兵庫県立大学大学院工学研究科附属　ナノ・マイクロ構造科学研究センター

学会開催情報 Meeting information

• 開催場所： 神奈川工科大学（神奈川県厚木市下荻野1030）
• 開催期間： 2013年3月27日(水) 〜 30日(土)
• 予稿発行日：2013年3月11日(月)
• 学会HP：https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2013s/top
　　　

[29p-PA9-10] SrSiO_x/Si 構造の熱安定性と電気特性の評価

• 発表者：谷脇将太¹，豊嶋祐樹¹，堀田育志^{1, 3}, 吉田晴彦^{1, 3}，新船幸二^{1, 3}，小椋厚志^{2, 3}，佐藤真一^{1, 3}
• 所属：兵庫県立大¹，明大²，JST-CREST³
• 結晶シリコン太陽電池、電界効果パッシベーション、ストロンチウムシリケイト
• セッション情報：16. 非晶質・微結晶, 16.3 シリコン系太陽電池
• セッション種別：一般セッション(ポスター講演)
• 発表日時：2013年3月29日(金) 4:00 PM 〜 6:00 PM
• 場所：PA9 (第一体育館)

[30a-F1-1] HfO₂/SiO₂及びY₂O₃/SiO₂構造の作製条件最適化

• 発表者：豊嶋祐樹¹，谷脇将太¹，堀田育志^{1, 3}, 吉田晴彦^{1, 3}，新船幸二^{1, 3}，小椋厚志^{2, 3}，佐藤真一^{1, 3}
• 所属：兵庫県立大¹，明大²，JST-CREST³
• キーワード：PLD、界面双極子、high-k材料
• セッション情報：6. 薄膜, 6.4 薄膜新材料
• セッション種別：一般セッション(口頭講演)
• 発表日時：2013年3月30日(土) 9:00 AM 〜 9:15 AM
• 場所：E3号館 1F-102

[30a-F1-2] PLD法によるSi基板上へのSrバッファー層の形成

• 発表者：今中淳弘，佐々木翼，堀田育志，佐藤真一
• 所属：兵庫県立大学
• キーワード：Si、Sr、バッファー層
• セッション情報：6. 薄膜, 6.4 薄膜新材料
• セッション種別：一般セッション(口頭講演)
• 発表日時：2013年3月30日(土) 9:15 AM 〜 9:30 AM
• 場所：E3号館 1F-102

[30a-F1-3] PLD法によるSrOバッファー層を用いたSrTiO₃薄膜のSi基板上への直接成長

• 発表者：佐々木翼，今中淳弘，堀田育志，佐藤真一
• 所属：兵庫県立大学
• キーワード：Si、STO、バッファー層
• セッション情報：6. 薄膜, 6.4 薄膜新材料
• セッション種別：一般セッション(口頭講演)
• 発表日時：2013年3月30日(土) 9:30 AM 〜 9:45 AM
• 場所：E3号館 1F-102