学部・研究科案内

教員詳細

研究テーマ:MEMS技術によるセンサ・アクチュエータとそのシステム化技術

 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術、すなわち集積回路技術をベースに、マイクロエレクトロニクスとマイクロなメカを高度にシステム化する技術を中心に、センサやアクチュエータに関する研究を進めています。新しい材料や作製技術、素子構造などを提案しながら次世代のエレクトロニクスを提案することを目的に、研究室では各種の製造試作・評価設備を整え、顕微鏡下でようやく見えるような超微細なデバイスを、学生自ら設計、試作、評価しています。センサとしては、加速度センサ、角速度センサ(ジャイロ)、気圧センサ、湿度センサ、温度センサ、赤外線センサなどの各種物理量センサとそのシステム化について永らく研究を行っており、アクチュエータとしてはマイクロミラーや光学素子の微小位置合わせシステムなどに実績があります。MEMS構造体だけではなく、その周辺システムとして、集積回路やFPGAによる専用アルゴリズムの実装、無線通信デバイスの試作、センサコントロール用ソフトウエアの実装など、材料加工から電子回路、システムまでの広い領域の分野を研究対象としています。最近ではMEMSデバイスの応用として、超小型生体活動モニタリングシステムについての活動も行っており、その実用化についても複数の企業とともに積極的に取り組んでいます。

  • 試作用クリーンルームで実験を進める学生たち

    試作用クリーンルームで実験を進める学生たち

  • 5mm角のMEMS3軸角速度センサ(ジャイロ)

    5mm角のMEMS3軸角速度センサ(ジャイロ)