講義では、実生活の中でその技術がどのように役立っているか、また他の工学の知識とのつながりが理解できるような指導を心がけています。研究では、スパッタリング法による金属やセラミクス薄膜の作製技術に関する基礎的な研究を行っています。
講義では、実生活の中でその技術がどのように役立っているか、また他の工学の知識とのつながりが理解できるような指導を心がけています。研究では、スパッタリング法による金属やセラミクス薄膜の作製技術に関する基礎的な研究を行っています。
技術者として大変役に立つ薄膜作製技術に加え、これらの技術における薄膜の成長過程の原理について学ぶことができます。
スパッタリング法は殆どどんな材料でも薄膜化できる技術であり、この方法による薄膜の成長過程に関して基礎的な研究を行っています。スパッタ薄膜の成長形態は成長条件によって大きく変化しますが、その原理を理解することは優れた特性を持つ薄膜を成長させるために必要不可欠です。この研究では、その原理を解明するとともに応用することで、奇妙な形態を持つ薄膜を成長させられることを実証しており、これまでにない特異な特性を有する薄膜の開発が期待されます。
薄膜作製技術のほか、X線回折による結晶構造解析技術や熱分析技術、マイクロ加工技術などを学べます。
Ti-Ni合金をスパッタリング法によって薄膜化し、その形状記憶挙動によるマイクロアクチュエータの開発を行っています。動作速度や信頼性の向上や動作温度のチューニングなどが課題であり、Ti-Ni合金への他の元素の添加などを検討しています。この材料はリソグラフィを利用したマイクロ加工技術と組み合わせることによって、マイクロポンプやマイクロバルブなどのデバイスへの展開が期待されています。