兵庫県立大学 工学部・大学院工学研究科
ヘッドラインニュース <公開日:H26.10.24>

機械系工学専攻博士後期課程の藤井達也君が第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウムでの研究発表で若手優秀講演表彰を受賞

機械系工学専攻博士後期課程1回生(当時)の藤井達也君(現在,博士後期課程2回生)が日本機械学会主催第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウムにおいて若手優秀講演表彰を受賞しました.この賞は2013年11月5日〜7日に仙台国際センターで開催された第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウムでの研究発表「FIB加工したSiナノワイヤの機械特性の寸法依存性評価(生津准教授指導)」に対して授与されたものです.マイクロ加工したSiを真空加熱して生じる表面拡散現象を利用してナノメンブレンを作製し,それを集束イオンビーム(FIB)でナノワイヤ状に加工した後,MEMS技術を用いて直接引張試験を行って機械物性のサイズ効果を実験的に明らかにしたものです.この技術で数十nm断面のナノ構造体のヤング率や破壊強度を精確に実測可能であり,高度な独自実験技術が評価されたことで学術界への更なる貢献が期待されます.