豊田 紀章Noriaki Toyoda

教授|博士(工学)

[mail] ntoyoda@eng.u-hyogo.ac.jp

電気電子情報工学科 電子情報工学コース
電子情報工学専攻 ナノプロセス研究グループ

電気電子情報工学では、数学をうまく使ってやると、簡単に問題が解決できることがあります。電磁気学や電気回路を中心に、学生が躓きやすい箇所を丁寧に教える講義を心がけています。
研究では、新しい原理の発見 → 装置開発 → 応用分野の開拓まで一気通貫で行うことにより、他にはないナノ加工技術の開発を進めており、シミュレーションから装置設計・製作まで幅広い領域の知識を得られます。

新しいナノ加工装置の開発

学べる内容・身に付くスキル

ガスの塊(クラスター)を用いた新しい加工原理を実現するため、自分で装置を設計・製作していきます。CADによる設計や装置の制御プログラム、材料や強度設計など、実社会でも必要なスキルが身につきます。

市販されている装置を購入して使用しても、新たな加工技術を実現することは出来ません。そのため、装置を自ら製作し、日々改造・改良を進めていきます。その改造・改良の過程で、問題を発見し解決法を見いだす力を培っていきます。さらに、半導体関連企業など最先端の技術を持つ国内外の企業との共同研究も多く行い、最先端技術に触れるとともに、研究手法を実体験として学んでいくことが出来ます。

新たなナノ構造形成方法の開発

学べる内容・身に付くスキル

ナノ加工技術を行うためには、加工後の状態を観察・測定することが必要です。電子顕微鏡や分光法などの分析・計測技術を身につけることが出来ます。さらに、どのような事が起こっているかを原子レベルでシミュレーションすることも行います。

数千個のガスが塊となったクラスターを用いた新たなナノ構造形成方法を開発しています。そのためには、クラスターを衝突させたときに、どのようなことが起こっているかを原子レベルで解明することが必要です。そのため、ナノ加工装置と表面分析装置を結合し、表面状態をX線を用いて観測しています。解析に必要な表面物性や反応の知