実験装置
 反応性スパッタリング装置 |  ミストCVD装置 | ||
 卓上型単結晶育成装置 |  真空蒸着装置 | ||
 イオンスパッタリング装置 |  集光加熱装置 | ||
 ランプ加熱装置 |  スピンコータ | ||
 回転研磨機 |
評価装置
 走査電子顕微鏡 SEM |  SEM用 EDS + EBSD | ||
 フーリエ変換型赤外分光光度計 FT/IR 4200 |  FT-IR用 全反射測定ユニット ATR PRO650G | ||
 紫外赤外分光光度計 V-670 |  UV-VIS-IR用 積分球 ISN-723 | ||
 ストークス型エリプソメータ |  ４探針測定器 | ||
 ライフタイム評価装置 |  ライフタイム評価装置 | ||
 ソーラーシミュレータ |
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