電気系工学専攻・回路システム工学部門・准教授　藤田孝之（ふじた たかゆき/ Takayuki Fujita）の情報　（2008年8月14日　18時15分更新）

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学歴

学位

  • 「マイクロマシニングによるジャイロスコープとその集積化に関する研究」　姫路工業大学 博士（工学）

職歴

  • 財団法人 大阪府研究開発型企業振興財団 スーパーアイイメージセンサプロジェクト 研究員
  • 姫路工業大学工学部 電子工学科 助手
  • 姫路工業大学大学院工学研究科 電気系工学専攻 助手
  • 姫路工業大学大学院工学研究科 講師資格認定
  • 兵庫県立大学大学院工学研究科 電気系工学専攻 助手
  • 兵庫県立大学大学院工学研究科 電気系工学専攻 助教
  • 兵庫県立大学大学院工学研究科 電気系工学専攻 准教授
  • [独]科学技術振興機構　ERATO前中センシング融合プロジェクト　兼務グループリーダ　現在に至る

担当科目

  • 2007〜現在　「電子回路I」
  • 2007〜現在　「超高速電子回路」（博士前期開講科目）
  • 2007〜現在　「電気系工学特別演習C」（博士前期開講科目）
  • 2005〜現在　「電気系実験I」
  • 2004〜現在　「電気系工学特別実験C」（博士前期開講科目）
  • 2004〜現在　「情報処理演習II」
  • 2001〜2004年度　「電子工学実験I」
  • 2001〜2004年度　「電気系工学特別実験C」（博士前期開講科目）
  • 2001〜2003年度　「情報リテラシー」

所属学会

委員，役職など

  1. 平成14〜15年度, JEITAナノテクノロジーとセンシング技術調査専門委員会 幹事
  2. 平成14年度〜現在, センシング技術応用研究会MEMS技術分科会 幹事
  3. 平成19年度〜現在, 電気学会センサマイクロマシン部門　論文査読委員
  4. 平成19年度〜現在, 電気学会センサマイクロマシン部門　フィジカルセンサ技術委員会 幹事補佐
  5. 平成19年度〜現在, 電気学会センサマイクロマシン部門　社会システムの安全・安心に貢献するセンシング技術調査専門委員会 幹事

