学術論文

2023

  1. 1) 神田 健介, 梶山 佳敬, 平田 善明, 島倉 泰久, 藤田 孝之, 前中 一介,“初期ひずみを持つMEMSダイアフラムにおける非線形周波数特性の簡易的予測”,電気学会論文誌E,Vol. 143, pp. 137-142 (2023) https://doi.org/10.1541/ieejsmas.142.56
  2. 2) 横田隆人,神田健介,藤田孝之,前中一介, "片持ちはり振動型エナジーハーベスタのための応力集中緩和構造", Vol. 143 in press (2023)
  3. 3) Takeshi Yoshimura, Taiki Haga, Norifumi Fujimura, Kensuke Kanda, and Isaku Kanno, "Piezoelectric MEMS-based physical reservoir computing system without time-delayed feedback," Jpn. J. Appl. Phys. in press (2023)

2022

  1. 1) 武田光平,七里愛,神田健介,藤田孝之,前中一介,“振動型MEMSエナジーハーベスタのための強磁性NdFeB・圧電PZT薄膜ヘテロ集積”,電気学会論文誌E,Vol. 142, pp. 56-62 (2022) https://doi.org/10.1541/ieejsmas.142.56
  2. 2) Kensuke Kanda, Takashi Aiba, Kazusuke Maenaka, "Piezoelectric MEMS Energy Harvester from Airflow at Low Flow Velocities", Vol. 34 pp. 1879-1888 (2022)https://doi.org/10.18494/SAM3867
  3. 3) Sengsavang Aphayvong, Shuichi Murakami, Kensuke Kanda, Norifumi Fujimura, and Takeshi Yoshimura, "Enhanced Performance on Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvester by Dynamic Magnifier under Impulsive Force," Appl. Phys. Lett. 121, 172902 (6 pages) (2022), https://doi.org/10.1063/5.0116838

2021

  1. 1)K. Kanda, T. Koyama, T. Yoshimura, S. Murakami, K. Maenaka, "Characteristics of Sputtered Lead Ziconate Titanate Thin Films with Different Layer Configurations and Large Thickness," IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Ctrl., Vol. 68 Issue 5, pp. 1988-1993 (2021).https://doi.org/10.1109/tuffc.2020.3039230
  2. 2) T. Fujita, K. Fujibe, K. Yamamoto, H. Uchida, A. Badel, F. Formosa, K. Kanda, K. Maenaka, "Variable Load Resistance by Using CdS Analog Linear Optical Coupler for Automated Measurement of Capacitive Energy Harvester," Sens. Actuators A, Vol. 321, 112399 (2021).https://doi.org/10.1016/j.sna.2020.112399
  3. 3) G. Jikyo, K. Onishi, T. Nishikado, I. Kanno, K. Kanda, "Piezoelectric unimorph microcantilevers for measuring direct and converse piezoelectric coefficients," J. Appl. Phys., Vol. 130, 074101 (2021) https://doi.org/10.1063/5.0056802
  4. 4) T. Migita, M. Kobune, K. Matsumoto, Y. Takeuchi,H. Fujisawa, K. Kanda, K. Maenaka, "Effects of Post-annealing Temperature and Micropillar Shape on Physical Properties of Micropillar-type Multiferroic Composite Thin Films," Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 60, SFFB06 (2021). https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac1125.

2020

  1. 1) S-H. Kweon, K. Tani, K. Kanda, S. Nahm, I. Kanno, "Piezoelectric PZT thin-film transformers with a ring?dot structure," Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 59, SPPD09 (2020).
  2. 2) S. Aphayvong, T. Yoshimura, S. Murakami, K. Kanda, N. Fujimura, “Investigation of Efficient Piezoelectric Energy Harvesting from Impulsive force,” Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 59, SPPD04 (2020).
  3. 3) M. Kobune, M. Yoshii, H. Takasaki, R. Ito, T. Migita, K. Kanda, K. Maenaka, Y. Hayashi, "Fabrication and physical properties of microrod-type multiferroic composite thin films by metal organic decomposition," Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 59, SPPB06 (2020).
  4. 4) T. Migita, M. Kobune, R. Ito, T. Obayashi, H. Takasaki, R. Ito, T. Kikuchi, H. Fujisawa, K. Kanda, K. Maenaka, Y. Hayashi, "Effects of substrate temperature on properties of microrod-type multiferroic composite thin films fabricated by metal organic chemical vapor deposition,” Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 59, SPPB08 (2020).
  5. 5) K. Yamamoto, T. Fujita, A. Badel, F. Formosa, K. Kanda, K. Maenaka, “Experimental evaluation of bipolar surface potential with corona charging for electret activation,” Sens. Materials, Vol. 32, pp. 2493-2501 (2020).
  6. 6) Y. Obayashi, M. Kobune, T. Matsunaga, R. Ito, T. Migita, T. Kikuchi, K. Kanda, and K. Maenaka, “Microfabrication and characterization of bismuth layer-structured ferroelectric thin films by reactive ion etching,” Trans. MRS-J, Vol. 45, Issue 2, pp. 31-34 (2020).

2019

  1. 1) T. Migita, M. Kobune, R. Ito, T. Obayashi, T. Kikuchi, H. Fujisawa, K. Kanda, K. Maenaka, H. Nishioka, N. Fukumuro, S. Yae, "Fabrication and characterization of micropillar-type multiferroic composite thin films by metal organic chemical vapor deposition using a ferroelectric microplate structure", Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 59, SCCB10 (2019).
  2. 2) R. Ito, M. Kobune, M. Yoshii, R. Ito, Y. Haruna, T. Obayashi, T. Migita, T. Kikuchi, K. Kanda, K. Maenaka, “Fabrication and Characterization of Micropillar-type Multiferroic Composite Thin Films by Non-aqueous Sol-gel Method Using Ferroelectric Pillars", Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 59, SCCB08 (2019).
  3. 3) K. Kanda, S. Toyama, K. Takahara, T. Fujita, K. Maenaka, "Tactile Device Based on Piezoelectric MEMS -2nd Report: Structural Improvements-", IEEJ Trans. SM. Vol.139, No.11 pp. 369-374 (2019).
  4. 4) S. Hiari, . Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, "Influence of Design Parameters on Performance of Piezoelectric MEMS Energy Harvesting," Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 58, SLLD07 (2019).
  5. 5) M. Aramaki, T. Yoshimura, S. Murakami, K. Kanda, and N. Fujimura, "Electromechanical Characteristics of Piezoelectric Vibration Energy Harvester with 2-Degree-of-Freedom System," Appl. Phys. Lett., Vol. 114, 133902 (2019).

2018

  1. 1) 藤田亮介,江籠徳行,神田健介,藤田孝之,前中一介,"柔軟センサによる脈波検出とその血圧推定への応用," 電気学会論文誌E,Vol. 138, No. 12, pp. 539-544 (2018).
  2. 2) K. Kanda, K. Takahara, S. Toyama, T. Fujita, K. Maenaka, "Piezoelectric MEMS with Tactile Stimulation and Displacement Sensing Functions," Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 57, 11UF14 (2018). https://doi.org/10.7567/JJAP.57.11UF14
  3. 3) K. Kanda, S. Hirai, T. Fujita, K. Maenaka, "Piezoelectric MEMS with Multilayered Pb(Zr,Ti)O3 Thin films for Energy Harvesting," Sensors and Actuators A-Phys. Vol. 281, pp. 229-235 (2018).
  4. 4) S. Murakami, T. Yoshimura, Y. Kanaoka, K. Tsuda, K. Satoh, K. Kanda, N. Fujimura, "Characterization of Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvesters Using Random Vibration," Jpn. J. Appl. Phys. vol. 57, 11UD10 (2018).
  5. 5) M. Aramaki, K. Izumi, T. Yoshimura, S. Murakami, K. Satoh, K. Kanda, N. Fujimura, "Investigation of the Effect of Nonlinearity on the Electromechanical Properties of Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvesters," Jpn. J. Appl. Phys. vol. 57, 11UD03 (2018).
  6. 6) S. Nakamoto, R. Sano, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, “Multilayer Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films for Ultrasonic Transducer”, Electronics and Communications in Japan, Vol. 101, No. 4, pp. 63-68 (2018)

