2023年度 (2023/04/01-2024/03/31)

原著論文

1. Comparison of Electroless Ni-P and Co-W-P Diffusion Properties Against GaAs Substrate
   Koichiro Nishizawa, Ayumu Matsumoto, Yasuyuki Nakagawa, Hitoshi Sakuma, Seiki Goto, Naoki Fukumuro, Shinji Yae
   Journal of Electronic Materials, 52, 4080-4090 (2023).
   https://doi.org/10.1007/s11664-023-10380-3
   


2. Metal-Assisted Etching of n-Type and p-Type Silicon Using Patterned Platinum Films: Spatial Distribution of Mesoporous Layer and Open Circuit Potential of Silicon
   Ayumu Matsumoto, Rin Nishinaka, Yuki Shimada, Kyohei Furukawa, Kyohei Azuma, Shinji Yae
   Journal of The Electrochemical Society, 170(5), 052505 (2023).
   https://doi.org/10.1149/1945-7111/acd359
   


3. Electrodeposition of Cobalt from LiCl-Based Highly Concentrated Aqueous Solution: Crystal Phase and Hydrogen Content
   Ryutaro Miura, Tomoya Hashimoto, Kazuhiro Fukami, Naoki Fukumuro, Shinji Yae, Kuniaki Murase
   Materials Transactions, 64(8), 1974-1981 (2023).
   https://doi.org/10.2320/matertrans.MT-M2023014
   


4. Electroless Plating of Ru Using Hydrazine Hydrate as a Reducing Agent
   Ryota Saida, Tomohiro Shimizu, Takeshi Ito, Yukihiro Tominari, Shukichi Tanaka, Naoki Fukumuro, Shinji Yae, Shoso Shingubara
   Journal of Electronic Materials, 52, 6690-6698 (2023).
   https://doi.org/10.1007/s11664-023-10605-5
   


5. Analysis of Existing States of Co-Deposited Hydrogen in Electrodeposited Pd Films
   Tomoya Hashimoto, Tomoya Nakamura, Naoki Fukumuro, Shinji Yae
   Materials Transactions, 64(10), 2466-2470 (2023).
   https://doi.org/10.2320/matertrans.MT-M2023076
   [日本金属学会誌, 86(9), 172-175 (2022)]の英文化
   


6. Effect of repeated irradiation on laser-induced breakdown spectroscopy of copper immersed in a sodium chloride aqueous solution and normalization with bubble collapse time
   Ayumu Matsumoto, Yusuke Shimazu, Shinji Yae, Tetsuo Sakka
   Journal of Analytical Atomic Spectrometry, 38(12), 2590-2597 (2023).
   https://doi.org/10.1039/D3JA00268C
   


7. Designed Mesoporous Architecture by 10–100 nm TiO2 as Electron Transport Materials in Carbon-Based Multiporous-Layered-Electrode Perovskite Solar Cells
   Takaya Shioki, Ryuki Tsuji, Kota Oishi, Naoki Fukumuro, Seigo Ito
   Photonics, 11(3), 236 (2024).
   https://doi.org/10.3390/photonics11030236
   

著書

1. ポーラスシリコンの光学特性
   八重真治, 松本 歩
   多孔質体ハンドブック 性質・評価・応用, エヌ・ティー・エス, 第2編 第8章, 312-318 (2023).


2. めっき膜におけるはんだ濡れ性の評価と水素の影響
   福室直樹
   "ぬれ性"の制御と表面処理・改質技術, 技術情報協会, 第5章 第11節, 538-541 (2023).


3. 金属援用エッチングのメカニズムとポーラスシリコンの形成技術
   八重真治, 松本 歩
   先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術, 技術情報協会, 第6章 第2節, 426-434 (2023).

総説、解説等

1. ポーラスシリコン基板を利用したレーザー誘起ブレークダウン分光分析
   松本 歩, 島津佑輔, 八重真治
   表面技術, 74(4), 198-202 (2023).
   https://doi.org/10.4139/sfj.74.198
   


2. 貴金属ナノ粒子の無電解置換析出とシリコン表面高機能化への応用
   八重真治, 松本 歩, 福室直樹
   粉体工学会誌, 60(12), 739-747 (2023).
   https://doi.org/10.4164/sptj.60.739
   


3. 無電解プロセスによるシリコンの表面処理と高感度レーザー分析への応用
   松本 歩, 八重真治
   表面技術, 75(2), 82-88 (2024).
   https://doi.org/10.4139/sfj.75.82
   

国際会議

1. Surface-enhanced LIBS using a porous silicon substrate ―Analysis of microdroplets with different salinity―
   Ayumu Matsumoto, Yusuke Shimazu, Haruka Nakano, Kosuke Suzuki, Shinji Yae
   Colloquium Spectroscopicum Internationale XLIII & The 5th Asian Symposium on Laser Induced Breakdown Spectroscopy (CSI XLIII & ASLIBS2023), Tokushima, Japan, June 27, 2023. (invited)