受賞

研究業績

学術論文

  1. T. Fujita, K. Masaki and K. Maenaka, "Human Acivity Monitoring System Using MEMS Sensors and Machine Learning," 知能と情報（日本知能情報ファジィ学会誌，20 (1), 3-8 (2008).
  2. 藤田孝之, 柾木健太郎, 前中一介, "MEMSセンサを用いた宅配便輸送環境モニタシステム," 電気学会論文誌E, 127-E (11), 472-477 (2007).
  3. T. Fujita, S. Nakamichi, S. Ioku, K. Maenaka and Y. Takayama, "Seedlayer-Less Gold Electroplating on Silicon Surface for MEMS applications," Sensors and Actuators A135　50-57　(2007).
  4. S. Okamoto, N. Shimamoto, Y. Matushita, T. Fujita, K. Maenaka and Y. Takayama, "Large Deflection Electrostatic Spiral Actuator with Twisted-beams, " IEEJ Trans. on SM, 126-E (7), 286-291 (2006).
  5. Y. Takayama, K. Uchida, T. Fujita and K. Maenaka, "Microwave dual-band power amplifiers using two-frequency matching," Electronics and Communications in Japan Part 2: Electronics, 89 (5), pp. 17-24 (2006).
  6. Y. Takayama, T. Harada, T. Fujita and K. Maenaka, "Design Method of Microwave Doherty Power Amplifiers and Its Application to Si MOSFET Amplifiers," Electronics and Communications in Japan, Part 2: Electronics, 88 (4), 9-17 (2005).
  7. 高山洋一郎, 内田浩司, 藤田孝之, 前中一介, "マイクロ波２周波数整合デュアルバンド電力増幅器," 電子情報通信学会論文誌(C), J88-C (9), 692-699 (2005).
  8. S. Ioku, H. Araki, H. Kohara, T. Fujita, K. Maenaka and Y. Takayama,"Novel Micro Gyroscope with High-Q Rotational Vibration Structure," Trans. IEEJ, 125-E (8), 337-342 (2005).
  9. T. Fujita, K. Maenaka and Y. Takayama, "Dual-axis MEMS mirror for large deflection-angle using SU-8 soft torsion beam," Sensors & Actuators, A121/1, 16-21 (2005).
  10. K. Maenaka, S. Ioku, N. Sawai, T. Fujita and Y. Takayama, "Design, Fabrication and Operation of MEMS Gimbal Gyroscope," Sensors & Actuators A121/1, 6-15 (2005).
  11. 高山洋一郎, 原田哲治, 藤田孝之, 前中一介, "マイクロ波ドハティ増幅器の設計法及びSi MOSFET電力増幅器への応用," 電子情報通信学会論文誌(C), J87-C (10), 745-753 (2004).
  12. 澤井信博, 前中一介, 藤田孝之, 高山洋一郎, "時分割方式により実現した単一参照駆動用コイルを有するマイクロ振動型ジャイロの駆動・検出システム," 電気学会論文誌C, 124-C (2), 558-563 (2004).
  13. Y. Jing, K. Maenaka, H. Nishioka, S. Ioku, T. Fujita and Y. Takayama, "Quantitative Analysis and Influence of CO2 Absorbed in TMAH Solution for Silicon Etching," Trans. IEEJ, 123-E (3), 79−84 (2003).
  14. Y. Jing, K. Maenaka, T. Fujita and Y. Takayama, "Improvement of Etched Surface of Silicon (110) Plane Using anIodine-supersaturated KOH Etchant," Micronanoelectronic Technology, 40 (6), 33-38 (2003).
  15. T. Fujita and K. Maenaka, "Integrated Multi-Environmental Sensing-System for Intelligent Data Carrier," Sensors & Actuators, A97-98C, 527-534 (2002).
  16. T. Fujita, K. Maenaka, T. Mizuno, T. Matsuoka, T. Kojima, T. Oshima and M. Maeda, "Disk shaped bulk micromachined gyroscope with vacuum sealing," Sensors & Actuators, A82, 198-204 (2000).
  17. 藤田孝之, 岡田茂, 前中一介, 前田宗雄, "ハードスプリング効果を用いた振動型ジャイロ駆動法の提案," 電気学会論文誌E, 120-E (3), 138-139 (2000).
  18. 前中一介, 岡田茂, 徳永理人, 藤田孝之, 前田宗雄, "メンブレン型バネ構造を持つ振動ジャイロのバネ設計に関する一考察," 電気学会論文誌E, 120-E (3), 134-135 (2000).
  19. 前中一介, 西村隆, 池田英広, 藤田孝之, 前田宗雄, "高分子膜を構造体としたマイクロミラー," 電気学会論文誌E, 120-E (3), 136-137 (2000).
  20. 藤田孝之, 波多野健太, 水野卓也, 前中一介, 前田宗雄, "回転振動型マイクロジャイロスコープに関する基礎研究," 電気学会論文誌E, 119-E (8/9), 411-416 (1999).
  21. 池田英広, 井奥淳, 藤田孝之, 前中一介, 前田宗雄, "MEMS材料としてのNi-W合金メッキ膜," 電気学会論文誌E, 119-E (11), 598-603 (1999).
  22. T. Fujita, K. Maenaka and M. Maeda, "Design of Two-Dimensional Micromachined Gyroscope by using Nickel Electroplating," Sensors and Actuators, A66, 173-177 (1998).
  23. 前中一介, 藤田孝之, 前田宗雄, "振動形マイクロジャイロの設計指針," 電気学会論文誌E, 118-E (7/8), 377-383 (1998)
  24. 藤田孝之, 水野卓也, 前中一介, 前田宗雄, "フィードバック制御による圧電バイモルフの共振周波数制御," 電気学会論文誌E, 117-E (1), 59-60 (1997).
  25. K. Maenaka, T. Fujita, Y. Konishi and M. Maeda, "Analysis of highly sensitive silicon gyroscope with cantilever beam as a vibrating mass," Sensors & Actuators, A54, 568-573 (1996).

