プロジェクトと競争的資金

キーワード検索

競争的資金獲得状況（○は代表）

令和4-7年度　科学研究費補助金　基盤研究(B), 「ヒト受容器の周波数・空間特性を再現した機械刺激・温冷複合マイクロ触覚センサチップ」（神田）
令和2年度　ひょうご科学技術協会学術助成, 「圧電MEMSを用いた浮遊センサ実現のためのフィージビリティスタディ」（〇神田）
令和2-6年度　科学研究費補助金　基盤研究(B), 「圧電/磁性体薄膜の融合による広帯域MEMS振動発電素子」（〇神田）
令和元-3年度　科学研究費補助金　基盤研究(C), 「圧覚・振動覚・温冷覚を包含したマイクロ触覚センサチップの開発」（神田）
平成30年度公立大学法人兵庫県立大学特別研究助成金若手研究者支援, 「多層圧電薄膜を用いた高出力エナジーハーベスタの開発と自立センサシステム開発」（〇神田）
平成30-令和2年度　科学研究費補助金　基盤研究(B), 「微細加工技術を利用したナノピラー型マルチフェロイック複合体材料の開発」（神田）
平成29年度公立大学法人兵庫県立大学特別研究助成金若手研究者支援, 「圧電縦効果を利用したMEMSデバイス設計に関する研究」（〇神田）
平成29-令和元年度　科学研究費補助金　基盤研究(C), 「圧電薄膜によるMEMSハプティックデバイスの創製」（〇神田）
2015年度兵庫県立大学科学技術後援財団教育研究助成，「大発生力圧電薄膜を用いた“人”にアピール可能なマイクロデバイス」（〇神田）
平成26年度公立大学法人兵庫県立大学特別研究助成金　先導的プロジェクト研究, 「トップダウン+ボトムアップ手法による反応表面積拡大構造の実現」（〇前中，神田）
平成26-28年度　科学研究費補助金　基盤研究(C), 「圧電PZT薄膜の超多層積層成膜およびMEMSデバイスへの応用」（〇神田）
平成25年度公立大学法人兵庫県立大学特別研究助成金若手研究者支援, 「圧電薄膜のMEMS融合に関する研究」（〇神田）
平成23-24年度　科学研究費補助金　若手研究(B), 「PZT/PZT薄膜バイモルフ構造の評価と応用」（〇神田）
平成20-21年度　科学研究費補助金　若手研究(B), 「表面近傍における生体物質の三次元・直接追跡」（〇神田）
平成20-21年度　科学研究費補助金　基盤研究(C), 「強誘電体のメモリ保持特性を利用した振動型ＭＥＭＳ構造体の不揮発的共振制御」（藤田）
平成19年度　兵庫県立大学次世代科学技術研究助成，「MEMSセンサの高性能化を目的とした技術潮流に関する調査研究」（○藤田）
平成17年度　兵庫県立大学特別教育研究助成金奨励研究, 「シリコンへの直接金めっき法を用いた超高周波回路の高性能化に関する研究」（○藤田）
平成16-17年度　科学研究費補助金　基盤研究(C), 「超高周波電力アンプに関する研究」（前中，藤田）
平成15-18年度　NEDO産業技術研究助成事業, 「三次元計測用マイクロ超音波アレイセンサとその空間認識システムへの応用」（藤田，前中）
平成16-17年度　科学研究費補助金基盤研究(B), 「シリコンマイクロマシニングによるリングレーザジャイロに関する研究」（○前中，藤田）
平成15年度　サウンド技術振興財団研究助成金, 「金熱圧着法を用いたバルクPZT・シリコン接合によるMEMSスペクトルアナライザに関する研究」（○藤田）
平成14年度　姫路工業大学科学研究費, 「バルクPZT接合とシリコン微細加工による機械式スペクトルアナライザに関する研究」（○藤田）
平成14年度　財団法人兵庫県科学技術振興財団助成金, 「超厚膜レジスト材によるMEMS用透過性光学部品に関する研究」（○藤田）
平成14年度　財団法人山陽特殊製鋼文化振興財団学術研究振興助成金，「高アスペクト金属構造体を用いた高周波MEMSスイッチを開発」（○藤田）
平成14年度（財）姫路工業大学後援財団　教育研究用物品等助成金（○藤田）

Page Top

ホーム

メンバー

研究室

発表論文

口頭発表

受賞と特許

プロジェクトと競争的資金

MEMSデバイスのプロセス工程

プロジェクトと競争的資金

関連プロジェクト

関連研究機関・学会へのリンク

競争的資金獲得状況（○は代表）