| クラスターイオン照射は、モノマー(単原子)イオン照射とは全く違ったクレーター状の照射痕が形成される。この形状はクラスターイオン特有のラテラルスパッタ効果（図2）によるものである。 |
図2 ラテラルスパッタ効果
| クラスターイオンを構成する1原子あたりのエネルギーが、ターゲット物質の結合エネルギー(グラファイトの場合：約10eV)より小さいとき、クレーター状の照射痕が全く形成されない。 |
図3 照射痕のエネルギー依存性
この結果より、クラスター構成原子あたりのエネルギーを調節することで、クラスターイオン励起表面反応の制御が可能である。