Proceedings

  1. T. Fujita, H. Okada, K. Iguchi and K. Maenaka, "Digital-Controlled MEMS Vibratory-Beam-Accelerometer,"WAC IFMIP2008 (in Press)
  2. K. Maekawa, Y. Tanaka, T. Fujita and K. Maenaka, "Proposal for a 2-axis Bulk-PZT Gyroscope, "International Conference on Machine Automation (ICMA2008) (in Press).
  3. Y. Nagatani, T. Fujita, Y. Hashino and K. Maenaka, "Precise Control of a 2D MEMS Mirror,"Conf. Proc. of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, (Tainan, Taiwan, 2008), 2A2-1, 4 pages on CD-ROM.
  4. H. Okada, Y. Miki, K. Iguchi, K. Maenaka and T. Fujita,"The Interface Circuitry for Resonant Accelerometer with Digital PLL," Proc. of the 24th Sensor Sym., (Tokyo, 2007) pp. 64-67.
  5. Y. Tatsui, M. Takase, K. Maenaka and T. Fujita,"Study of MEMS Gas Gyroscope Integrated with Pump and Hotwire," Proc. of the 24th Sensor Sym., (Tokyo, 2007) pp. 396-399.
  6. T. Fujita, F. Suzuki, K. Masaki and K. Maenaka,"Sensor Integration for Environmental Data Logging System," Proc. of the 24th Sensor Sym., (Tokyo, 2007) pp. 429-432.
  7. K. Maenaka, H. Okada, Y. Miki and T. Fujita, "Vibrating Beam Accelerometer with Hard Suspension Beams," Dig. of Tech. Papers on The 14th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Lyon, France, 2007) pp. 1207-1210.
  8. T. Fujita, Y. Fukumoto, F. Suzuki and K. Maenaka, "SOI-MEMS Sensor for Multi-Environmental Sensing-System," Proc. of The 4th Int. Conf. on Networked Sensing Systems, (Braunschweig, Germany, 2007) pp. 146-149.
  9. K. Maenaka, K. Masaki and T. Fujita, "Application of Multi-Environmental Sensing System in MEMS Technology - Monitoring of Human Activity," Proc. of The 4th Int. Conf. on Networked Sensing Systems, (Braunschweig, Germany, 2007) pp. 47-52.
  10. T. Fujita, K. Masaki, F. Suzuki and K. Maenaka, "Wireless MEMS Sensing System for Human Activity Monitoring," Proc. of The Int. Conf. on Complex Medical Engineering, (Beijing, China, 2007) pp. 417-421.
  11. K. Watanabe, Y. Takayama, K. Yamaguchi, T. Fujita and K. Maenaka, "Improvement of Intermodulation Distortion in Microwave Power Amplifiers with Intrinsic Second-Harmonic Short-Circuit Termination," Proc. of Asia Pacific Microwave Conf., (Yokohama, 2006) FR3E-1, 4 pages on CD-ROM.
  12. Y. Fukumoto, A. Kamatani, F. Suzuki, T. Fujita, K. Maenaka and Y. Takayama, "Improvement of Performance of Capacitive Humidity Sensor based on Polyimide," Proc. of the 23rd Sensor Sym., (Takamatsu, 2006) pp. 149-152.
  13. Y. Tatsui, H. Araki, M. Takase, K. Maenaka, T. Fujita and Y. Takayama,"Fluid Analysis with Coriolis Force Using FEM and its Application to the Gas Gyroscope," Proc. of the 23rd Sensor Sym., (Takamatsu, 2006) pp. 467-470.
  14. Y. Miki, H. Okada, K. Maenaka, T. Fujita and Y. Takayama, "Vibratory Beam Accelerometers and Their Analog/Digital Mixed Interface Circuitry, " Conf. Proc. of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, (Singapore, 2006) , 95-MPS-A0497, 4 pages on CD-ROM.
  15. T. Fujita, N. Yoshida, Y. Hashino, K. Maenaka and Y. Takayama, "Optical Feedback System for MEMS MIrror Control, " Conf. Proc. of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, (Singapore, 2006) , 95-OMN-A0116, 4 pages on CD-ROM.