2017

  1. 1) M. Kobune, T. Nishimine, T. Matsunaga, S. Fujita, T. Kikuchi, H. Fujisawa, M. Shimizu, K. Kanda, K. Maenaka, "Fabrication and leakage current and ferroelectric characteristics of multiferroic Fe3O4/(Bi3.25Nd0.65Eu0.10)Ti3O12 composite thin films with Fe3O4 magnetic electrodes micropatterned by reactive ion etching, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 56, 10PF02, (2017).
  2. 2) K. Kanda, S. Moriue, T. Fujita, K. Maenaka, "Three-dimensional piezoelectric MEMS actuator by using sputtering deposition of Pb(Zr,Ti)O3 on microstructure sidewalls", Smart Mat. Strct., Vol. 26, 045019 (2017)
  3. 3) 中本翔満,佐野良,神田健介,藤田孝之,前中 一介,"超音波トランスデューサを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層成膜",電気学会論文誌E,Vol.137, No. 10, pp. 336-340 (2017)
  4. 4) K. Kanda, T. Okubo, M. Shima, T. Fujita, K. Maenaka, "Tactile Device Based on Piezoelectric MEMS by Using a PZT/Polymer Laminated Structure", IEEJ Trans. SM. Vol. 137, No. 9, pp. 284-289 (2017)
  5. 5) 吉井真一,山口晃平,藤田孝之,神田健介,前中一介,"静電型エナジーハーベスタのためのNdFeB薄膜磁石を用いたギャップ制御機構",電気学会論文誌E,Vol. 137, No. 8, pp. 229-233 (2017)

2016

  1. 1) S. Toda, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, “Flexible and Stretchable Wiring by NdFeB Magnetic Powder,” Int. J. Innovative Comp. Info. Ctrl., Vol. 12, No. 4, pp. 1365-1373, (2016).
  2. 2) K. Yamaguchi, T. Fujita, K. Kanda, K. Maenaka, “Optimal Design of Electromagnetic Harvester with Sputtered Thin NdFeB/Ta Film with Considering Lorentz Force,” IEEJ Trans. SM. Vol. 136, No. 3 pp. 72-76 (2016).
  3. 3) 園田晃司,南啓大,三輪谷直輝,神田健介,藤田孝之,前中一介,“静電気力を考慮した静電型エナジーハーベスタのSPICE等価回路モデル”,電気学会論文誌E,Vol. 136, No. 8, pp. 323-329 (2016).

2015

  1. 1) 園田晃司,南啓大,三輪谷直輝,神田健介,藤田孝之,前中一介,"静電型エナジーハーベスタのためのバイポーラ荷電手法を用いた低加速度域の発電力向上",電気学会論文誌E,Vol. 135, No. 9, pp. 372-373 (2015)
  2. 2) K. Sonoda, T. Onishi, K. Minami, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, “Electrostatic Energy Harvester Utilizing Bipolar Charging for Higher Output Power”, IEEJ Trans. SM. Vol. 135, No. 3, pp. 91-97 (2015)
  3. 3) K. Minami, T. Fujita, K. Sonoda, T. Onishi, N. Miwatani, K. Kanda, K. Maenaka, “SPICE Modeling of Electrostatic Energy Harvester for Optimal Load Resistance Analysis”, IEEJ Trans. SM. Vol. 135, No. 3, pp. 116-117 (2015)
  4. 4) 鷲野史拓,松本裕貴,園田晃司,神田健介,藤田孝之,前中一介,“生体運動把握のための低消費電力ASIC”,電気学会論文誌E,Vol. 135,No. 5,pp. 178-183 (2015)
  5. 5) J-I. Inoue, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, "Thin-film piezoelectric bimorph actuators with increased thickness using double Pb[Zr,Ti]O3 layers," Journal of Micromechanics and Microengineering,Vol. 25, 055001 (2015)
  6. 6) R. Sano, J-I. Inoue, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, "Fabrication of Multilayer Pb(Zr,Ti)O3 Thin Film Structure Using Sputtering Deposition for MEMS Actuator Applications, Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 54, 10ND03 (2015)

2014

  1. 1) 池田玲,園田晃司,田中智也,神田健介,藤田孝之,前中一介,“PSoCを用いた汎用生体モニタリングシステムの開発”,電気学会論文誌E,Vol. 134,No. 10,pp. 326-332 (2014)
  2. 2) 松本裕貴,田中智也,園田晃司,神田健介,藤田孝之,前中一介,“低消費電力心拍抽出ディジタルASIC”,電気学会論文誌E,Vol. 134,No. 5,pp.108-113 (2014)
  3. 3) K. Kanda, S. Kajimura, J. Inoue, T. Fujita, K. Maenaka, “Sputter Deposition of Pb[Zr,Ti]O3 Thin Film onto Pre-Etched Substrate,” IEEJ Trans. SM, Vol. 134, pp. 18-19, (2014)

2013

  1. 1) K. Sonoda, Y. Kishida, T. Tanaka, K. Kanda, T. Fujita, K. Higuchi, K. Maenaka, “Wearable Photoplethysmographic Sensor System with PSoC Microcontroller,” International Journal of Intelligent Computing in Medical Sciences & Image Processing, Vol. 5, Issue 1, pp. 45-55 (2013)
  2. 2) T. Fujita, T. Tanaka, K. Sonoda, M. Nii, K. Kanda, K. Higuchi, K. Maenaka, “Daisy-chain Shape Wearable Health Monitoring System by Using Fuzzy Logic Heart-Rate Extraction,” International Journal of Intelligent Computing in Medical Sciences & Image Processing, Vol. 5, Issue 2, pp. 125- 133 (2013)

2012

  1. 1) K. Kanda, T. Saito, Y. Iga, K. Higuchi, K. Maenaka, “Design and Characterization of Series-Connected Thin-Film Piezoelectric Elements,” Sensors, Vol. 12, pp. 16673-16684, (2012).
  2. 2) K. Kanda, J. Inoue, T. Saito, T. Fujita, K. Higuchi, K. Maenaka, “Fabrication and Characterization of Double-Layer Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films for Micro-Electromechaical Systems,” Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 51, 09LD12 (2012).
  3. 3) Y. Jiang, K. Kanda, Y. Iga, T. Fujita, K. Higuchi, K. Maenaka, “Monolithic integration of Pb(Zr,Ti)O3 thin film based resonators using a complete dry microfabrication process,” Microsystem Technologies, vol. 19, pp. 137-142 (2012).
  4. 4) 濱田浩幸,神田健介,高尾英邦,藤田孝之,樋口行平,前中一介,”生体適合性を有するフレキシブルひずみセンサの開発”,電気学会論文誌E,Vol. 132,pp. 218-319 (2012)

2011

  1. 1) T. Hashimoto, K. Makimura, A. Miyamoto, K. Kanda, T. Fujita and K. Maenaka, “Ring Laser Oscillation using Silicon (111) Mirrors Fabricated by MEMS Technology,” IEICE Electronics Express,pp. 2068-2072 (2011)
  2. 2) T. Hashimoto, K. Makimura, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, “Angular Velocity Sensor Using Winking Phenomenon in Solid-State Ring Resonator”, Sensors and Materials, Vol. 23, No. 7, pp. 449-463 (2011)
  3. 3) T. Hashimoto, K. Makimura, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, “Observation of Winking Phenomenon in Ping Laser Gyroscope with a Semiconductor Optical Amplifier,” IEEJ Trans. SM Vol. 131 (2011) p. 154

2010

  1. 1) 濱田浩幸,蒋永剛, 伊賀友樹, 大河内沙也香, 神田健介, 藤田孝之, 樋口行平, 前中一介:“人の安全・健康を守る貼付け型心電モニタリングシステムの開発,” 電気学会論文誌E,Vol. 130, No. 12, pp. 580-583 (2010).
  2. 2) 神田健介, 伊賀友樹, 松岡潤弥, 藤田孝之, 樋口行平, 前中一介:“圧電薄膜要素の多段直列接続によるセンサ出力電圧の増倍,”電気学会論文誌E,Vol. 130, No. 4, pp. 124-129,(2010)

2009

  1. 1) K. Kanda, I, Kanno, H. Kotera, and K. Wasa, “Simple Fabrication of Metal-Based Piezoelectric MEMS by Direct Deposition of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films on Titanium Substrates,” IEEE/ASME J. MEMS, Vol. 18, pp. 610-615 (2009).

2008

  1. 1)小方聡,神田健介,小野塚拓也,楊明:エバネッセント光による壁面極近傍の流動測定に関する研究,日本機械学会論文集B編,Vol. 74, pp. 2452-2458 (2008).
  2. 2) K. Kanda, S. Ishikawa, J. Ogawa, T. Suzuki, I. Kanno, H. Kotera, Modal Analysis for Externally Driven Micropump and Additional Mass Effect of Water, Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 47, pp. 5226-5230 (2008).

