竹内 雅耶Masaya Takeuchi

助教｜博士（工学）

[mail] m_takeuchi@eng.u-hyogo.ac.jp

電気電子情報工学科 電子情報工学コース
電子情報工学専攻 ナノプロセス研究グループ

• 
• 

• 
• 

• research map
• 研究室

研究では、実験装置を扱う際、その装置内部でどのようなことが起こっているか、それを理解した上で実験をしてもらっています。装置は複雑ですが、単なるオペレーションは高校生でも可能です。しかし装置の設計や研究方針を決める時に、その理解は必要不可欠です。研究を通して問題解決能力や新たなことに取り組む力を身に着けられるよう心掛けています。

ガスクラスターイオンビームを用いた液体計測デバイスの開発

近年半導体プロセスで使用する洗浄液として注目されるナノバブル水や電池の電極反応など、液中で生じる現象のメカニズム解明は非常に重要になっています。しかし、気/液・固/液界面の化学反応プロセスを直接観察することはとても困難です。本研究では、ガスクラスターイオンビームを用いたナノ加工プロセスを用いて、液体を直接計測する新たなデバイスの開発およびその高度化を行っております。