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教員詳細

田中 一平 [たなか いっぺい]
助教|博士(工学)
メールアドレス tanaka@eng.u-hyogo.ac.jp
田中 一平

研究テーマ:プラズマ技術を用いた超硬質材料の作製と高機能表面創製

近年、機械システムの高度化、小型化、省エネ化の要求が高まり、表面の高機能化が重要な役割を果たしています。機械材料が接触する時に表面が大きな役割を持ち、表面に0.001mmと非常に薄い膜をコーティングすることで摩擦係数や摩耗が非常に少なくなります。
高機能性薄膜として利用されている超硬質材料は、ダイヤモンドや窒化ホウ素、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)が挙げられます。この中でダイヤモンドは天然物質中で最も硬く工具としての応用が広がっていますが、このダイヤモンドを凌ぐ硬度を有する可能性のある材料が炭素と窒素で構成されている窒化炭素という物質です。ダイヤモンドを越える硬さを持った窒化炭素を作製することができれば、工具や金型といった加工技術への拡大が期待できます。
当研究室では真空中での薄膜形成技術であるドライプロセスを基に、プラズマ中のイオンやラジカルを制御することで超硬質材料の創製や新たな材料プロセスの研究・開発に取り組んでいます。材料合成技術を通して、先進的な高機能表面処理技術の実用化を目指します。主要なテーマは以下の通りです。
・マイクロ波プラズマCVD法やIBAD法による窒化炭素の合成
・プラズマCVDによるダイヤモンド合成
・PVD法によるDLCの作製とトライボロジー特性評価

  • プラズマCVDで合成された窒化炭素

    プラズマCVDで合成された窒化炭素

  • 主な成膜手法

    主な成膜手法