2007

  1. 1) K. Kanda, S. Ogata, K. Yagi, M. Yang, "Measurement of Particle Distribution in Microchannel Flow Using a 3D-TIRFM Technique," J. Visualization,10, 207-210(2007)

2006

  1. 1) K. Kanda and M. Yang, "Drag Reduction Effect of BSA Monodisperesed Solution in Microchannel," JSME Int. J. Series B, 49, 1190-1196(2006) (再録)
  2. 2) 神田健介,楊 明:マイクロチューブ内におけるBSA単分散溶液流れの抵抗低減効果,日本機械学会論文集B編72巻69-74頁

2005

  1. 1) 神田健介,田内久真,楊 明: エバネッセント光を用いた壁面近傍の溶液中高分子の可視化,可視化情報学会論文集25巻11号78-83頁(2005)

書籍

  1. 1) 神田健介,"PZT薄膜/樹脂積層構造による圧電MEMS触覚デバイスの開発",「VR/AR」,技術情報協会,pp.98-106,(2018年2月28日発刊)
  2. 2) Kensuke Kanda, “8.4 Microelectromechanical systems,” NANOMAGNETIC MATERIALS Fabrication, Characterization and Application, Ed. A. Yamaguchi, A. Hirohata, and B. Stadler, (in Chapter 8 Sensor and system), ELSEVIER, pp. 614-622, (July 1st, 2021)
  3. 3) 神田健介,”圧電薄膜MEMS触覚デバイスの開発と応用に向けた研究動向,” 「VR/AR/MR技術の最新動向と応用事例」第4章第2節,技術情報協会,(2021年6月30日発刊).
  4. 4) バイオ計測のための材料と微細加工編集委員会編,“バイオ計測のための材料と微細加工," コロナ社,2.1.2, 2.2.2, 2.3.2節(2022年10月13日発刊)

受賞

  1. 1) IEICE Electronics Express (ELEX) 2011 Best Paper Award 「Ring Laser Oscillation Using Silicon (111) Mirrors Fabricated by MEMS Technology」T. Hashimoto, K. Makimura, A. Miyamoto, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
  2. 2) 平成24年度電気学会交通電気鉄道技術委員会平成24年度優秀論文発表賞受賞 宮川宜和
  3. 3) K. Sonoda, IEEE ICETET12 Best Student Paper Award受賞
  4. 4) 平成25年度電気学会E部門総合研究会優秀論文発表賞受賞 狩野公秀
  5. 5) 第60回応用物理学会春季学術講演会講演奨励賞受賞 (29p-PA4-2 MEMSデバイス向け厚膜PZT/PZTバイモルフ構造:井上純一,共著:神田健介,斎藤誉司,藤田孝之,前中一介)
  6. 6) 平成26年度電気学会E部門総合研究会優秀論文発表賞受賞 鷲野史拓.
  7. 7) 第62回応用物理学会春季学術講演会講演奨励賞受賞 (13a-P14-12 Pb(Zr,Ti)O3薄膜と感光性樹脂の積層構造体作製とその評価:大久保昂,共著:神田健介,藤田孝之,前中一介)
  8. 8) 園田晃司,大西斗志一,南啓大,神田健介,藤田孝之,前中一介,平成26年度電気学会論文誌E「センサ・マイクロマシン英文特集号」優秀論文賞受賞(2015)
  9. 9) 佐野良,第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム奨励賞
  10. 10) IEEE ICIEV 2015 Grad Consortium Interactive Poster Presentation Prize, S. Toda, T. Fujita, K. Kanda, K. Maenaka, "Stretchable Wiring for Human Monitoring Device on Transportation Systems"
  11. 11) 陳健,2015年電気学会E部門総合研究会論文発表賞(Silicon On Nothing の形成とその圧力センサへの応用, PHS-15-034)(共著)
  12. 12) 前中一介,藤田孝之,神田健介,横松得滋,半径1μmで曲げちゃいました。,平成29年度電気学会E部門総合研究会フォトコンテスト優秀賞受賞(2017,6,30,イーグレ姫路)
  13. 13) 大林泰貴,(共著:小舟正文,松永拓也,伊藤稜,右田翼,菊池丈幸,神田健介,前中一介)第29回日本MRS年次大会奨励賞(2019)
  14. 14) 令和4年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会優秀論文発表賞受賞 (風から発電する圧電MEMS振動発電素子:神田健介,共著:饗庭岳,前中一介)
  15. 15) 横田隆人,神田健介,藤田孝之,前中一介,"Si片持ちはり破壊の瞬間"第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムフォトコンテストCG・動画部門 最優秀賞受賞

招待講演・依頼講演等

2023

  1. 1)神田健介, "圧電薄膜の微細加工によるインピーダンス変換とMEMS応用," 第160回フロンティア材料研究所学術講演会/第27回未来産業技術研究所生体医歯工公開セミナー,(2023.7.20 東京工業大学すずかけ台キャンパス)
  2. 2)神田健介,“共振振動による圧電MEMS触覚デバイス”,令和5年度電気学会A部門大会,7-C-p1-7(2023.9.7 愛知工業大学自由ヶ丘キャンパス)
  3. 3)神田健介,“PZT薄膜の厚膜化によるエナジーハーベスタ”,電子セラミック・プロセス研究会第199研究会,(2024.3.2 Panasonic EX LAB)

2022

  1. 1)Kensuke Kanda and Kazusuke Maenaka, "Mechanical and Process Design for Piezoelectric MEMS Energy Harvesters," IWPMA 2022 (2022.10.24-26 Online)
  2. 2)神田健介,“自律センサのためのMEMSエナジーハーベスティング”,令和4年度電気関係学会関西連合大会G6-5(2022.11.26 オンライン)

2021

  1. 1)神田健介,“IoT社会のキーテクノロジー:MEMS”,応用物理学会関西支部リフレッシュ理科教室(2021年11月6日,島津製作所基盤技術研究所)

2020

  1. 1)神田健介,"多層PZT薄膜とその応用",第11回集積化MEMSワークショップ(2021.1.28 Online)

2019

  1. 1)神田健介,"PowerMEMS報告",第18回圧電MEMS研究会(2019.2.7 産業技術総合研究所臨海副都心センター)

2018

  1. 1) 神田健介,"PZT-MEMSおよびMultilayer PZT薄膜形成技術"第16回圧電MEMS研究会(2018.8.1 神戸大学瀧川記念会館)
  2. 2) 神田健介,"圧電MEMSデバイス調査専門委員会MPW"平成30年度電気学会全国大会S24-5 (2018.3.16 九州大学伊都キャンパス)
  3. 3) 神田健介,"企画の狙い"平成30年度電気学会全国大会S24-0 (2018.3.16 九州大学伊都キャンパス)

2017

  1. 1) 神田健介,圧電MEMSのDRIEによるデバイス構造作製と3次元化への試み,JKA人材育成等補助事業技術セミナー(2017,7,31)
  2. 2) 神田健介,MEMSセンサのためのPZT微細加工とその周辺技術,信学技報FIIS17, No. 457 (FIIS-17-457), (2017, 6, 16 姫路ターミナルスクエア)

2016

  1. 1) 神田健介,スタンダードPZT-MEMSプロセスとその拡張@兵庫県大,H28年度第1回圧電MEMSデバイス調査専門委員会(2016.5.31)

2014

  1. 1) 神田健介,圧電PZT薄膜の微細加工,電気学会2014年度第二回調査専門委員会(人センシング及び生体情報に関する調査専門委員会)(講演および見学,2014年9月25日)

2013

  1. 1) 神田健介,第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム参加報告、第10回有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム、2013年12月20日、メルパルク京都6階会議室,依頼講演
  2. 2) 神田健介,PZTの微細加工とセンサへの応用,次世代センサ協議会 第67回研究会 2013年3月8日 兵庫県立大学書写キャンパス書写紀念会館
  3. 3) 神田健介,PZTの微細加工とセンサへの応用,第9回マイクロシステム融合研究会 2013年1月10日 東北大学

2012

  1. 1) 神田健介,PZT薄膜の微細加工とMEMSへの応用,神田健介,H25年度第1回日本塑性加工学会ナノマイクロ加工分科会セミナー・見学会,2013年7月19日,兵庫県立大学書写キャンパス

2010

  1. 1) 神田健介,PZT薄膜要素の直列接続とその応用,神田健介,IntelliSense Conference,2010年11月17日,トスラブ市ヶ谷

2009

  1. 1) 神田健介,神田健介,EurosensorsXXIII参加報告会「?TAS・化学センサ」,第12回MEMS技術分科会,2009年11月17日,キャンパスプラザ京都