2. Surface-enhanced LIBS using a porous silicon substrate ―Introduction of fiber-optic system for remote analysis―
   Yusuke Shimazu, Hideo Nagahashi, Kosuke Suzuki, Haruka Nakano, Ayumu Matsumoto, Shinji Yae
   Colloquium Spectroscopicum Internationale XLIII & The 5th Asian Symposium on Laser Induced Breakdown Spectroscopy (CSI XLIII & ASLIBS2023), Tokushima, Japan, June 28, 2023. (poster) [Best Poster Presentation Award]


3. Decomposition process of highly-hydrogenated diamond-like carbon films by the annealing effect
   Daisuke Niwa, Tomohiro Mishima, Naoya Iida, Koji Nakanishi, Naoki Fukumuro, Tsuneo Suzuki, and Kazuhiro Kanda
   The 9th TKU-ECUST-KIST-OMU-UH-IHU-KMITL-UTAR-TNU-HUFI Joint Symposium on Advanced Materials and Applications (JSAMA-9), Himeji, Japan, September 1, 2023. (poster)


4. Gold Recovery from Thiosulfate Leaching Solution Using Silicon Powder and Electrochemical Monitoring of Its Process
   Shinji Yae, Yuna Iwai, Yumi Takashima, Takumi Osaka, Ayumu Matsumoto
   244th ECS Meeting, Gothenburg, Sweden, October 10, 2023. (poster)


5. Attempts to Elecrochemically Synthesize Palladium Superrhydrides By High Pressure Method ―Combination of Electrolytic Hydrogen Charging and Electroplating of Protective Coatings―
   Tomoya Hashimoto, Naoki Fukumuro, Shinji Yae
   244th ECS Meeting, Gothenburg, Sweden, October 10, 2023. (poster)


6. Annealing effect on the structure and physical properties of H-DLC films
   Daisuke Niwa, Tomoya Mishima, Koji Nakanishi, Naoki Fukumuro, Masaya Takeuchi, Tsuneo Suzuki, Kazuhiro Kanda
   The 2nd World Symposium on Materials Sciences and Engineering (SMSE-2023), Singapore, November 8, 2023. (poster)


7. Hydrogen in Electrolessly Deposited Copper Films
   Shinji Yae, Kazuma Hayashi, Kosuke Tohda, Naoki Fukumuro
   The 11th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing (PRICM11), Jeju, South Korea, November 20, 2023. (oral)


8. Changes in Existing States of Hydrogen in Electrodeposited Palladium
   Tomoya Hashimoto, Naoki Fukumuro, Shinji Yae
   The 11th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing (PRICM11), Jeju, South Korea, November 21, 2023. (oral)


9. Metal-Assisted Etching of Silicon ―Formation of Porous Structure and General Corrosion of Whole Surface―
   Shinji Yae, Ayumu Matsumoto
   International Conference on Surface Engineering (ICSE2023), Busan, South Korea, November 23, 2023. (invited)


10. Effects of Additives on Hydrogen Co-deposition in Electrolessly Deposited Copper Films
    Naoki Fukumuro, Kazuma Hayashi, Shinji Yae
    International Conference on Surface Engineering (ICSE2023), Busan, South Korea, November 20, 2023. (oral)

国内学会、研究会等

1. 無電解プロセスによるシリコンの表面処理と高感度レーザー分析への応用
   松本 歩
   表協青年経営技術懇話会(SYMTEC) 第119回会合, 株式会社三進製作所 犬山工場, 犬山市, 2023年4月14日. (依頼講演)


2. シリコンの金属援用エッチング ―孔形成の仕組みとレーザー分光分析への応用―
   八重真治, 松本 歩
   近畿アルミニウム表面処理研究会, ホテルアウィーナ大阪, 大阪市, 2023年6月30日. (依頼講演)


3. ウェットプロセスによる高濃度金属水素化物の創製と水素誘起現象の解析
   福室直樹, 八重真治, 橋本倫也
   2023年関西表面技術シンポジウム, 大阪鍍金会館, 大阪市, 2023年7月25日. (依頼講演)


4. めっき膜中の水素の挙動とその影響の解析
   福室直樹
   R&D支援センターセミナー, 江東区産業会館, 東京都, 2023年8月21日. (依頼講演)


5. GaAs基板上に形成した無電解Ni-Pめっき膜の応力評価 (2)
   西澤弘一郎, 松本 歩, 福室直樹, 中川康幸, 日坂隆行, 佐久間 仁, 小島善樹, 八重真治
   第87回半導体・集積回路技術シンポジウム, 東京理科大学森戸記念館, 東京都, 2023年8月30日. (ポスター)


