兵庫県立大学工学部・大学院工学研究科/機械系工学専攻/機械知能工学部門材料知能設計研究グループ

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機械系工学専攻／機械知能工学部門

材料知能設計研究グループ

井上　尚三	教授	《薄膜工学》
生津　資大	准教授	《ナノ材料科学》
吉木　啓介	助教	《光計測/顕微鏡技術》

教育・研究の内容

　MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）に用いられる「マイクロ・ナノ材料」に関連する研究を行っています．当研究グループの研究テーマは，(1)機能性材料の作製技術開発，(2)微小材料の評価技術開発，(3)顕微鏡・観測技術の開発，(4)デバイス開発，に大別できます．最近では，薄膜材料の成膜，評価，分析に係わる技術開発や，機能性薄膜などの特殊材料の特長を活かしたデバイスづくりなどを行っています．教育面では，機械材料学，メカトロニクス，マイクロテクノロジ，古典力学などの座学や，設計製図，CAD/CAM，機械物理実験，機械知能工学実験などの実験・演習科目を担当しています．

技術相談、共同研究等の可能な分野

[井上]: 薄膜成膜技術，真空技術，材料分析技術など
[生津]: 薄膜材料試験技術，マイクロ・ナノ材料評価，デバイスの信頼性評価，MEMSデバイス開発，機能性素材開発など
[吉木]: 光計測，顕微鏡技術，応力・歪み分布の可視化技術など

■研究の詳細については、こちらをご覧ください。
⇒材料知能設計研究グループホームページへ

（1）	スパッタリング法を利用した各種機能性薄膜の作製に関する研究
（2）	機能性材料を用いたMEMSへの応用研究
（3）	マイクロ／ナノ材料の物性評価技術開発に関する研究
（4）	マイクロデバイスの信頼性評価技術の開発
（5）	非線形光学顕微鏡による非接触応力分布計測システムの開発

材料知能設計研究グループ

教育・研究の内容

最近の研究テーマ

技術相談、共同研究等の可能な分野