2008

  1. 1) 神田健介,血漿分離デバイス,第21回KYO-NANO会「ナノデバイスによる医療用検査システムデバイスの開発について」平成18年11月24日,京都高度技術研究所

国際会議発表

2023

  1. 1) Takeshi Yoshimura, Taiki Haga, Norifumi Fujimura, Kensuke Kanda, Isaku Kanno, "Physical implementation of machine learning by piezoelectric MEMS resonators," IWPMA2023, (2023.10.31-11.3,RAMADA PLAZA HOTEL JEJU, Korea).
  2. 2) Tianyu Sheng, Yonggang Jiang, Qipei He, Wenqiang Zhang, Kensuke Kanda, "A FLEXIBLE PIEZOELECTRIC ENERGY HARVESTER SIMULTANEOUSLY SCAVENGING MECHANIAL ENERGY OF FISH MOVEMENT AND IMPACT ENERGY OF WATER FLOW," The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2023), M4P.039 (2023.6.26-29, Kyoto International Conference Center).
  3. 3) Takeshi Yoshimura, Taiki Haga, Norifumi Fujimura, Kensuke Kanda, Isaku Kanno, "EFFICIENT RESERVOIR COMPUTING BY NONLINEARLY COUPLED PIEZOELECTRIC MEMS RESONATORS," The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2023), W2D.02 (2023.6.26-29, Kyoto International Conference Center).

2022

  1. 1) K. Kanda and K. Maenaka "Mechanical and Process Design for Piezoelectric MEMS Energy Harvesters," IWPMA 2022 (2022.10.24-26 Online) INVITED.
  2. 2) M. Kobayashi, K. Sato, H. Miyake, Y. Tanaka, and K. Kanda "Development of the space charge measurement system for high temperature using MEMS-PZT", IEEE Conf. Electrical Insulation and Dielectric Phenomena (CEIDP) 2022, B2 (2022.10.31, Denver, USA).
  3. 3) T. Yokota, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka "THICKNESS CONTROL OF CANTILEVER BEAM FOR ROBUST AND HIGH-POWER MEMS ENERGY HARVESTER," PowerMEMS 2022, (2022.12.12-15, Saltlake City, USA).
  4. 4) T. Yokota, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka "MEMS CANTILEVERED ENERGY HARVESTER WITH TAPERED THICKNESS FOR STRESS CONTROL", IEEE MEMS 2023 (2023.1.16-19, Munich, Germany).

2021

  1. 1) Y. Kajiyama, Y. Hirata, Y. Shimakura, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, "Resonant Drive of All-around Scanning MEMS Mirror with Piezoelectric Actuators," 8th Int. Workshop PiezoMEMS 2A05 (Nara, June 7-9, 2021).
  2. 2) S. Aphayvong, T. Yoshimura, K. Kanda, S. Murakami, N. Fujimura, "Investigation of Electromechanical Characteristics of 2-degree-of-freedom MEMS Piezoelectric Vibration Energy Harvester under Impulsive Force," 8th Int. Workshop PiezoMEMS 2A07 (Nara, June 7-9, 2021).
  3. 3) T. Yokota, K. Maenaka, K. Kanda, T. Fujita, "Piezoelectric MEMS Energy Harvesting from Tire Tread Acceleration," 8th Int. Workshop PiezoMEMS 3A05 (Nara, June 7-9, 2021)
  4. 4) R. Shimada, Y. Kitada, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, "Piezoelectric MEMS Mirror for Endoscope and Its Driving Integrated Circuit," 8th Int. Workshop PiezoMEMS 3A06 (Nara, June 7-9, 2021)
  5. 5) S. Aphayvong, T. Yoshimura, S. Murakami, K. Kanda, and N. Fujimura,"Electromechanical Properties of 2-Degree-of-Freedom MEMS Piezoelectric Vibration Energy Harvester Under Impulsive Force," IEEE IFCS-ISAF 2021, (Online, May 16-21, 2021).

2020

  1. 1) S. Aphayvong, T. Yoshimura, S. Murakami, K. Kanda, and N. Fujimura, "Electromechanical Properties of MEMS Piezoelectric Vibration Energy Harvester for Impulse Vibration," IEEE IFCS-ISAF 2020, 4266 (Online, July 19-23, 2020).

2019

  1. 1) T. Aiba, S. Hirai, K. Kanda, T. Fujita, and K. Maenaka, “Series-connected piezoelectric MEMS Energy harvester for voltage multiplication,” The 19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2019), (2019) accepted.
  2. 2) H. Uchida, K. Yamamoto, T. Fujita, A. Badel, F. Formosa, K. Kanda, and K. Maenaka, “Start-up Acceleration Reduction of Electrostatic Vibration Energy Harvester with Narrow Air-gap Structure,” The 19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2019), (2019), accepted.
  3. 3) K. Fujibe, T. Fujita, H. Uchida, K. Yamamoto, A. Badel, F. Formosa, K. Kanda, and K. Maenaka, “Variable Load Resistance by Using CdS Analog Linear Optical Coupler for Automated Measurement of Capacitive Energy Harvester,” The 19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2019), (2019), accepted.
  4. 4) Y. Kajiyama, Y. Hirata, S. Kobayashi, K. Ishida, T. Satake, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, "All around scanning MEMS mirror driven by piezoelectric actuators", The 10th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS2019, (Asahikawa, July 16-18, 2019)
  5. 5) R. Ito, M. Kobune, M. Yoshii, Y. Haruna, T. Migita, T. Obayashi, T. Kikuchi, K. Kanda, K. Maenaka, "Fabrication and Characterization of Micropillar-Type Multiferroic Composite Thin Films Produced by Non-aqueous Sol-gel Method Using a Ferroelectric Microrod Structure", EM-NANO 2019, P3-6 (Nagano, June 22, 2019)
  6. 6) T. Migita, M. Kobune, R. Ito, T. Obayashi, T. Kikuchi, H. Fujisawa, K. Kanda, K. Maenaka, "Fabrication and Characterization of Micropillar-Type Multiferroic Composite Thin Films Produced by Metal Organic Chemical Vapor Deposition Using a Ferroelectric Microplate Structure", EM-NANO 2019, P3-7 (Nagano, June 22, 2019)
  7. 7) M. Kondo, T. Fujita, K. Kanda, K. Maenaka, "Nanocarbon Electrode for Wearable Device with Flexible Materials", International Conference on Machine Learning and Cybanetics, 6049 (Kobe, July 7-10, 2019).

2018

  1. 1) S. Murakami, T. Yoshimura, M. Aramaki, Y. Kanaoka, K. Tsuda, K. Satoh, K. Kanda, and N. Fujimura, “OUTPUT POWER OF PIEZOELECTRIC MEMS VIBRATION ENERGY HARVESTERS UNDER RANDOM OSCILLATION,” The 18th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2018), PW-34h (Daytona Beach, USA, December 4-7, 2018).
  2. 2) S. Hirai, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, “ MEMS ENERGY HARVESTING BASED ON UNIFORM-STRESS CANTILEVER WITH MULTILAYER PZT THIN FILMS,” The 18th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2018), PW-33h (Daytona Beach, USA, December 4-7, 2018).
  3. 3) Y. Kitada, J. Fujiwara, N. Hattori, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, “Integration of MPU and ASICs for Low-Power Human Monitoring System,” Proc. 2018 IEEE International Conference on Systems, Man, and Cybernetics, pp. 1301-1304 (Miyazaki, Japan, October 7-10, 2018).
  4. 4) S. Toyama, K. Kanda, K. Takahara, T. Fujita, K. Maenaka, "MEMS Tactile Device by Using Multilayerd Piezoelectric Thin Film," International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA 2018), Book of Abstract, p. 78 (Kobe, Japan, September 11-14, 2018)
  5. 5) T. Fujita, R. Fujita, N. Ego, K. Kanda, K. Maenaka, "Wearable Blood Pressure Estimation by Using Multi Sensors," International Symposium on Medical and Health Technology 2018 (ISMHT2018), (Kaohsiung, Taiwan, September 1-4, 2018)
  6. 6) H. Uchida, T. Fujita, K. Kanda,K. Maenaka "Electrostatic Energy Harvester with Double Sided Electrodes for Force Reduction," Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2018), (Hong Kong, June, 24-27, 2018)
  7. 7) H. Hongoh, M. Tsukiyama, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, "Design of the Lorentz Force Based Resonant Magnetic Sensor for SiGe MEMS on CMOS Process," Proc. IEEE Joint 7th Int. Conf. Infomatics, ELectronics & Vision (ICIEV) and 2nd Int. Conf. Imaging, Vision & Pattern Recognition (icIVPR), pp. 168-173 (Kitakyusyu, Japan, June 25-28, 2018)
  8. 8) K. Takahara, S. Toyama, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, "MEMS Tactile Device Based on Polymer/Thin-Film PZT Structure -Sensor and Actuator Integration-," Abstract book in 2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference, 28am-F2, (Hiroshima, Japan, May 27-June 1, 2018)
  9. 9) S. Murakami, T. Yoshimura, Y. Kanaoka, K. Tsuda, K. Satoh, K. Kanda, N. Fujimura, "Characterization of Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvesters Using Random Vibration," 31pm-C3, Abstract book in 2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference, 28am-F2, (Hiroshima, Japan, May 27-June 1, 2018)

