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教員詳細

竹内 雅耶 [たけうち まさや]
助教|博士(工学)
メールアドレス m_takeuchi@eng.u-hyogo.ac.jp
たけうち まさや

研究テーマ:ガスクラスターイオンビームによる新たなナノ加工技術の開発と応用

数千個の原子の塊を加速して照射するガスクラスターイオンビーム(GCIB)は、本研究室で開発されてきた独創技術です。数eV/atomといった超低エネルギー粒子が数nm程度の領域に同時に衝突するため、基板原子とGCIB構成原子との非線形衝突効果が生じ、低損傷照射効果、高効率二次イオン放出、平坦化効果、低損傷エッチングなど、これまでのイオンでは実現できない特徴的な照射効果を示すことが明らかとなっています。本研究室では、GCIBの発生方法から、GCIBを利用した半導体、カーボン材料、生体材料等の高精度ナノ加工・成膜・分析などへの応用について幅広く研究を行っています。