競争的資金獲得状況(○は代表)

  1. 平成20-21年度 科学研究費補助金 基盤研究(C), 「強誘電体のメモリ保持特性を利用した振動型MEMS構造体の不揮発的共振制御」(藤田)
  2. 平成19年度 兵庫県立大学次世代科学技術研究助成,「MEMSセンサの高性能化を目的とした技術潮流に関する調査研究」(○藤田)
  3. 平成17年度 兵庫県立大学特別教育研究助成金 奨励研究, 「シリコンへの直接金めっき法を用いた超高周波回路の高性能化に関する研究」(○藤田)
  4. 平成16-17年度 科学研究費補助金 基盤研究(C), 「超高周波電力アンプに関する研究」(前中,藤田)
  5. 平成15-18年度 NEDO産業技術研究助成事業, 「三次元計測用マイクロ超音波アレイセンサとその空間認識システムへの応用」(藤田,前中)
  6. 平成16-17年度 科学研究費補助金 基盤研究(B), 「シリコンマイクロマシニングによるリングレーザジャイロに関する研究」(○前中,藤田)
  7. 平成15年度 サウンド技術振興財団 研究助成金, 「金熱圧着法を用いたバルクPZT・シリコン接合によるMEMSスペクトルアナライザに関する研究」(○藤田)
  8. 平成14年度 姫路工業大学科学研究費, 「バルクPZT接合とシリコン微細加工による機械式スペクトルアナライザに関する研究」(○藤田)
  9. 平成14年度 財団法人 兵庫県科学技術振興財団 助成金, 「超厚膜レジスト材によるMEMS用透過性光学部品に関する研究」(○藤田)
  10. 平成14年度 財団法人 山陽特殊製鋼文化振興財団 学術研究振興助成金,「高アスペクト金属構造体を用いた高周波MEMSスイッチを開発」(○藤田)
  11. 平成14年度(財)姫路工業大学後援財団 教育研究用物品等助成金(○藤田)