2017

  1. 1) K Kanda, T. Ushita, T. Fujita, K. Maenaka, “Validation of Output Voltage Multiplication by Using Series-Connected Piezoelectric Elements for Physical Sensors,” Tech. Dig. IEEE Microelectromech. Syst. pp. 1032-1035 (Belfast, Jan. 21-25 2018)
  2. 2) R. Nakanishi, K. Kanda, T. Fujita, I. Kanno, and K. Maenaka, “Multilayer Piezoelectric MEMS Energy Harvester Based on Longitudinal Effect,” Proc. PowerMEMS 2017, W3A.2 pp. 67-70 (Kanazawa, Japan, Nov. 14-17, 2017)
  3. 3) K. Yamamoto, A. Badel, F. Formosa, L. Charleux, T. Fujita, K. Kanda, and K. Maenaka, “Non-Linear Vibration Electret-Harvester with Optimized Curved Beam for Low-Frequency Operation,” Proc. PowerMEMS 2017, PW. 61 pp. 525-528 (Kanazawa, Japan, Nov. 14-17, 2017)
  4. 4) J. Fujiwara, N. Hattori, K. Kanda, T. Fujita, and K. Maenaka, “Design and Integration of MPU for Human Monitoring System,” Proc. IEEE International Conference on Systems, Man, and Cybernetics (SMC), pp. 3058-3061 (Banff Center, Banff, Canada, Oct. 5-8, 2017)
  5. 5) K. Yamamoto, T. Fujita, A. Badel, F. Formosa, K. Kanda and K. Maenaka, “Energy Estimation for Electret Harvester with Nonlinear Spring,” Proceedings (Eurosensors 2017, Paris, France), Vol. 1, Issue 4, 585-589 (2017.9.3-6) doi: 10.3390/proceedings1040585

2016

  1. 1) N. Miwatani, T. Fujita, Y. Kitagawa, K. Kanda, and K. Maenaka, “Design improvement for preventing discharge during fabrication of electrostatic energy harvester,” J. Phys.: Conf. Ser. (PowerMEMS2016, Paris, France, 2016), Vol. 773, 012117 (2016.12.6-9).
  2. 2) S. Yoshii, K. Yamaguchi, T. Fujita, K. Kanda, and K. Maenaka, “Collision-free structure using thin-film magnet for electrostatic energy harvester,” J. Phys.: Conf. Ser. (PowerMEMS2016, Paris, France, 2016), Vol. 773, 012013 (2016.12.6-9).
  3. 3) T. Okubo, K. Kanda, M. Shima, T. Fujita, K. Maenaka, Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films Integrated with Epoxy Polymer: Applications to Low Energy Haptics Device, IEEE ISAF 2016, (Darmstadt, Germany, August 21-25, 2016))
  4. 4) S. Yoshii, K. Yamaguchi, T. Fujita, K. Kanda, K. Maenaka, Pull-in Prevention Method Using NdFeB Thin-Film Magnet for Electrostatic Energy Harvester, Tech. Dig. APCOT2016, (Kanazawa, Japan, June 27-29, 2016) pp. 225-226.
  5. 5) N. Miwatani, K. Minami, T. Fujita, K. Kanda, and K. Maenaka, Electrostatic Energy Harvester Using Bipolar Charged Electret and Double Density Counter Electrodes, Tech. Dig. APCOT2016, (Kanazawa, Japan, June 27-29, 2016) pp. 219-220.
  6. 6) K. Yamamoto, T. Fujita, K. Kanda, K. Maenaka, Evaluation of Bi-stable Vibration Energy Harvester Structure by Using Parallel Curved Beams with Gravitational Acceleration, Tech. Dig. APCOT2016, (Kanazawa, Japan, June 27-29, 2016), PHS-16-22,CHS-16-5,MSS-16-5,BMS-16-22.
  7. 7) S. Toda, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, “Self-healing stretchable wiring using conductive magnetic powder” Proc. Int. Conf. Electronics Packaging, (Sapporo, Japan April 19-22 2016) pp. 329-332
  8. 8) K. Kanda, T. Fujita, M. Yoshimoto, K. Maenaka, “Omnidirectional Acceleration Sensor for Trigger of Human Monitoring System,” Proc. IEEE NEMS 2016, B3P-B-52(#1168), (2016. 4) in Matsushima Japan.
  9. 9) R. Sano, K. Kanda, J.I. Inoue, T. Fujita, and K. Maenaka, “Sputtering Deposition of Multi-Layer Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films for Low Voltage Actuators,” Tech. Dig. IEEE MEMS 2016 (Shanghai, China, 2016) pp. 1173-1176.

2015

  1. 1) K. Minami, T. Fujita, N. Miwatani, K. Sonoda, K. Kanda, and K. Maenaka, “Electrostatic Energy Harvester Utilizing High Density of Electrode for Higher Output Power,” J. Phys.: Conf. Ser. (PowerMEMS2015, Boston, USA, 2015), Vol. 660, 012107.
  2. 2) K. Yamaguchi, T. Fujita, K. Kanda, and K. Maenaka, “MEMS NARROW GAP ELECTROMAGNETIC HARVESTER WITH MITIGATION OF CURVATURE DISTORTION,” J. Phys.: Conf. Ser. (PowerMEMS2015, Boston, USA, 2015), Vol. 660, 012116.
  3. 3) K. Yamamoto, T. Fujita, K. Kanda, A. Badel, F. Formasa, and K. Maenaka, “VIBRATION ENERGY HARVESTER WITH BI-STABLE CURVED BEAM SPRING OFFSET BY GRAVITATIONAL ACCELERATION,” J. Phys.: Conf. Ser. (PowerMEMS2015, Boston, USA, 2015), Vol. 660, 012127.
  4. 4) Jun Fujiwara, Takafumi Matsuda, Yuki Matsumoto, Kensuke Kanda, Takayuki Fujita, Kazusuke Maenaka, Design of Low Power ASIC and Front-end Circuit for Human Monitoring System, CYB-C09, IEEE SMC2015 (2015.10.15) in HongKong.
  5. 5) K. Yamamoto, T. Fujita, A. Badel, K. Kanda, K. Maenaka, Design and Fabrication of Parallel Curved Spring for Nonlinear Energy Harvester, Procedia Engineering (Eurosensors2015), Vol. 120, pp. 651-654.
  6. 6) S. Toda, T. Fujita, K. Kanda, K. Maenaka, "Stretchable Wiring for Human Monitoring Device on Transportation Systems", IEEE ICIEV, Paper number 184 (2015.6) in Kitakyusyu, Japan.
  7. 7) T. Okubo, R. Sano, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, “Integration of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films with Photo-Sensitive Polymer”, Proc. IEEE Int. Symp. Appl. Ferroelectr. 2015, pp.178-181, (2015.5) in Singapore, Singapore. .

