学部・研究科案内

電力応用研究グループ

専攻 電気物性工学専攻
参加者 氏名 職名 専門分野
藤原閲夫 教授 レーザー工学
古賀麻由子 准教授 レーザープラズマ工学
東欣吾 助教 プラズマ工学、パルスパワー工学
     
     
教育・研究の概要

 レーザー応用、プラズマ利用、計測技術など電気エネルギーの応用技術について教育と研究を行っています。電気エネルギーを社会に役立てる実用性の立場から、液滴化高速ジェット、レーザー核融合実験用ターゲット、硬質膜成膜装置などの開発に取り組んでいます。

主な研究テーマ(1) タイトル

レーザー核融合実験用先進ターゲットの研究

説明

 エネルギー問題を解決する新エネルギーの候補として核融合が注目されている。レーザー核融合の方式の一つである高速点火方式では球状燃料容器(シェル)に円錐状部品(コーン)を取り付けたターゲットにレーザーを照射し、シェルを爆縮した瞬間にコーンを通して追加熱レーザーを入射することで点火、燃焼させる。本研究では、高効率の追加熱を実現するための先進ターゲット製作技術を確立することを目指し、炭素厚膜形成技術や熱CVD技術の開発研究を行っている。

主な研究テーマ(2) タイトル

パルスウォータージェットによる微細加工に関する研究

説明

 ガラス等の研磨では一般に砥石と研磨材の組み合わせによって表面研磨が行われている。平面や単純な形状の研磨に特に優れているが、薄板ガラスの切断面の研磨やドリル穴の内面研磨などは容易でない。本研究では圧電素子を用いて高圧スラリージェットを変調・パルス化する技術の開発を試み、それを用いて加工面の形状を問わない微細加工・研磨技術の確立を目指す。

主な研究テーマ(3) タイトル

パルスパワー技術を応用した薄膜形成技術に関する研究

説明

 パルスパワー技術は一時的に蓄積した電気エネルギーを瞬時に放出させ、瞬間的に大電力を生じさせる技術である。この技術を用いて低ガス圧力下でプロセスプラズマを生成すると従来に比べ高密度のプラズマが得られる。本研究では主に物理的蒸着法で使用されるマグネトロン放電やペニング放電をパルス駆動し、イオンの効果が大きいプロセスプラズマの生成・制御技術の確立を目指す。また、それらに適したパルス電源の構築を試みる。

応用分野

○硬脆材表面の加工・研磨
○ハードコーティング
○レーザー核融合

技術相談、共同研究等の可能な分野

[表面加工・研磨技術] ガラスのような硬脆材の表面を加工・研磨する技術に関する技術相談
[パルス電源技術] 主に高電圧パルス発生技術に関する技術相談
[プラズマ計測技術]
 各種プロセスプラズマの計測法(主に電気的方法)に関する技術相談
[硬質膜のコーティングおよび装置製造技術]
 プラズマイオン注入や大電力パルススパッタなど次世代成膜全般に関する技術相談