粉砕関連装置

遊星式ボールミル粉砕装置（左：P-7型，右P-6型））

自動粉砕乳鉢　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　架台式ボールミル粉砕装置

乾燥・加熱関連装置

真空乾燥機

高温用ホットプレート　　　　　　　　　　　　　　　　　　　中低温用ホットプレート

成型関連装置

電動テーブルプレス機　　　　　　　　　　　　　　　　　　　100ｋNヒータープレートプレス

焼成関連装置

雰囲気焼成炉　　　　　　　　　　　　　　　　　急速加熱（RTA)炉（MILA-3000）

成膜関連装置

高周波マグネトロンスパッタリング装置（左：1号機，右：2号機）

スピンコーター（ミカサ1H-D7）

電気特性測定装置

強誘電体薄膜テストシステム：RT-66A　　　　　　　　　　　　インピーダンスアナライザ

　　　　　　　　PIEZO d₃₃メータ（ZJ-4B)　　　　　　　　　　　　　　　　誘電率測定システム（ETA8411H，4284A，4140B,34401A）

薄膜電気特性テストフィクスチャー

一般測定装置

自動密度測定システム（AG204）　　　　　　　　　　高精度電子天びん(AX200)

分析装置

卓上エネルギー分散型蛍光X線分析装置（SEA2001）　波長分散型蛍光X線分析装置（Rigaku RIX2000）

フレーム原子吸光光度計：日本ジャーレルアッシュ（AA880 markII）

紫外・可視分光光度計（HITACHI U-3500）　分光蛍光光度計（HITACHI F-2500）

pH/Ion meter（HORIBA F-53）