藤原 閲夫 | 教授 | 《レーザー工学》 |
古賀 麻由子 | 准教授 | 《計測工学》 |
東 欣吾 | 助教 | 《プラズマ工学》 |
レーザー応用、プラズマ利用、計測技術など電気エネルギーの応用技術について教育と研究を行っています。電気エネルギーを社会に役立てる実用性の立場から、液滴化高速ジェット、マイクロレーザープラズマ光源、硬質膜成膜装置の開発に取り組んでいます。 |
(1) | 溶融スズ金属液滴などの高速液滴発生とその応用 |
(2) | レーザーを用いた表面検査 |
(3) | 高イオン化率金属プラズマ源の開発 |
(4) | プラズマイオン注入による金属表面改質 |
(5) | 大電力パルスマイクロ波源の開発 |
(1) | 極端紫外線(EUV)発生 |
(2) | 表面研磨された金属表面の検査 |
(3,4) | 超硬質コーティング、複合膜、多層膜 |
プラズマ、イオンビーム、パルスパワー、パルス電子ビーム、ガスレーザー応用、プラズマイオン注入、材料表面改質、大電力パルスマイクロ波、レーザー表面検査 |