兵庫県立大学大学院工学研究科附属　ナノ・マイクロ構造科学研究センター

学会開催情報 Meeting information

• 開催場所： 同志社大学京田辺キャンパス（京都府京田辺市多々羅都谷1-3）
• 開催期間： 2013年9月16日(月) 〜 20日(金)
• 予稿発行日：2013年9月6日(金)
• 学会HP：https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2013a/top
　　　

[19a-A4-4] SrO/Si構造のアニール処理によって作製したSrSiO_x層の化学組成

• 発表者：谷脇将太¹，豊島祐樹¹，堀田育志^{1, 3}, 吉田晴彦^{1, 3}，新船幸二^{1, 3}，小椋厚志^{2, 3}，佐藤真一^{1, 3}
• 所属：兵庫県立大¹，明大²，JST-CREST³
• 電界効果パッシベーション、SrSiO_x、結晶シリコン太陽電池
• セッション情報：16. 非晶質・微結晶, 16.3 シリコン系太陽電池
• セッション種別：一般セッション(口頭講演)
• 発表日時：2013年9月19日(木) 9:45 AM 〜 10:00 AM
• 場所：A4 (TC1 2F-216)

[19a-C7-7] XPSを用いたHfO₂/SiおよびY₂O₃/Siアニール界面の構造解析

• 発表者：豊島祐樹¹，谷脇将太¹，堀田育志^{1, 3}, 吉田晴彦^{1, 3}，新船幸二^{1, 3}，小椋厚志^{2, 3}，佐藤真一^{1, 3}
• 所属：兵庫県立大¹，明大工²，JST-CREST³
• キーワード：界面、High-k、シリコン
• セッション情報：6. 薄膜, 6.4 薄膜新材料
• セッション種別：一般セッション(口頭講演)
• 発表日時：2013年9月19日(木) 10:30 AM 〜 10:45 AM
• 場所：C7 (TC3 1F-117)

[19a-C7-8] Si基板上に堆積したSTO薄膜へのポストアニールの効果

• 発表者：今中淳弘，佐々木翼，堀田育志，佐藤真一
• 所属：兵庫県立大学
• キーワード：Si、Sr、バッファー層
• セッション情報：6. 薄膜, 6.4 薄膜新材料
• セッション種別：一般セッション(口頭講演)
• 発表日時：2013年9月19日(木) 10:45 AM 〜 11:00 AM
• 場所：C7 (TC3 1F-117)