学会発表情報Announcements
2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015
学会開催情報 Meeting information
- 開催場所： 名古屋国際会議場（愛知県名古屋市熱田区熱田西町１-１）
- 開催期間： 2015年9月13日(日) 〜 16日(水)
- 予稿発行日：2015年8月31日(月)
- 学会HP：https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2015a/top
- [13p-2Q-12]HfO2成膜におけるPLDレーザー強度がSi基板の表面酸化に与える影響
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- 発表者：上岡聡史1，三宅省三1，吉田晴彦1，新船幸二1，佐藤真一1，堀田育志1,
- 所属：兵庫県立大1
- キーワード：high-k、SiO2、HfO2
- セッション情報：06. 薄膜・表面, 6.4 薄膜新材料
- セッション種別：一般セッション(口頭講演)
- 発表日時：2015年9月13日(日) 16:30 PM 〜 16:45 PM
- 会場：2Q
- [13p-2Q-13] PLD法によりSrSiO3多結晶体ターゲットから作製したSr-Silicate薄膜の化学組成と化学結合状態
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- 発表者：馬野光博1，谷脇将太1，今西啓司1, 吉田晴彦1，新船幸二1，佐藤真一1，堀田育志1
- 所属：兵庫県立大1
- キーワード：ストロンチウムシリケイト、太陽電池、電界効果パッシベーション
- セッション情報：06. 薄膜・表面, 6.4 薄膜新材料
- セッション種別：一般セッション(口頭講演)
- 発表日時：2015年9月13日(日) 16:45 PM 〜 17:00 PM
- 会場：2Q
- [13p-2Q-18] PLD法によりSr2SiO4ターゲットから作製したSr2SiO4薄膜の膜中固定電荷のアニール温度依存性
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- 発表者：今西啓司1，谷脇将太1，馬野光博1, 吉田晴彦1，新船幸二1，佐藤真一1，堀田育志1
- 所属：兵庫県立大1
- キーワード：ストロンチウムシリケイト、固定電荷
- セッション情報：06. 薄膜・表面, 6.4 薄膜新材料
- セッション種別：一般セッション(口頭講演)
- 発表日時：2015年9月13日(日) 18:00 PM 〜 18:15 PM
- 会場：2Q