  16. K. Maenaka, H. Kohara, M. Nishimura, T. Fujita and Y. Takayama, "Novel Solid Micro-Gyroscope," Proc. of the 19th IEEE Int. Conf. on Microelectromechanical Systems, (Istanbul, 2006) pp. 634-637.
  17. T. Fujita, S. Nakamichi, S. Ioku, K. Maenaka and Y. Takayama, "Selective and Direct Gold Electroplating on Silicon Surface for MEMS Applications," Proc. of the 19th IEEE Int. Conf. on Microelectromechanical Systems, (Istanbul, 2006) pp. 290-293.
  18. S. Okamoto, N. Shimamoto, Y. Matsushita, T. Fujita, K. Maenaka and Y. Takayama, "Large Deflection Electrostatic Spiral Actuator with Twisted-beams," Proc. of the 22nd Sensor Sym., (Tokyo, 2005) pp. 11-16.
  19. T. Namazu, S. Inoue, K. Takio, T. Fujita, K. Maenaka and K. Koterazawa, "Visco-Elastic Properties of Micron-Tick SU-8 Polymers Measured by Two Different Types of Uniaxial Tensile Tests," Proc. of the 18th IEEE Int. Conf. on Microelectromechanical Systems, MEMS, (Miami, 2005) pp. 447-450.
  20. T. Fujita, N. Shimoyama, T. Tanaka, K. Maenaka and Y. Takayama, "2-DOF MEMS Mirror for Large Deflection Using SU-8 Torsion Beam," Conf. Proc. of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, (Sapporo, 2004) pp. 207-210.
  21. S. Ioku, H. Araki, T. Fujita, K. Maenaka and Y. Takayama, "Rotational Vibration Structure with High Mechanical Q-factor for Gyro Application," Conf. Proc. of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, (Sapporo, 2004) pp. 237-246.
  22. K. Maenaka, S. Ioku, N. Sawai, T. Fujita and Y. Takayama, "Micro Gimbal Gyroscope and its Behavior in a Vacuum," Conf. Proc. of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, (Sapporo, 2004) pp. 247-250.
  23. N. Shimamoto, S. Okamoto, Y. Matsushita, T. Fujita, K. Maenaka and Y. Takayama, "Simple Fabrication Process for Surface Micromachining Using Sputtered Oxide as Sacrificial Layer and Its Application," Proc. of the 21st Sensor Sym., (Kyoto, 2004) pp. 241-244.
  24. K. Maenaka, N. Sawai, M. Kozuki, S. Ioku, T. Fujita and Y. Takayama, "Bulk-Micromachined Vibratory Accelerometer and Their Peripheral Circuitry," Proc. of the 21st Sensor Sym., (Kyoto, 2004) pp. 361-364.
  25. S. Ioku, H. Araki, H. Kohara, T. Fujita, K. Maenaka and Y. Takayama, "Bulk MEMS Gyroscope with Tuning Fork Structure," Proc. of the 21st Sensor Sym., (Kyoto, 2004) pp. 375-378.
  26. T. Fujita, S. Ioku, K. Maenaka and Y. Takayama, "Bulk-MicroMachining Multichip Project (BM3P)," Proc. of the 21st Sensor Sym., (Kyoto, 2004) pp. 401-404.
  27. K. Maenaka, N. Sawai, S. Ioku, H. Sugimoto, H. Suzuki, T. Fujita and Y. Takayama, "MEMS Gyroscope with Double Gimbal Structure," Dig. of Tech. Papers on The 12th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators, (Boston, 2003) pp. 163-166.
  28. S. Ioku, K. Maenaka, T. Fujita and Y. Takayama, "Design Consideration of Micro Gyroscope Stabilized for Acceleration," Dig. of Tech. Papers on The 12th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators, (Boston, 2003) pp. 1594-1597.
  29. Y. Jing, K. Maenaka, T. Fujita and Y. Takayama, "Anisotropic Etching on Si (110) Plane Using Iodine Added KOH Solution," Proc. of the 20th Sensor Sym., (Tokyo, 2003) pp. 371-374.
  30. Y. Takayama, T. Harada, T. Fujita and K. Maenaka, "Practical Design Method of Microwave Doherty Amplifiers," Asia-Pacific Microwave Conf. Proc., (Seoul, 2003) pp.330-333.
