PiezoMEMSチームは，MEMS応用グループ（前中研究室）の研究室内チームです。
主に神田准教授が担当している，圧電MEMSに関連した研究を行っているメンバーで構成されています。
圧電薄膜をシリコンベースのバッチ製造プロセスに融合させた微細加工技術を基盤として，独自の特殊加工技術を用い，独創的なデバイスを提案してまいりました。センサやアクチュエータをシステム融合を含めて検討することによって，IoT社会の発展に貢献することを目標としています。
PiezoMEMSチームは，MEMS応用グループ（前中研究室）の研究室内チームです。
主に神田准教授が担当している，圧電MEMSに関連した研究を行っているメンバーで構成されています。
圧電薄膜をシリコンベースのバッチ製造プロセスに融合させた微細加工技術を基盤として，独自の特殊加工技術を用い，独創的なデバイスを提案してまいりました。センサやアクチュエータをシステム融合を含めて検討することによって，IoT社会の発展に貢献することを目標としています。
| 2025.1.14 | 神田がGeneral Chairを務めますPiezoMEMS2025が11月に姫路にて開催される予定です。 |
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| 2024.3.2 | 神田が電子セラミック・プロセス研究会第199研究会にて招待講演を行いました。 |
| 2023.9.7 | 神田が令和5年度電気学会A部門大会にて招待講演を行いました。 |
| 2023.7.20 | 神田が第160回フロンティア材料研究所学術講演会/第27回未来産業技術研究所生体医歯工公開セミナーにて招待講演を行いました。 |
| 2023.4 | 昨年度センサシンポジウムで神田が発表した研究が電気学会E部門誌の特集号でPublishされました |
| 2022.11.2 | 大阪公立大吉村准教授・大阪技術研の村上博士との共同研究がプレスリリース されました |
| 2022.11.1 | 6月のE部門総合研究会で神田が発表した論文が優秀論文発表賞を受賞しました |
| 2022.10.25 | IWPMA2022で神田が招待講演を行いました。 |
| 2022.6.13 | 神田が共同執筆した書籍が発刊されました：コロナ社「バイオ計測のための材料と微細加工」 |
| 2022.6.13 | 弾性波素子コンソーシアム研究会で神田が発表しました：ハーモニカリード型圧電MEMSによる気流からの振動発電 |
| 2022.6.8 | E部門総合研究会で神田が発表しました：風から発電する圧電MEMS振動発電素子 |
| 2022.5 | 神田の研究がSensors ＆ Materials誌に掲載されました：Piezoelectric MEMS Energy Harvester from Airflow at Low Flow Velocities |
| 2022.4 | 武田の研究が電気学会論文誌Eに掲載されました：振動型MEMSエナジーハーベスタのための強磁性NdFeB・圧電PZT薄膜ヘテロ集積 |
| 2022.1 | PZT-MEMSのマルチプロジェクトウエハサービス，MPW2021の納品が完了しました。 |
| 2021.11.6 | 応用物理学会関西支部主催のリフレッシュ理科教室において神田が講演しました。 |
| 2021.6.9 | PiezoMEMS WorkShopが奈良で開催されました。 |
| 2021.1.31 | 第11回集積化MEMSWorkShopにて神田が講演しました。招待講演「多層PZT薄膜の微細加工とその応用」 |
| 2020.6.15 | 新型コロナウィルスの感染拡大により自粛されていた研究室学生の入構が緩和されました(教員当たり3名まで)。 |
| 2020.4.1 | 科研費基盤研究Bに採択されました。 |
| 2020.4.1 | ひょうご科学技術協会学術助成に採択されました。 |
| 2020.4.1 | Webサイト開設 |