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物質系工学専攻/物質・エネルギー部門

表面エネルギー化学研究グループ

松田 均 教授 《表面工学》
八重 真治 准教授 《表面工学、光電気化学》
福室 直樹 助教 《表面工学》

■研究の詳細については、こちらをご覧ください。
⇒表面エネルギー化学研究グループホームページへ

教育・研究の内容

 表面・界面とエネルギーが関わる物理化学を基礎として、金属はもちろん半導体・プラスチック・セラミックスなどの幅広い材料の表面物性と表面処理について教育・研究しています。最近では、無電解めっきや電気めっきにより析出した金属に含まれる水素に注目しています。また、シリコン半導体に無電解めっきによって形成した金属ナノ粒子を利用して、多孔質シリコンや高信頼性めっき膜さらには高効率太陽電池の製造を試みています。

最近の研究テーマ

(1) めっき膜中の水素の定量と存在状態の解明
(2) 無電解めっきを中心とする薄膜材料の新しい解析技術の開発
(3) 高機能性めっき膜形成
(4) 金属の電気化学析出過程の解析
(5) 金属ナノ粒子を用いる無電解めっき膜形成
(6) シリコンの金属微粒子援用HFエッチング

応用分野(番号は研究テーマに対応)

(1) めっき膜の構造や諸特性の変化に及ぼす水素の影響評価と特性向上
(2) めっき膜の構造、組成、機械的特性の評価と向上
(3) 新規な機能性を持つめっき膜形成法の開発
(4) めっき膜の機能性向上、金属ナノ粒子形成
(5) シリコン上への高信頼性めっき膜パターン形成
(6) 多孔質シリコン、高効率太陽電池、光−化学変換

技術相談、共同研究等の可能な分野

【材料表面と薄膜の分析・解析】
組成分析(ICP,GDOES,EDS),ガス分析(TDS),構造解析(XRD),表面観察(SEM,AFM),組織観察(TEM),分光分析(UV-Vis),電気化学測定,物性評価(電磁気特性,太陽電池特性,機械的特性,耐環境性等)
【表面処理に関する技術相談】
電気化学、成膜工学

■研究の詳細については、こちらをご覧ください。
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