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物質系工学専攻/マテリアル・物性部門

半導体材料・デバイス学研究グループ

松尾 直人 教授 《半導体工学》
部家 彰 准教授 《半導体材料》

■研究の詳細については、こちらをご覧ください。
⇒半導体材料・デバイス学研究グループホームページへ

教育・研究の内容

 ナノテクノロジー・オン・ディスプレイ(Nanotechnology-on-display:NOD)なる新規概念を提案し、夢のフレキシブル・ディスプレイ実現を目指したナノデバイスや機能性材料ナノ加工の基礎研究を行っている。具体的には、放射光(「Spring-8」や「ニュースバル」)によるレーザ結晶化Siの物性解明、光ナノ結晶化、ナノ寸法電子・光デバイスの為のボトムアップ材料加工技術、更には、その関連技術となる機能材料の表面ナノ改質の研究を行っている。

最近の研究テーマ

(1) 多パルス・エキシマ・レーザ結晶化シリコンにおける水素の効果
(2) レーザ結晶化シリコンの超高真空STMによる表面モホロジ解析
(3) プラスチック上へのエキシマ・レーザ結晶化シリコン膜の形成
(4) 単パルス・エキシマ・レーザによる大粒径シリコンの放射光による物性解明
(5) 有機薄膜トランジスタの動作シミュレーションと材料検討
(6) 機能性材料の表面ナノ改質と結晶化
(7) フォノン・アシスト・ナノ結晶化
(8) 原子状水素による新規表面処理法の開発

応用分野

デバイス面
(1) フラットパネルディスプレイ
(2) フレキシブルコンピュータ
技術面
(3) 結晶成長
(4) ナノメートル寸法加工
(5) 表面処理

技術相談、共同研究等の可能な分野

[松尾]
フラットパネルディスプレイ表示部のデバイス、材料に関する分野。LSIのトランジスタ技術に関する分野。薄膜結晶成長分野。ラマン分光法、ESR、SEM、TEM等の薄膜評価法。
[部家]
フラットパネルディスプレイの薄膜材料(半導体:多結晶シリコン、絶縁膜:窒化シリコン)に関する分野。原子状水素を用いた表面処理技術に関する分野。ラマン分光法、SEM等の薄膜評価法。
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