学部・研究科案内

教員詳細

清水 勝 [しみず まさる]
教授|工学博士
メールアドレス mshimizu@eng.u-hyogo.ac.jp
清水 勝

研究テーマ:強誘電体薄膜やナノ構造の作製とその物性及び応用に関する研究

1) 強誘電体薄膜の作製とその物性に関する研究
 強誘電体は誘電性、圧電性、焦電性、分極履歴特性などを有する優れた機能性材料である。これらの特性を利用し、積層コンデンサ、アクチュエータ、カメラ手振れ補正センサ、赤外線センサ、導波型光スイッチや光変調器、強誘電体不揮発メモリなどへの応用研究が幅広く行われている。新しいデバイスの微細化、高集積化、多機能化、高性能化、低消費電力化には特性の優れた薄膜を得るための薄膜化技術の開発が必要不可欠となる。本研究室では、いくつかある強誘電体薄膜技術の中でとりわけ高品質薄膜の作製が可能で量産性に優れた有機金属気相成長法(MOCVD法)によりPb(Zr,Ti)O3やBiFeO3、さらには新強誘電体材料である(Hf,Zr)O2などの薄膜を作製し、その新規物性や新しい応用についての研究を行っている。
2)強誘電体一次元ナノ構造の作製と機能創製に関する研究
 ナノワイヤ、ナノロッド、ナノチューブのような強誘電体一次元構造はその作製が難しく研究が世界的に進展していない。本研究室では、独自のMOCVD技術によりこれら一次元ナノ強誘電体を作製することに成功しており、その新しい機能や応用に関して研究を進めている。とりわけコアシェル型へテロ構造を利用することで新機能を実現し新しい応用につなげることを目的に研究を行っている。具体的には、超高集積強誘電体メモリやエネルギーハーベスタへの展開に向けた研究を推し進めている。

  • 強誘電体薄膜(PTO膜)のHAADF-STEM像

    強誘電体薄膜(PTO膜)のHAADF-STEM像

  • ナノワイヤ型超高集積強誘電体不揮発性メモリ

    ナノワイヤ型超高集積強誘電体不揮発性メモリ