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製膜装置等

プラズマＣＶＤ装置		(左)酸化炉, (右)拡散炉
縦型電気炉		横型電気炉
スピンコータ		イオンスパッタリング装置
卓上型単結晶育成装置

測定装置

エリプソメータ		４探針測定器
μ-ＰＣＤ		ソーラーシミュレータ
フーリエ変換型赤外分光光度計（ＦＴＩＲ）		紫外赤外分光光度計

分離装置

遠心分離機

その他

プレス機

研磨機