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教員詳細

松尾 直人 [まつお なおと]
教授|京都大学博士(工学)
メールアドレス nmatsuo@eng.u-hyogo.ac.jp
松尾 直人

研究テーマ:シリコン系基盤要素技術

 ナノデバイス、機能材料や新規低温結晶成長の教育研究を行っている。特に、軟X線(放射光「ニュースバル」)を利用したSiGe系の結晶化膜の物性解明、ナノ寸法電子・光デバイスとボトムアップ材料加工技術、更には、機能材料の表面処理は基礎研究の立場からの検討を行っている。

最近の研究テーマ
1.軟X線照射によるSiGe系の低温結晶化。
2.トンネル電子注入薄膜トランジスタの特性解明。
3.電界効果型薄膜太陽電池の検討。
4.グラフェンの材料、デバイス的観点からの検討。
5.DNAメモリートランジスタの研究。
といった基礎研究テーマ以外にも、プラスチック上a-Si薄膜のエキシマ・レーザ結晶化、浅接合形成と従来型Si薄膜トランジスタの作製、といった実用化研究テーマにも取り組んでいる。

  • 幾つかのテーマを掲げ、当研究室では研究を行っているが、最近、「軟X線結晶化」で以下の事が明らかになった。

    量子力学的事象(光子エネルギー変調)と古典物理的事象(結晶化率)の対応

    量子力学的事象(光子エネルギー変調)と古典物理的事象(結晶化率)の対応