2014

  1. 1) K. Sonoda, K. Minami, N. Miwatani, T. Fujita, K. Kanda, K. Maenaka, “Evaluation of Electrostatic Force on Bipolar Charged Electret”, PowerMEMS 2014 TP.14, (2014.11) in Awaji-Island, Japan.
  2. 2) K. Minami, T. Fujita, K. Sonoda, N. Miwatani, K. Kanda, K. Maenaka, “An Equivalent Circuit Model for Electrostatic Energy Harvester for Energy Harvesting System”, PowerMEMS 2014 WP.23, (2014.11) in Awaji-Island, Japan.
  3. 3) K. Yamaguchi, T. Fujita, Y. Tanaka, N. Takehira, K. Sonoda, K. Kanda, K. Maenaka, “MEMS Batch Fabrication of the Bipolar Micro Magnet Array for Electromagnetic Vibration Harvester”, PowerMEMS 2014 WP.16, (2014.11) in Awaji-Island, Japan.
  4. 4) K. Yamamoto, T. Fujita, K. Kanda, S. Nakamoto, K. Maenaka, A. Badel, F. Formosa, “A Design of Mechanical Frequency Converter Linear and Non-linear Spring Combination for Energy Harvesting”, PowerMEMS 2014 W4M.4, (2014.11) in Awaji-Island, Japan.
  5. 5) Kohei Yamaguchi, Yuji Tanaka, Takayuki Fujita, Noritaka Takehira, Koji Sonoda, Kensuke Kanda, Kazusuke Maenaka, “Optimization and Experiment of Electromagnetic Energy Harvester by Using NdFeB Sputtered on High-aspect-ratio Corrugated Si”, PowerMEMS 2014 W3M.3, (2014.11) in Awaji-Island, Japan.
  6. 6) K. Kanda, J. Inoue, T. Fujita, K. Maenaka, "Estimation of d31 Constant for Microfabricated and Free Standing Thin-Film Bimorph Structure of Pb[Zr,Ti]O3", PiezoMEMS2014, (2014.10) in Kobe, Japan.
  7. 7) K. Maenaka and K. Kanda, “Fusion of PZT Thin Film in MEMS Technology”, The 10th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics, I-01, (2014.8) in Hiroshima, Japan..

2013

  1. 1) Y. Tanaka, T. Fujita, T. Kotoge, K. Yamaguhci, K. Sonoda, K. Kanda, K. Maenaka, “Electromagnetic Energy Harvester by Using NdFeB Sputtered on High Aspect Ratio Si Structure”, J. Phys. Conf. Series 476 (PowerMEMS2013), 012095 (2013.12) in London, UK.
  2. 2) K. Sonoda, T. Onishi, K. Minami, T. Fujita, K. Kanda, K. Maenaka, “Low Electrostatic Dumping Force Energy Harvester Using Bipolar Charged Electret”, J. Phys. Conf. Series 476 (PowerMEMS2013), 012077 (2013.12) in London, UK.
  3. 3) T. Fujita, T. Tanaka, K. Sonoda, K. Kanda, K. Maenaka, Ultra Low Power ASIC for R-R Interval Extraction on Wearable Health Monitoring System, Proc. Int. Conf. IEEE Systems, Man, and Cybanetics (SMC 2013), pp. 3780-3783, (2013.10) in Manchester, UK.
  4. 4) M. Kano, Y. Sato, K. Kasai, K. Higuchi, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, Fabrication of Reflectance Pulse Oximeter with Ring-Shaped Photodiode, Proc. Int. Conf. IEEE Systems, Man, and Cybanetics (SMC 2013), pp. 3771-3774, (2013.10) in Manchester, UK.
  5. 5) Y. Tanaka, T. Fujtia, T. Kotoge, K. Yamaguchi, K. Sonoda, K. Kanda, K. Maenaka, Design Optimization of Electromagnetic MEMS Energy Hargester with Serpentine Coil, Proc. 2nd Int. Workshop on Energy and Wireless Sensors (e-WiSe), pp. 1656-1658 (2013. 8) in Beijing, China
  6. 6) K. Sonoda, T. Fujita, K. Kanda, K. Maenaka, H. Katsumura, M. Tamura, H. Kagata, SPICE Modeling of Piezoelectric Energy Harvesting Device Utilizing Stress Influence, Proc. 2nd Int. Workshop on Energy and Wireless Sensors (e-WiSe), pp. 1662-1664 (2013. 8) in Beijing, China
  7. 7) J. Inoue, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, Fabrication of Bimorph with Double Pb[Zr,Ti]O3 Thick Films, Proc. Int. Sympo. Application of Ferroelectr., pp. 257-260 (2013. 7) in Prague, Czech Republic.

2012

  1. 1) T. Fujita, T. Onishi, K. Fujii, K. Sonoda, H. Katsuma, K. Kanda, K. Higuchi*, K. Maenaka, BIPOLAR ELECTRET CHARGING METHOD FOR ENERGY HARVESTER, Tech. Dig. PowerMEMS2012, pp. 432-436. (2012. 12) in Atlanta, USA.
  2. 2) K. Kanda, Y. Akashi, T. Saito, T. Fujita, K. Higuchi, and K. Maenaka, Fabrication and Characterization of Lateral-Directional Actuator Using Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films, 2012 Fifth International Conference on Emerging Trends in Engineering and Technology pp.124-127. (2012. 11) in Himeji.
  3. 3) T. Fujita, S. Shiono, K. Kanda, H. Hamada, K. Higuchi, K. Maenaka, Flexible Sensor for Human Monitoring System by Using P(VDF/TrFE) Thin Film, 2012 Fifth International Conference on Emerging Trends in Engineering and Technology pp.75-79. (2012. 11) in Himeji.
  4. 4) K. Sonoda, Y. Kishida, T. Tanaka, K. Kanda, T. Fujita, K. Higuchi, K. Maenaka, Wearable Photoplethysmographic Sensor System with PSoC Microcontroller, 2012 Fifth International Conference on Emerging Trends in Engineering and Technology pp.61-65. (2012. 11) in Himeji.
  5. 5) T. Yokomatsu, H. Takeuchi, Y. Miyagawa, K. Kanda, T. Fujita, K. Higuchi, K. Maenaka, Novel Honeycomb SOI Structure with Low Parasitic Capacitance for Human-Sensing Accelerometer, 2012 Fifth International Conference on Emerging Trends in Engineering and Technology pp. 70-74. (2012. 11) in Himeji.
  6. 6) A. Miyamoto, T. Hashimoto, K. Makimura, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, Wafer level packaging for MEMS Geiger counter, 2012 Fifth International Conference on Emerging Trends in Engineering and Technology pp. 66-69 (2012. 11) in Himeji.
  7. 7) K. Fujii, T. Onishi, K. Sonoda, T. Fujita, K. Kanda, K. Higuchi, K. Maenaka, Development of Electret Energy Harvester with Micro Spacer, 2012 Fifth International Conference on Emerging Trends in Engineering and Technology pp. 48-51 (2012. 11) in Himeji.
  8. 8) Y. Miyagawa, T. Yokomatsu, H. Takeuchi*, K. Higuchi*, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, Acceleration Sensor Using SOI Wafer With Honeycomb Insulator, 2012 IEEE International Conference on Systems, Man, and Cybernetics pp. 2062-2066, (2012. 10) in Seoul, Korea.
  9. 9) M. Kano, M. Ishii, K. Kanda, K. Kasai*, K. Higuchi*, T. Fujita, K. Maenaka, Reflective Photoplethysmography Sensor with Ring-Shaped Photodiode, 2012 IEEE International Conference on Systems, Man, and Cybernetics pp. 2058-2061. (2012. 10) in Seoul, Korea.
  10. 10) K. Kanda, K. Nagata, T. Yamakawa, Y. Iga*, T. Fujita, K. Maenaka, Miniaturization of Vibratory Beam Accelerometer by Using PZT, Procedia Engineering: Proc. Eurosensors XXVI, Vol. 47, pp. 1141-1144 (2012. 9) in Krakow, Poland.
  11. 11) T. Fujita, S. Miki, T. Kotoge, M. Uehara, K. Kanda, K. Higuchi and K. Maenaka, Batch fabrication technique of NdFeB for MEMS based electromagnetic energy harvester, Procedia Engineering: Proc. Eurosensors XXVI, Vol. 47, pp. 639-642 (2012. 9) in Krakow, Poland.
  12. 12) T. Onishi, T. Fujita, K. Fujii, K. Kanda, K. Higuchi, and K. Maenaka, ELECTROSTATIC ENERGY HARVESTER WITH LAMINATED SIO2/SIN ELECTRET CHARGED BY BURIED GRID ELECTRODES, Proc. the 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies, ac12000177 (2012. 6) in Beijing, China.
  13. 13) K. Makimura, T. Hashimoto, A. Miyamoto, K. Kasai, K. Kanda, T. Fujita, and K. Maenaka, FABRICATION OF TALL MIRRORS FOR MEMS-RLG, Proc. the 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies, ac12000198 (2012. 6), in Beijing, China.
  14. 14) Y. G. Jiang, K. Kanda, T. Fujita, D. Y. Zhang, and K. Maenaka, PZT THIN FILM ACOUSTIC DEVICES FABRICATED BY A FULL-DRY MICROMACHINING PROCESS, Proc. the 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies, ac12000006 (2012. 6) in Beijing, China.
  15. 15) T. Tanaka, T. Fujita, K. Sonoda, M. Nii, K. Kanda, and K. Maenaka, Wearable Health Monitoring System by Using Fuzzy Logic Heart-Rate Extraction, Proc. World Automation Congress 2012, 1569536039 (2012. 6) in Puerto Vallarta, Mexico.
  16. 16) T. Onishi, T. Fujita, K. Fujii, K. Kanda, K. Maenaka, and K. Higuchi, Selective Electret Charging Method of SiO2 Film for Energy Harvesters by Using Biased Electrode, Proc. World Automation Congress 2012, 1569538355 (2012. 6) in Puerto Vallarta, Mexico.
  17. 17) T. Fujita, T. Onishi, K. Fujii, K. Kanda, K. Maenaka, and K. Higuchi, Evaluation of the Human Vibration for Autonomous Power Source, Proc. World Automation Congress 2012, 1567535649 (2012. 6) in Puerto Vallarta, Mexico.
  18. 18) S. Miki, T. Fujita, T. Kotoge, Y. G. Jiang, M. Uehara, K. Kanda, K. Higuchi, K. Maenaka, Electromagnetic Energy Harvester By Using Buried NdFeB, Tech. Dig. IEEE MEMS2011, pp. 1221-1224 (2012.1) in Paris, France.