6. GaAs(100)単結晶基板と無電解Ni-Pめっき膜の界面反応層のストレス解析
   西澤弘一郎, 松本 歩, 福室直樹, 中川康幸, 日坂隆行, 佐久間 仁, 小島善樹, 八重真治
   表面技術協会第148回講演大会, 山形大学米沢キャンパス, 米沢市, 2023年9月4日. (口頭)


7. 無電解銅めっき膜中の水素の存在状態と膜の構造に及ぼす添加剤の影響
   林 和磨, 山崎瑠仁, 福室直樹, 八重真治
   表面技術協会第148回講演大会, 山形大学米沢キャンパス, 米沢市, 2023年9月4日. (口頭)


8. 最新の電界放射型透過電子顕微鏡を用いためっき・電解研磨表面の構造解析
   福室直樹
   電気鍍金研究会9月例会, 大阪鍍金会館, 大阪市, 2023年9月13日. (依頼講演)


9. 昇温による高水素化DLC膜の自由体積の変化
   丹羽大輔, 三嶋友博, 中西康次, 福室直樹, 木野村 淳, 神田一浩
   第84回応用物理学会秋季講演会, 熊本城ホールほか, 熊本市, 2023年9月20日. (口頭)


10. 電界放射型透過電子顕微鏡によるナノ構造解析 〜姫路工学キャンパスオープンファシリティの紹介〜
    福室直樹
    兵庫県立大学知の交流シンポジウム2023, 神戸商工会議所会館, 神戸市, 2023年9月22日. (ポスター)


11. めっき膜中の水素の挙動解析
    多嶋虎太朗, 橋本倫也, 林 和磨, 福室直樹, 八重真治
    兵庫県立大学知の交流シンポジウム2023, 神戸商工会議所会館, 神戸市, 2023年9月22日. (ポスター)


12. 多機能電界放射型透過電子顕微鏡による薄膜・表面のナノ構造解析
    福室直樹
    第38回ARS姫路コンファレンス, 姫路・西はりま地場産業センター, 姫路市, 2023年11月7日. (依頼講演)


13. シリコンの金属援用エッチングにおける全面腐食と電極電位の関係
    橋口達希, 東 恭平, 西中 凜, 仲山拓真, 松本 歩, 八重真治
    第38回ARS姫路コンファレンス, 姫路・西はりま地場産業センター, 姫路市, 2023年11月6日. (ポスター) ［優秀発表賞］


14. 白金薄膜パターンを用いたシリコンの金属援用エッチング ―p-Siにおけるメソポーラス層の形成挙動―
    西中 凜, 東 恭平, 橋口逹希, 仲山拓真, 松本 歩, 八重真治
    第38回ARS姫路コンファレンス, 姫路・西はりま地場産業センター, 姫路市, 2023年11月6日. (ポスター)


15. 薄膜パターンを用いたシリコンの金属援用エッチング ―白金と銀のエッチング挙動の違い―
    仲山拓真, 西中 凜, 東 恭平, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治,
    第38回ARS姫路コンファレンス, 姫路・西はりま地場産業センター, 姫路市, 2023年11月6日. (ポスター)


16. Formation of porous silicon by metal-nanoparticle-assisted etching and application to laser-induced breakdown spectroscopy
    松本 歩, 八重真治
    ナノ学会 ナノ構造・物性－ナノ機能・応用部会 合同シンポジウム, 北九州国際会議場, 北九州市, 2023年11月21日. (依頼講演, オンライン発表)


17. 表面微細構造を利用したレーザー誘起ブレークダウン分光による液体の遠隔分析技術の検討
    島津佑輔, 長橋英雄, 仲野春香, 鈴木康介, 松本 歩, 八重真治
    第25回関西表面技術フォーラム, 甲南大学ポートアイランドキャンパス, 神戸市, 2023年11月30日. (ポスター)


18. チオ硫酸アンモニウム系浸出液とシリコン粉末を利用した金回収 ―攪拌速度と溶存酸素の影響―
    逢坂 匠, 岩井優奈, 松本 歩, 八重真治
    第25回関西表面技術フォーラム, 甲南大学ポートアイランドキャンパス, 神戸市, 2023年11月30日. (ポスター)


19. 銅ストライクめっきにおけるシアン浴と非シアン浴の皮膜比較
    寺内亮⼀, 橋本倫也, 松本 歩, 福室直樹, 八重真治
    第25回関西表面技術フォーラム, 甲南大学ポートアイランドキャンパス, 神戸市, 2023年12月1日. (口頭) ［めっき技術奨励賞］


20. 電気化学的水素透過法による電解Ni めっき中の水素侵入解析 ―添加剤の影響―
    多嶋虎太朗, 福室直樹, 八重真治
    第25回関西表面技術フォーラム, 甲南大学ポートアイランドキャンパス, 神戸市, 2023年12月1日. (口頭)


