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電子情報工学専攻の竹内雅耶助教が、第52回(2022年春季)応用物理学会講演奨励賞を受賞

電子情報工学専攻の竹内雅耶助教が,2022年3月22日~26日に開催された第69回応用物理学会春季学術講演会で発表した「GCIBを用いた原子層エッチングによるSi3N4膜の極薄化及びその耐圧性評価」(竹内 雅耶,藤原 怜輝,豊田 紀章)に対し,第52回(2022年春季)応用物理学会講演奨励賞を受賞しました。液体等のXPS分析用セルに用いられるSi3N4メンブレンに対し,GCIBを用いた原子層エッチングで極薄化可能なことを示したものであり,将来の二次電池や生体材料などへの応用が期待されます。

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https://www.jsap.or.jp/young-scientist-presentation-award/recipients52

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