2011

  1. 1)T. Fujita, K. Fujii, T. Onishi, K. Kanda, K. Higuchi*, K. Maenaka, Evaluation of the Electret Based Energy Harvester by Using Multipurpose Data Logging Device, Proc. Int. Workshop on Power MEMS, pp. 130-133, (2011. 12) in Leuven, Belgium.
  2. 2) T. Tanaka, K. Sonoda, S. Ochochi*, A. Chan*, M. Nii, K. Kanda, T. Fujita, K. Higuchi*, K. Maenaka, Wearable Health Monitoring System and its Applications, Proc. 4th International Conference on Emerging Trends in Engineering & Technology, pp. 143-146 (2011. 11) in Port Louis, South Africa.
  3. 3) T. Fujita, K. Fujii, T. Onishi, K. Kanda, K. Higuchi, K. Maenaka, “Electret Energy Harvester Vibrated at Collision Induced Natural Frequency,” Procedia Engineering (Proc. Eurosensors XXV) Vol. 25 pp. 733-736 (2011.9) in Athens, Greek.
  4. 4) K. Kanda,K. Mitsuyama,J. Nakamura,T. Fujita,K. Higuchi,K. Maenaka, “Silicon Dioxide as Mechanical Structure Realizedby Using Trench-Etching and Thermal Oxidation Process”, Procedia Engineering (Proc. Eurosensors XXV) Vol. 25 pp. 843-846 (2011.9) in Athens, Greek.
  5. 5) S. Tanaka, K. Sonoda, K. Kanda, T. Fujita, K. Higuchi, K. Maenaka, Crystal orientation dependent etching in RIE and its application, Tech. Dig. 24th Int. Conf. MEMS, pp. 217-220 (2011.1) in Cancun, Mexico.

2010

  1. 1)Y. Iga, K. Kanda, T. Fujita, K. Higuchi, K. Maenaka, A Design and Fablication of MEMS Gyroscope Using PZT Thin Films, Proc. World Automation Congress 2010, IFMIP486 (DVD-ROM) (2010.10) in Kobe, Japan.
  2. 2) K. Kanda, Y. Iga, J. Matsuoka, Y. Jiang, T. Fujita, K. Higuchi, K. Maenaka, A Tri-Axial Accelerometer with Structure-Based Voltage Operation by Using Series-Connected PZT Elements, Procedia Engineering (Proc. Eurosensors XXIV),Vol.5, pp. 894-897 (2010) in Linz, Austria.
  3. 3) Yongang Jiang, Hiroyuki Hamada, Syohei Shiono, Kensuke Kanda, Takayuki Fujita, Kohei Higuchi, Kazusuke Maenaka, A PVDF-based Flexible Cardiorespiratory Sensor with Independently Optimized Sensitivity to Heartbeat and Respiration, Procedia Engineering (Proc. Eurosensors XXIV), Vol. 5, pp. 1466-1469 (2010) in Linz, Austria.
  4. 4) T. Fujita, T. Toyonaga, K. Nakade, K. Kanda, K. Higuchi, K. Maenaka, Selective Electret Charging Method for Energy Harvesters Using Biased Electrode, Procedia Engineering (Proc. Eurosensors XXIV), Vol. 5, pp. 774-777 (2010.9) in Linz, Austria.
  5. 5) K. Maenaka, T. Fujita, H. Hamada, X. C. Hao, Y. Iga, Y. G. Jiang, K. Kanda, K. Kuramoto, M. Saito, Q. Wulan, D. Zhu, K. Higuchi, Human Sensing Fusion- For Health and Safety Life-,5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology, p36 (2010. 7) in Perth, Australia.
  6. 6) H. Hamada, Y. G. Jiang, K. Kanda, T. Fujita, K. Higuchi and K. Maenaka, Development of a real time monitoring system combining a human body patch type cardiography  sensor with RF transceiver, The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology, P. 261 (2010. 7) in Perth, Australia.
  7. 7) Yonggnang Jiang,Takayuki Fujita,Taichi Hashimoto, Minoru Uehara,Yuki Iga, Kensuke Kanda, Kohei Higuchi, Kazusuke Maenaka, Micro-Structuring of Thick NdFeB Film Using High-Power Plasma Etching for Magnetic MEMS Application, Proc. Asia-Pacific Conf. Transducers nad Micro-Nano Tech., p. 38 (2010. 7) in Perth, Australia.

2009

  1. 1)K. Kanda, Y. Iga, T. Fujita, K. Higuchi, K. Maenaka, Influence of Paracitic Capacitance on Output Voltage of Series-Connected PZT Elements, Proc. The 9th Int. Workshop, Micro and Nanotech. Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS), pp. 597-600 (2009. 12) in Washington D. C., USA.
  2. 2) Y. G. Jiang, T. Fujita, M. Uehara, K. Kanda, T. Toyonaga, K. Nakade, K. Higuchi, K. Maenaka, Fabrication and Evaluation of NdFeB Microstructures for Electromagnetic Energy Harvesting Devices, Proc. The 9th Int. Workshop Micro and Nanotech. Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS), pp. 582-585 (2009. 12) in Washington D. C., USA.
  3. 3) K. Kanda, Y. Iga, T. Hashimoto, T. Fujita, K. Higuchi, K. Maenaka, Microfabrication and Application of Series-Connected PZT Elements, Procedia Chemistry (Proc. Eurosensors XXIII), pp.808-810 (2009. 9) in Lausanne, Switzerland .
  4. 4) Y. Kono, K. Kanda, S. Ogata, and M. Yang, Near-Wall Nanoparticles Perpendicular Distribution Measured Using an Evanescent Illimination, Proc. 4th Int. Conf. Exp. Mech., 7522 1F in DVD-ROM (2009. 9) in Singapore.
  5. 5) T. Mizukoshi, K. Kanda, S. Ogata, and M. Yang, Measurement and Control of Motion of Nanoparticles in Microchannel, Proc. 4th Int. Conf. Exp. Mech., 7522 1N in DVD-ROM (2009. 9) in Singapore.

2008

  1. 1)K. Kanda, Y. Noda, T. Suzuki, I. Kanno, H. Kotera,"Novel Micromixer Utilizing Frequency Mode Modulation on Meta-Structure," Proc. Miniaturized Systems for Chemistry and Life science (μTAS), pp. 1387-1389 (2008.10) in San Diego, USA.

2007

  1. 1)Kensuke Kanda, Satoshi Ishikawa, Junya Ogawa, Takaaki Suzuki, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera: Scale-Effects on Oscillation Characteristics of Externally Driven Micropump, Proc. Microprocess and Nanotechnology Conference(MNC’07), 342-343 (2007.11) in Kyoto, Japan.
  2. 2) Junya Ogawa, Takaaki Suzuki, Isaku Kanno, Kensuke Kanda, Hidetoshi Kotera: A Piezoelectric Actibe Microchannel for Fluid Transport in TAS, Proc. Miniaturized Systems for Chemistry and Life science (TAS2007) (2007.10) in Paris, France.

2006

  1. 1)Satoshi Ogata, Kensuke Kanda: Velocity Field Measurements in a Near-Wall Flow of Drag Reducing Solution in microchannel, Proc. ASME IMEC&E2006 13448 (DVD-ROM) (2006.11) in Chicago, USA

2005

  1. 1)Kensuke Kanda, Satoshi Ogata, Ming Yang: Measurement of the Velocity Profile near the Wall in Bio-Fluid Flow Using Evanescent Light Source, Proc. ASME IMECE2005 80610 (DVD-ROM) (2005.11) in Orland, USA.
  2. 2) Kensuke Kanda, Ming Yang: Measurement of Nano Particle Concentration Near Surface in Microchannel Proc. Miniaturized Systems for Chemistry and Life science (TAS2005), Vol.1 pp.614-616 (2005.10) in Boston, USA.

