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電気系工学専攻/電力・エネルギー工学部門

電力応用研究グループ

藤原 閲夫 教授 《レーザー工学》
古賀 麻由子 准教授 《計測工学》
東 欣吾 助教 《プラズマ工学》

教育・研究の内容

 レーザー応用、プラズマ利用、計測技術など電気エネルギーの応用技術について教育と研究を行っています。電気エネルギーを社会に役立てる実用性の立場から、液滴化高速ジェット、マイクロレーザープラズマ光源、硬質膜成膜装置の開発に取り組んでいます。

最近の研究テーマ

(1) 溶融スズ金属液滴などの高速液滴発生とその応用
(2) レーザーを用いた表面検査
(3) 高イオン化率金属プラズマ源の開発
(4) プラズマイオン注入による金属表面改質
(5) 大電力パルスマイクロ波源の開発

応用分野(番号は研究テーマに対応)

(1) 極端紫外線(EUV)発生
(2) 表面研磨された金属表面の検査
(3,4) 超硬質コーティング、複合膜、多層膜

技術相談、共同研究等の可能な分野

プラズマ、イオンビーム、パルスパワー、パルス電子ビーム、ガスレーザー応用、プラズマイオン注入、材料表面改質、大電力パルスマイクロ波、レーザー表面検査