  31. K. Maeda, H. Ueda, T. Fujita, K. Maenaka and Y. Takayama, "Preliminary Study on Closed Optical Loop Formed by Silicon Anisotropic Etching for Optical Gyro," Tech. Dig. of the 19th Sensor Sym., (Kyoto, 2002) pp. 55-58.
  32. T. Fujita, K. Maenaka and Y. Takayama, "Intermodulation Distortion Analysis of InGaP-Channel MESFETs using T-CAD," Proc. of Asia Pacific Microwave Conf. Proc., (Kyoto, 2002) pp. 378-381.
  33. Y. Ashimori, K. Maeda, T. Fujita, K. Maenaka and T. Mastuda, "Circuit Cell Libraries for MICS and Their Application," Tech. Dig. of the 18th Sensor Sym., (Kawasaki, 2001) pp. 335-338.
  34. T. Fujita, K. Inoue, A. Tsuchitani, S. Arita and K. Maenaka, "Environmental Sensing System by using th Integrated Multi-sensor Platform," Tech. Dig. of the 18th Sensor Sym., (Kawasaki, 2001) pp. 339-342.
  35. T. Fujita, K. Inoue, A. Tsuchitani, S. Arita and K. Maenaka, "Integrated Multi-Sensor System for Intelligent Data Carrier," Dig. of Tech. Papers, The 11th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators, (Munich, 2001) pp. 88-91.
  36. M. Kita, K. Maenaka and T. Fujita, "A Study of FEM Simulation for Rotational Vibrating Micro Gyroscopes," Tech. Dig. of the 17th Sensor Sym., (Kawasaki, 2000) pp. 249-254.
  37. M. Takayama, A. Yamamoto, T. Fujita, K. Maenaka and T. Matsuda, "Trial Manufacturing of Integrated Magnetic Sensors with Wide Dynamic Range," Tech. Dig. of the 17th Sensor Sym., (Kawasaki, 2000) pp. 355-358.
  38. T. Fujita, K. Hatano, K. Maenaka, T. Mizuno, T. Matsuoka, T. Kojima, T. Oshima and M. Maeda, "Vacuum Sealed Bulk-Maicromachined Gyroscope," Dig. of Tech. Papers, The 10th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators, (Sendai, 1999) pp. 914-917.
  39. K. Okamoto, A. Asada, T. Fujita, K. Maenaka and M. Maeda, "Evaluation of ASIC Characteristics for Silicon Gyroscopes by using Multi-Chip Service," Tech. Dig. of the 16th Sensor Sym., (Kawasaki, 1998) pp. 245-248.
  40. K. Maenaka, H. Ikeda, T. Fujita and M. Maeda, "Preliminary Study of Ni-W Electroplating Films as an MEMS Material," Tech. Dig. of the 16th Sensor Sym., (Kawasaki, 1998) pp. 281-284.
  41. K. Maenaka, K. Asada, K. Okamoto, T. Fujita and M. Maeda, "Simple Integrated Mgnetic Sensors from the Multi-Chip Service," Tech. Dig. of the 16th Sensor Sym., (Kawasaki, 1998) pp. 227-230.
  42. T. Fujita, T. Mizuno, R. Kenny, K. Maenaka and M. Maeda, "Two-Dimensional Micromachined Gyroscope," Dig. of Tech. Papers, The 9th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators, (Chicago, 1997) pp. 887-890.
  43. K. Maenaka, T. Fujita, S. Sugiyama, M. Maeda, "Design and Realization of ASIC for Silicon Gyroscopes by using Multi-Chip Service," Tech. Dig. of the 15th Sensor Sym., (Kawasaki, 1997) pp. 271-274.
  44. T. Fujita, Y. Konishi, R. Kenny, K. Maenaka and M. Maeda, "Proposed bi-axial Silicson Angular Rate Sensor," Tech. Dig. of the 14th Sensor Sym., (Kawasaki, 1996) pp. 43-46.
  45. Y. Konishi, T. Fujita, K. Maenaka and M. Maeda, "Sensitivity and Stability of Micromachined Gyroscope," Tech. Dig. of the 13th Sensor Sym., (Kawasaki, 1995) pp. 189-192.
  46. K. Maenaka, Y. Konishi, T. Fujita and M. Maeda, "Analysis and Design Concept of Highly Sensitive Silicon Gyroscope," Dig. of Tech. Papers, The 8th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators, (Stockholm, 1995) pp. 612-615.

