 3000μ |
203 | 分光蛍光光度計 | Hitachi | F4500 |
204 | 表面形状計測装置 | 菱化システム | VertScan RBX3300HL-Liteシステム |
205 | 紫外可視分光光度計 | 島津 | U3000 |
206 | 電気化学アナライザー | ALS | 630C |
207 | 蛍光寿命測定装置 | 堀場 | NAES550 |
208 | 蛍光分光光度計 | 日立 | F-7000 |
209 | 赤外吸収スペクトル装置 | サーモニコレー | iS50 FT-IR Analytical |
210 | ガスクロマトグラフィー | Agilent | 7820A |
211 | 保管用冷蔵庫 | ホシザキ電機 | HR-120ZT-ML |
212 | 蒸気ボイラ | 前田鉄工所 | SAK-A25NL-L |
213 | 嫌気性消化試験装置 | アドバンテック東洋 | AF10-2 |
214 | 光学顕微鏡 | オリンパス | BX53-55-FL-3 |
215 | ポータブルガスアナライザー | Geotech | BM5K-00A0-000 |
216 | DPSSグリーンレーザー | 日本レーザー | DPGL-600 |
217 | 高速度ビデオカメラ | DITECT | HAS-L2 |
218 | フーリエ変換赤外分光システム | 日本分光 | FT/IR-4200MSE, IRT5000SIN |
219 | 紫外可視赤外分光光度計 | 日本分光 | V-670SIN |
220 | ICP-MS アジレント | Agilent | 7700 ICP-MS |
221 | 昇温脱離ガス分析装置(TDS)1 | 自作 | |
222 | 昇温脱離ガス分析装置(TDS)2 | 自作 | |
223 | 昇温脱離ガス分析装置(TDS)3 | 自作 | |
224 | 瞬間マルチ測光システム | 大塚電子 | MCPD-7000KA |
225 | テープ試験機 | 自作 | |
226 | ウルトラミクロ天秤 | メトラー | XP2U |
227 | 極表面X線構造解析装置 | アルバックファイ | PHI500 VersaProbe |
装置名 | メーカー | 型番等 | |
---|---|---|---|
300 | 抵抗率/シート抵抗測定器 | ナプソン | RT-70/RG-7 |
301 | ライフタイム測定器 | SEMILAB | WT-2000 |
302 | ソーラーシミュレーターシステム | 分光計器 | SMT-300 |
303 | 少数キャリア寿命測定装置 | Sinton | WCT-120 |
304 | 振動試料型磁力計(VSM) | 東英工業 | VSM-5 |
305 | 電流磁気効果測定装置(MR) | 東栄科学産業 | MR-L350 |
306 | B-Hループトレーサー | ネオアーク株式会社 | BH-403AG |
307 | ソーラ-シミュレータ | 三永電機 | XES-502S |
308 | 電気化学水晶振動子マイクロ天秤(EQCM) | 北斗電工 | HQ-101D |
309 | 電気化学測定装置 | 北斗電工 | HZ-5000 |
310 | 電気化学測定装置 | 北斗電工 | Bio-Logic VSP |
装置名 | メーカー | 型番等 | |
---|---|---|---|
400 | ICCDカメラ | 浜松ホトニクス | C4346 |
401 | 原子間力顕微鏡 | 日本ビーコ | Nanoscope IIIa |
402 | FTIR | 島津製作所 | IR Affinity-1 |
403 | 分光エリプソメーター | 堀場 | Jovin Ybon UVISEL |
404 | デジタルマイクロスコープ | Hirox | KH-1300 |
405 | 接触式段差型 | Veeco | Dektak3 |
406 | 光干渉顕微鏡 | Veeco | WYKO HD-2000 |
407 | 赤外顕微鏡 | JASCO | IRT-3000BASE |
408 | 汎用SEM | 日本電子 | JSM-6010Plus/LV |
409 | 分析走査電子顕微鏡システム | 日本電子 | JSM-6610/EBIC/EBSD |
410 | ストークス型エリプソメーター | ガートナー | LSE-YHA |
411 | X線マイクロアナライザー(EPMA) | 日本電子(株) | JXA8900M |
412 | 精密薄膜段差計 | KLA-Tencor | P-6 |
413 | 共焦点顕微鏡 | Lasertec | H1200 |
414 | 圧電特性評価用原子間力顕微鏡 | Veeco /aixAcct | Nanoscope/TFA2000 |
415 | 白色干渉表面プロファイラー | Zygo | NewView 6300 |
416 | EDX付きSEM | JEOL | JSM6510LA |
417 | 電界放射型SEM | 日立 | S-5000H |
418 | 高速液体クロマトグラフ | 島津 | SPD-10AV |
装置名 | メーカー | 型番等 | |
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900 | オートクレーブ | トミー精工 | LSX-300 |
901 | X線回折装置 | リガク | SmartLab |
902 | X線回折装置 | リガク | UltimaIV |
903 | X線回折装置 | リガク | RINT-2200 |
904 | X線回折装置 | ブルカー・エイエックスエス | D8 Discover Hybrid |
905 | ナノカーボン成長装置置 | ケニックス置 | 特注 |
906 | 電気管状炉 | アズワン | TMF-300N |