21. シリコンの金属援用エッチングにおける全面腐食 ―電気化学測定による解析―
    橋口達希, 東 恭平, 西中 凜, 松本 歩, 八重真治
    2023年度第3回関西電気化学研究会, 神戸大学百年記念館六甲ホール, 神戸市, 2023年12月9日. (ポスター)


22. 多孔質シリコンを用いた液体レーザー誘起ブレークダウン分光分析
    松本 歩, 島津佑輔, 八重真治
    レーザー学会学術講演会第44回年次大会, 日本科学未来館・東京国際交流会館プラザ平成, 東京都, 2024年1月17日. (依頼講演)


23. GaAs半導体プロセスにおけるウエハ反りの低減
    西澤弘一郎, 松本 歩, 中川康幸, 日坂隆行, 福室直樹, 佐久間 仁, 小島善樹, 八重真治
    電子情報通信学会電子デバイス研究会, 機械振興会館, 東京都, 2024年1月25日. (口頭)


24. めっき膜中の水素の挙動解析
    福室直樹
    令和5年度業界対応専門研修(めっき技術), 名古屋市工業研究所, 名古屋市, 2024年1月31日. (依頼講演)


25. 低速陽電子線を用いた高水素化DLC膜中の自由体積昇温温度依存性の観測
    丹羽大輔, 三嶋友博, 中西康次, 福室直樹, 木野村 淳, 薮内 敦, 堀 史説, 神田一浩
    京都大学複合原子力科学研究所第58回学術講演会, 京都大学複合原子力科学研究所, 泉南郡, 2024年1月31日. (ポスター)


26. メッキ膜中の共析した水素の存在状態とその影響の解析
    福室直樹
    ものづくり向上セミナー2024, 尼崎リサーチ・インキュベーションセンター(ARIC), 尼崎市, 2024年2月9日. (依頼講演)


27. シリコンの金属援用エッチングで形成される多孔質構造 ―メソポーラス層形成と全面腐食―
    八重真治, 東 恭平, 西中 凜, 橋口達希, 松本 歩, 福室直樹
    表面技術協会第149回講演大会, 工学院大学八王子キャンパス, 八王子市, 2024年3月5日. (口頭)


28. 無電解銅めっき膜中への水素共析と膜の構造に及ぼす添加剤の影響
    福室直樹, 林 和磨, 山崎瑠仁, 八重真治
    表面技術協会第149回講演大会, 工学院大学八王子キャンパス, 八王子市, 2024年3月5日. (口頭)


29. 金属援用エッチングにより形成される多孔質シリコンの透過電子顕微鏡観察
    森 大樹, 東 恭平, 福室直樹, 松本 歩, 八重真治
    表面技術協会第149回講演大会, 工学院大学八王子キャンパス, 八王子市, 2024年3月5日. (ポスター)


30. 無電解銅めっき膜への水素共析と膜の構造に及ぼす影響
    八重真治, 林 和磨, 山崎瑠仁, 任田光佑, 福室直樹
    日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会, 東京理科大学葛飾キャンパス, 東京都, 2024年3月13日. (口頭)


31. 金属援用エッチングによるマイクロ・ナノ複合多孔質構造の形成
    八重真治, 松本 歩
    電気化学会第91回大会, 名古屋大学東山キャンパス, 名古屋市, 2024年3月16日. (依頼講演)


32. 白金および銀の薄膜パターンを用いたp型シリコンの金属援用エッチング
    仲山拓真, 西中 凜, 東 恭平, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治
    電気化学会第91回大会, 名古屋大学東山キャンパス, 名古屋市, 2024年3月14日. (口頭)


33. シリコン粉末によるチオ硫酸アンモニウム系浸出液からの金回収 ―金回収挙動に対する共存元素の影響―
    門脇晨一郎, 逢坂 匠, 松本 歩, 八重真治
    電気化学会第91回大会, 名古屋大学東山キャンパス, 名古屋市, 2024年3月14日. (口頭)


34. 高水素化DLC膜の自由体積の昇温温度依存性
    丹羽大輔, 三嶋友博, 中西康次, 福室直樹, 木野村 淳, 薮内 敦, 堀 史説, 神田一浩
    ニュースバルシンポジウム2024, アクリエ姫路, 姫路市, 2024年3月14日. (ポスター)


35. 軟X線照射および昇温による高水素化DLC膜の自由体積の変化
    神田一浩, 丹羽大輔, 三嶋友博, 中西康次, 福室直樹, 堀 史説, 薮内 敦, 木野村 淳
    第71回応用物理学会春季学術講演会, 東京都市大学世田谷キャンパス, 東京都, 2024年3月14日. (ポスター)