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電子情報工学専攻の池田翔太さん(平成30年度、博士前期課程卒業)が電気学会 平成30年電子・情報・システム部門技術委員会奨励賞を受賞


平成29年3月28日にイーグレ姫路において行われた,電気学会 光・量子デバイス研究会(微細加工技術とバイオ・メディカル応用)での電子情報工学専攻池田翔太さん(平成30年度、博士前期課程卒業)の,口頭発表「GCIB 照射による低温・低損傷表面活性化接合の検討」が評価され,平成30年電子・情報・システム部門技術委員会奨励賞を受賞しました. 低損傷での三次元積層技術を目指してGCIBを利用した表面活性化接合を試み,Cuの低温表面活性化接合に成功しました.

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