JSPS科研費
- “表面近傍における生体物質の三次元・直接追跡,”神田健介(代表),JSPS科学研究費補助金 若手研究B 20760113 2008〜2009年度
- “PZT/PZT薄膜バイモルフ構造の評価と応用”,神田健介(代表),JSPS科学研究費補助金 若手研究B 23760233 2011〜2012年度
- “圧電PZT薄膜の超多層積層成膜およびMEMSデバイスへの応用”,神田健介(代表),JSPS科学研究費補助金 基盤研究C 26420204 2014〜2016年度
- “圧電薄膜によるMEMSハプティックデバイスの創製”,神田健介(代表) JSPS科学研究費補助金 基盤研究C 17K06269 2017〜2019年度
- “微細加工技術を利用したナノピラー型マルチフェロイック複合体材料の開発”,小舟正文(分担)JSPS科研費補助金基盤研究B 18H01724 2018〜2020年度
- "圧覚・振動覚・温冷覚を包含したマイクロ触覚センサチップの開発",寒川雅之(分担)JSPS科学研究費補助金基盤研究C 19K04290 2019〜2021年度
- “圧電/磁性体薄膜の融合による広帯域MEMS振動発電素子”,神田健介(代表),JSPS科学研究費補助金基盤研究B 20H02120 2020〜2024年度
- "ヒト受容器の周波数・空間特性を再現した機械刺激・温冷複合マイクロ触覚センサチップ", 寒川雅之(分担)JSPS科学研究費補助金基盤研究B 22H01442 2022〜2025年度
JST
- "分極制御非鉛圧電薄膜による高効率MEMS振動発電素子の創製"神野伊策(主たる共同研究者),"高出力圧電エナジーハーベスタの開発"(分担テーマ)平成28−31年度JST CREST「微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出」領域,JPMJCR16Q4
その他助成金等
- “圧電薄膜のMEMS融合に関する研究”, 神田健介(代表) 平成25年度公立大学法人兵庫県立大学特別研究助成金 若手研究者支援
- “大発生力圧電薄膜を用いた“人”にアピール可能なマイクロデバイス”,神田健介(代表)2015年度兵庫県立大学科学技術後援財団教育研究助成
- "トップダウン+ボトムアップ手法による反応表面積拡大構造の実現", 前中一介(分担),平成26年度公立大学法人兵庫県立大学特別研究助成金 先導的プロジェクト研究
- “圧電縦効果を利用したMEMSデバイス設計に関する研究”, 神田健介(代表) 平成29年度公立大学法人兵庫県立大学特別研究助成金 若手研究者支援
- “多層圧電薄膜を用いた高出力エナジーハーベスタの開発と自立センサシステム開発”,神田健介(代表)平成30年度公立大学法人兵庫県立大学特別研究助成金 若手研究者支援
- “圧電MEMSを用いた浮遊センサ実現のためのフィージビリティスタディ”,神田健介(代表)2020年度ひょうご科学技術協会学術助成