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電気系工学専攻／物性・デバイス工学部門

電子物性研究グループ

佐藤　真一 教授 《電子物性》
吉田　晴彦 准教授 《電子物性》
森　英喜 助教 《電子物性》

教育・研究の内容

　半導体などの電子材料の性質 （物性）やエレクトロニクス・デバイスの動作原理などについて教育しています。研究面では、半導体や半導体デバイスの表面・界面の物性及びその評価技術の開発、太陽電池や熱電変換デバイスの高効率化について研究を行っています。

最近の研究テーマ

（1） 高誘電体（High-k）薄膜を用いたMOSデバイスの界面評価に関する研究
（2） 走査型プローブ顕微鏡による半導体デバイスのナノメータスケール評価に関する研究
（3） 非接触評価法を用いた半導体の電気特性評価に関する研究
（4） 半導体界面制御による太陽電池の高効率化に関する研究
（5） 熱電変換デバイスの高効率化に関する研究

応用分野

（1） 半導体デバイスの製造プロセス
（2） 半導体デバイスの評価技術及び装置開発
（3） 太陽電池
（4） 熱電変換デバイス

技術相談、共同研究等の可能な分野

[佐藤]
半導体デバイス、半導体材料、LSIプロセス技術、太陽電池
[吉田]
半導体デバイス、半導体材料、半導体評価技術、太陽電池、熱電変換デバイス
[森]
熱電変換デバイス

■研究の詳細については、こちらをご覧ください。
⇒電子物性研究グループ主な研究業績

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