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教員詳細

新部 正人 [にいべ まさひと]
准教授|理学博士
メールアドレス niibe@lasti.u-hyogo.ac.jp
新部 正人

研究テーマ:軟X線分光機器の開発および放射光を用いた化合物半導体の研究

 工学における新機能デバイスの開発とそれに用いる材料の解析は車の両輪に例えられ、この両者が程よく相互作用しながら発展していくことによって、新機能を持つデバイスの開発が可能となる。本研究では、新たな材料解析手法を開発し、それを用いて種々の機能性材料の分析を行い、ものづくりにフィードバックをかける。
 近年、青色発光ダイオードに代表される窒化物半導体や人工光合成、太陽電池等に用いられる酸化物半導体など、ワイドギャップ半導体と呼ばれる新規の化合物半導体材料の研究が盛んに行われている。一方、高度産業科学技術研究所が運営するニュースバル放射光施設は、窒素や酸素原子のK-吸収端においてきわめて高強度で良好な分光測定ができるため、軽元素を含む化合物半導体の評価には非常に適した研究環境である。本研究では、新規の軟X線分光分析手法の開発を進めるとともに、プラズマプロセスを用いた化合物半導体薄膜の作製・評価およびプラズマプロセスダメージの解析を、軟X線吸収・発光分光法、X線光電子分光法、X線回折法等を用いて行い、種々のデバイス開発に対してフィードバックをかけている。

  • 開発した軟X線発光分光器(ニュースバル, BL-09A)

    開発した軟X線発光分光器(ニュースバル, BL-09A)

  • 青色発光ダイオード材料の軟X線吸収スペクトル

    青色発光ダイオード材料の軟X線吸収スペクトル