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教員詳細

岡田 真 [おかだ まこと]
助教|理学博士
メールアドレス m.okada@lasti.u-hyogo.ac.jp
岡田 真

研究テーマ:ナノインプリント技術に関する研究

 ナノインプリント技術はナノ・マイクロ構造を有する金型(モールド)を樹脂(レジスト)に押し付けることで微細パターンを作製する技術である。非常に簡便なプロセスであるが、ナノメートル(10-9m)寸法のパターンからマイクロメートル(10-6m)寸法のパターンまで幅広いサイズのパターニングが可能である。このようなナノインプリント技術を用いれば、レジスト以外に液晶のような機能性材料なども微細加工することができ、様々な分野へ応用展開できる。ナノインプリント技術に関する研究に加えて、ブロックコポリマーリソグラフィー、電子ビームリソグラフィー、走査型プローブ顕微鏡に関する研究も行っている。