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電子情報工学専攻の豊田紀章准教授が、環太平洋電気化学会議(PRiME 2016)にてBest paper awardを受賞

 電子情報工学専攻の豊田紀章准教授が、2016年10月2日~10月7日に米国ハワイ州ホノルルにおいて行われた環太平洋電気化学会議(PRiME 2016)のSymposium H02 (Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology and Applications)において、Best paper awardを受賞しました。PRiME 2016は、米国(ECS)、日本(ECSJ)、韓国電気化学会(KECS)の共催で4年毎に開催される電気化学に関する世界最大規模の国際学会です。受賞した講演題目は「Surface activation and planarization with gas cluster ion beams (GCIB) for wafer bonding」で、超低エネルギーのガスクラスターイオンビームを表面活性化接合に応用した研究です。

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