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電気系工学専攻 博士前期課程2年生の佐野良君が第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム奨励賞を受賞

 電気系工学専攻博士前期課程2年生の佐野良君が、10月28~30日に新潟朱鷺メッセで行われた、第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにおいて、奨励賞を受賞しました。同賞は投稿された二百件を超える講演のうち、優れた発表を行った若手(35歳以下)個人に対して与えられるもので、今回は8件が選ばれました。受賞した講演タイトルは 「RFマグネトロンスパッタ法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層とその評価」(共著者:井上純一、神田健介、藤田孝之、前中一介)で、圧電薄膜 と金属薄膜とを交互に積層成膜した構造体の作製とその評価について報告したものです。

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