最近の研究業績 |
- 部家彰、「フレキシブル電子デバイスの製造と応用 6.2プラスチック基板上へのSiN系水蒸気バリア膜の形成」、CMC出版 (2006).
- A. Heya, N. Matsuo, H. Matsumura and N. Kawamoto, “Effect of Hydrogen on Secondary Grain Growth of Polycrystalline Silicon Films by Excimer Laser Annealing in Low-Temperature Process”, Jpn. J. Appl. Phys, 45, 6908-6910 (2006).
- 部家彰、「ドライプロセスによるディスプレイ・光学部材における具体的な薄膜製造コーティング技術 4.5 有機ELの保護膜形成技術」、情報機構 (2007).
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