井上 尚三 | 教授 | 《薄膜工学》 |
生津 資大 | 准教授 | 《ナノ材料科学》 |
吉木 啓介 | 助教 | 《光計測/顕微鏡技術》 |
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)に用いられる「マイクロ・ナノ材料」に関連する研究を行っています.当研究グループの研究テーマは,(1)機能性材料の作製技術開発,(2)微小材料の評価技術開発,(3)顕微鏡・観測技術の開発,(4)デバイス開発,に大別できます.最近では,薄膜材料の成膜,評価,分析に係わる技術開発や,機能性薄膜などの特殊材料の特長を活かしたデバイスづくりなどを行っています.教育面では,機械材料学,メカトロニクス,マイクロテクノロジ,古典力学などの座学や,設計製図,CAD/CAM,機械物理実験,機械知能工学実験などの実験・演習科目を担当しています. |
(1) | スパッタリング法を利用した各種機能性薄膜の作製に関する研究 |
(2) | 機能性材料を用いたMEMSへの応用研究 |
(3) | マイクロ/ナノ材料の物性評価技術開発に関する研究 |
(4) | マイクロデバイスの信頼性評価技術の開発 |
(5) | 非線形光学顕微鏡による非接触応力分布計測システムの開発 |
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