公益財団法人JKA 機械振興補助事業 研究補助 （2020年度）
・補助事業名：高繰り返しナノ秒パルス窒素プラズマの特性解明とそれに基づいた金属材料の革新的窒化技術の開発補助事業
・補助事業者名：兵庫県立大学 大学院 工学研究科 電気物性工学専攻 准教授 菊池 祐介
１．研究の概要
ドライプロセスであるプラズマを用いた窒化技術は環境調和型窒化技術として期待されている。本事業では、近年開発されたSiC-MOSFETインバータ電源を用いて高繰り返しナノ秒パルスグロー放電を生成し、窒化技術に適用する。特に高時間分解分光計測を行い、繰り返し周波数下のパルスグロー放電特性と窒化効果の関係を明らかにする。２．研究の目的と背景
従来のプラズマ窒化技術は処理材料の端部に放電が集中するエッジ効果が発生するため均一な処理が難しいこと、アーク放電が発生すると処理材料の一部が溶融、欠陥を生じる課題等がある。これまでに高繰り返しナノ秒パルスグロー放電において、陽極近傍にて窒素分子の解離による窒素原子生成が確認されており、これを窒化処理に適用する。３．研究内容
研究期間終了後、記載予定。４．本研究が実社会にどう活かされるかー展望
研究期間終了後、記載予定。５．教歴・研究歴の流れにおける今回研究の位置づけ
研究期間終了後、記載予定。６．本研究にかかわる知財・発表論文等
７．補助事業に係る成果物
研究期間終了後、記載予定。