Workshop

  1. Y. Jing, K. Maenaka, T. Fujita and Y. Takayama, "Anisotropy of Silicon Etching in Neutralized TMAH," Tech. Dig. of 3rd Workshop on Physical chemistry of wet etching in silicon, (Nara, 2002) pp. 62-65.
  2. K. Maeda, H. Ueda, T. Fujita, K. Maenaka and Y. Takayama, "Preliminary Study on Closed Optical Path Formed by Silicon Anisotropic Etching and It's Application," Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, (Xiamen, 2002) pp. 55-58.
  3. Y. Jing, K. Maenaka, H. Nishioka, S. Ioku, T. Fujita and Y. Takayama, "Monitoring Methods for TMAH Deterioration in Etching Characteristics," Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, (Xiamen, 2002) pp. 83-86.
  4. K. Maenaka, H. Sugimoto, S. Arita, H. Suzuki, Y. Ashimori, T. Fujita and Y. Takayama, "Fully Digital Controlled Inertial Sensing System for MEMS Devices," Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, (Xiamen, 2002) pp. 549-552.

技報・研究会資料

  1. 藤田孝之, 村岡隆正, 水野卓也, 松岡俊幸, 小島多喜男, 大島崇文, 前中一介, 松田哲郎, 前田宗雄, "回転振動型マイクロジャイロスコープ作製におけるFEM解析の適用," ANSYS Conference in Japan '99, 会議資料2, pp. 121-126 (1999).
  2. 藤田孝之, 波多野健太, 水野卓也, 前中一介, 前田宗雄, "バルクマイクロマシニングを用いた２軸ジャイロスコープ," 電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会資料, PS-98-11, pp. 53-58 (1998).
  3. 藤田孝之, 前中一介, 水野卓也, 前田宗雄, "薄板構造型２軸検出ジャイロスコープ," 電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会資料, PS-97-28, pp. 37-42 (1997).

口頭発表

特許-競争的資金獲得状況

特許

  1. 特許出願 2005-152754, 圧電共振型センサ素子の共振周波数の制御装置及び制御, 山下馨, 藤田孝之, 前中一介, 他
  2. 特許公開 2002-270856, 集積型マルチセンサ, 前中一介, 藤田孝之,
  3. 特許公開 2001-236970, 超小形燃料電池, 奥山雅則, 前中一介，藤田孝之，他

競争的資金獲得状況

  1. 平成20-21年度　科学研究費補助金　基盤研究(C), 「強誘電体のメモリ保持特性を利用した振動型ＭＥＭＳ構造体の不揮発的共振制御」（分担）
  2. 平成19年度　兵庫県立大学次世代科学技術研究助成，「MEMSセンサの高性能化を目的とした技術潮流に関する調査研究」（代表）
  3. 平成17年度　兵庫県立大学特別教育研究助成金 奨励研究, 「シリコンへの直接金めっき法を用いた超高周波回路の高性能化に関する研究」（代表）
  4. 平成16-17年度　科学研究費補助金　基盤研究(C), 「超高周波電力アンプに関する研究」（分担）
  5. 平成15-18年度　NEDO産業技術研究助成事業, 「三次元計測用マイクロ超音波アレイセンサとその空間認識システムへの応用」（分担）
  6. 平成16-17年度　科学研究費補助金 基盤研究(B), 「シリコンマイクロマシニングによるリングレーザジャイロに関する研究」（分担）
  7. 平成15年度　サウンド技術振興財団 研究助成金, 「金熱圧着法を用いたバルクPZT・シリコン接合によるMEMSスペクトルアナライザに関する研究」（代表）
  8. 平成14年度　姫路工業大学科学研究費, 「バルクPZT接合とシリコン微細加工による機械式スペクトルアナライザに関する研究」（代表）
  9. 平成14年度　財団法人 兵庫県科学技術振興財団 助成金, 「超厚膜レジスト材によるMEMS用透過性光学部品に関する研究」（代表）
  10. 平成14年度　財団法人 山陽特殊製鋼文化振興財団 学術研究振興助成金，「高アスペクト金属構造体を用いた高周波MEMSスイッチを開発」（代表）
  11. 平成14年度（財）姫路工業大学後援財団　教育研究用物品等助成金（代表）

助成金その他

  1. 平成16年度「ASIC仕様検討の為の試作サービスの効果的利用方法」（分担）