メンバー
- 准教授
- 神田 健介 (CV)
- 修士2年
- 田中 雄樹 圧電MEMS浮遊デバイスに関する基礎検討
- 修士1年
- 赤松 儀優 単結晶圧電MEMSに関する研究
- 吉田 智郎 ハーモニカリード型MEMS振動発電素子のモデル化
- 学部4年
- 遠藤 七海 ハーモニカリード型MEMS振動発電素子構造に関する研究
- 山本 翔太 圧電MEMS超音波素子の非線形振動に関する研究
卒業生
- 2022年度修了
- 河村 采歌 圧電MEMS触覚デバイスのための設計指針
- 2022年度卒業
- 志水 駿文 リード型MEMS振動発電素子の特性評価
- 2021年度修了
- 武田 光平 NdFeB薄膜磁石を用いた振動変向機構付き圧電型MEMSエナジーハーベスタ
- 2021年度卒業
- 桒田 光均 雨滴で発電する圧電MEMSエナジーハーベスタ
- 寺田 誠志郎 樹脂/PZT積層はりによるMEMSトリガデバイス
- 2020年度修了
- 饗庭 岳 気体流れを用いた振動型圧電MEMSエナジーハーベスタ
- 2020年度卒業
- 小沼 貴央 SrRuO3を内部電極に持つ多層PZT薄膜とその特性
- 七里 愛 Si基板上における強磁性NdFeBと強誘電性PZTのヘテロ集積
- 2019年度修了
- 牛田 大樹 無指向加速度センサに関する研究
- 髙原 光將 変位モニタリング可能な圧電MEMS触覚デバイス
- 平井 翔太 振動型圧電MEMSエナジーハーベスタの最適設計と高出力化
- 2019年度卒業
- 関山 賢太 1次元配列触覚提示デバイスの性能改善に関する研究
- 満田 直人 触覚で維持デバイス評価のためのヒトの触覚の定量化
- 2018年度修了
- 遠山 蒼 多層PZT薄膜と樹脂の積層構造によるMEMS触覚提示デバイス
- 2018年度卒業
- ハズワニ ビンティ モハマド ナシル MEMS 1D-arrayed tactile display based on thin film polymer/PZT structure
- 2017年度卒業
- 中西 亮介 櫛歯型中間電極による高効率圧電縦効果に関する研究
- 2016年度修了
- 大久保 昂 PZT薄膜と樹脂の積層構造による圧電MEMSハプティックデバイス
- 中本 翔満 PZT薄膜の多層成膜による超音波トランスデューサー
- 2015年度修了
- 佐野 良 スタンダードPZTMEMSプロセスの積層化に関する研究
- 森上 慎悟 3次元圧電MEMSのためのPZT薄膜のスパッタ成膜・加工及び特性評価
- 2015年度卒業
- 嶋 真弥 ウェアラブルを指向した圧電型MEMSハプティクスデバイス
- 2014年度修了
- 井上 純一 MEMS応用のための多層スパッタリングPZT薄膜に関する研究
- 2014年度卒業
- 武原 進拓 小型片持ちはりによる液体粘度評価に関する研究
- 2013年度修了
- 青木 俊介 マイクロインジェクション用ナノチューブの作製
- 2012年度卒業
- 梶村 尚伍 MEMSへの応用を指向したSi構造体側壁へのPZTスパッタ成膜とその評価
- 内藤 傑 ハニカム絶縁層を有する低寄生容量ウエハの作製
- 2011年度卒業
- 明石 優 薄膜PZTによる表面MEMS向け直交駆動アクチュエータ
- 2010年度修了
- 永田 和幸 スパッタPZT薄膜を用いた振動型MEMS加速度センサ
- 2010年度卒業
- 密山 京太 シリコントレンチ酸化による石英構造体の作製
- 山川 隆洋 振動型加速度センサのディジタル駆動検出システム