2004

  1. 1)Kensuke Kanda, Ming Yang: Measurement of Surface Effects on Bio-Fluids Flow in Microchannel by Using SPM, Proc. ASME IMECE2004 Vol.2 50049 (2004.11) in Anaheim, USA.

2003

  1. 1)Kensuke Kanda, Ming Yang: Influence of Wall Wettability on Bio-Fluid for Bio-MEMS Chip, Proc. of EUROSENSORS the 17th European Conference on solid-State Transducers pp.62-63 (2003.9) in Guimaraes, Portugal.

国内学会・研究会等

2023

  1. 1)吉村 武,芳賀 大樹,藤村 紀文,神田 健介,神野 伊策,"圧電MEMS振動子の機械学習デバイス応用," 第40回強誘電体応用会議,25pm-10,(2023.5.24-27 京都工芸繊維大学)
  2. 2) 成田裕樹,神田健介,前中一介,“滴下衝突を利用した圧電MEMSエナジーハーベスタ," 令和5年度E部門総合研究会,MSS-23-020 (2023.6.30-7.1)
  3. 3) 野村明弘,神田健介,横田隆人,前中一介,“バタフライ形状を持つ圧電MEMS振動ハーベスタ," 令和5年度E部門総合研究会,MSS-23-021 (2023.6.30-7.1)
  4. 4) 野村 明弘, 神田 健介, 前中 一介,“機械的弱結合によるハーベスタの出力向上とその等価回路モデル", 応用物理学会集積化MEMS技術研究会第15回「集積化MEMS シンポジウム」,8A2-D-3(2023.11.6-9 熊本城ホール)
  5. 5) 成田 裕樹, 神田 健介, 前中 一介,“落下液滴による圧電振動型ハーベスタ", 応用物理学会集積化MEMS技術研究会第15回「集積化MEMS シンポジウム」,8A2-D-1(2023.11.6-9 熊本城ホール)
  6. 6) 吉村 武, 芳賀 大樹, 藤村 紀文, 神田 健介,神野 伊策,“圧電MEMS 共振器を用いた物理リザバーコンピューティング", 応用物理学会集積化MEMS技術研究会第15回「集積化MEMS シンポジウム」6P4-D-4(2023.11.6-9 熊本城ホール)
  7. 7) 吉田 智郎, 志水 駿文, 神田 健介, 前中 一介,“ハーモニカリード型MEMS 発電素子の反りが自励振動に及ぼす影響", 第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,7P2-PS-8(2023.11.6-9 熊本城ホール)
  8. 8) 赤松 儀優, 神田 健介, 前中 一介,“固有値解析によるMEMS 構造での非線形周波数応答予測", 第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,6P4-C-2(2023.11.6-9 熊本城ホール)
  9. 9) 神田健介,<招待講演>共振振動による圧電MEMS触覚デバイス",令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会,7-C-p1-7 (2023.9.7 愛知工業大学自由が丘キャンパス)
  10. 10) 神田健介,"圧電薄膜の微細加工によるインピーダンス変換とMEMS応用,"第160回フロンティア材料研究所学術講演会/第27回未来技術研究所生体医歯工公開セミナー,(2023.7.20 東京工業大学すずかけ台キャンパス)招待講演
  11. 11) 野村明弘,神田健介,藤田孝之,前中一介,"振動型MEMSハーベスタを用いた低周波磁界結合による無線電力伝送,"電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会,TER-24-039/MSS-24-009 (2024.3.1 新潟大学駅南キャンパスときめいと)
  12. 12) 田中雄樹,神田健介,前中一介,"PZT/樹脂積層薄膜を翼とする小型飛翔デバイスにおける初期反り抑制,"電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会,TER-24-036/MSS-24-006 (2024.3.1 新潟大学駅南キャンパスときめいと)
  13. 13) 神田健介,"PZT薄膜の厚膜化によるエナジーハーベスタ,"電子セラミック・プロセス研究会第199回研究会,2023-199-1042(2024.3.2 Panasonic EX LAB)招待講演

2022

  1. 1)横田隆人,前中一介,神田健介,藤田孝之,"タイヤトレッドの固有振動で発電する圧電MEMSデバイス",応用物理学会第12回集積化MEMS技術研究ワークショップ,P-1(2022.2.10 Online)
  2. 2) 松本健吾,小舟正文,竹内優利,目黒太賀,菊池丈幸,藤沢浩訓,神田健介,前中一介,"RIE法によるPZTマイクロロッド薄膜の作製とその諸特性",第39回強誘電体応用会議,03am-06 (2022.6.3 京都工芸繊維大学)
  3. 3) 神田健介,饗庭岳,前中一介,"風から発電する圧電MEMS振動発電素子",電気学会E部門総合研究会MSS研究会,MSS-22-035 (2022. 6. 8 金沢商工会議所会館)
  4. 4) 横田隆人,神田健介,藤田孝之,前中一介,"タイヤ固有振動で発電する圧電MEMSデバイス",電気学会E部門総合研究会MSS研究会,MSS-22-036 (2022.6.8 金沢商工会議所会館)
  5. 5) 神田健介,饗庭岳,前中一介,"ハーモニカリード型圧電MEMSによる気流からの振動発電,"弾性波素子コンソーシアム第7回研究会資料,pp, 1-5 (2022.6.13 Online)
  6. 6) 水戸部龍介,佐藤淳喜,安部隆,神田健介,寒川雅之,"ひずみゲージ・圧電体薄膜を集積した検知素子を持つ触覚センサの作製および複数検知素子の同時計測評価",第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2022.11.14-16 アスティとくしま)
  7. 7) 神田健介,梶山佳敬、平田善明,島倉泰久,藤田孝之,前中一介,"初期ひずみを持つダイアフラム構造の非線形周波数特性の簡易的予測," 第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2022.11.14-16 アスティとくしま)
  8. 8) 横田隆人,神田健介,藤田孝之,前中一介,"片持ちはり振動型エナジーハーベスタのためのマイクロローディング効果を利用した応力集中緩和構造," 第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2022.11.14-16 アスティとくしま)
  9. 9) 種村晃,田中勇輝,横松得滋,神田健介,藤田孝之,前中一介,"バルク水晶ジャイロの基本特性," 第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2022.11.14-16 アスティとくしま)
  10. 10) 神田健介,"【招待講演】自律センサのためのMEMSエナジーハーベスティング,"令和4年度電気関係学会関西連合大会G6-5(2022.11.26 オンライン)
  11. 11) 吉村 武,芳賀 大樹,藤村 紀文,神田 健介,神野 伊策,"圧電MEMS振動子によるリザバーコンピューティング," 2023年応用物理学会春季学術講演会,16a-A410-7, (2023.3.16 上智大学四ツ谷キャンパス)
  12. 12) 赤松 儀優, 神田 健介, 前中 一介,"MEMS両持ちはりの共振特性," 2023年応用物理学会春季学術講演会,16a-B410-9, (2023.3.16 上智大学四ツ谷キャンパス)
  13. 13) 志水 駿文, 神田 健介, 前中 一介,"ハーモニカリード型MEMS発電素子の振動特性," 2023年応用物理学会春季学術講演会,16a-B410-8, (2023.3.16 上智大学四ツ谷キャンパス)
  14. 14) 田中雄樹・神田健介・前中一介,"MEMS圧電薄膜による飛翔デバイスの試作," 令和5年度電気学会全国大会,3-179,(2023.3.16 名古屋大学東山キャンパス)
  15. 15) 岩成 優, 横田隆人, 横松得滋, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介,"結晶異方性ドライエッチングにおけるマイクロローディング効果," 令和5年度電気学会全国大会,3-142,(2023.3.15 名古屋大学東山キャンパス)

2021

  1. 1) 武田光平,七里愛,神田健介,藤田孝之,前中一介“Si基板上における強磁性NdFeBと圧電PZTのヘテロ集積”,第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,11A3-SS2-5 (2021.11.11 Online)
  2. 2) 横田隆人,前中一介,神田健介,藤田孝之,“タイヤ固有振動で発電する圧電MEMSデバイス”,第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,10P3-SSL-80(2021.11.10 Online)
  3. 3) 小林美穂,佐藤孔亮,三宅弘晃,田中康寛,神田健介,“MEMS-PZT薄膜センサを用いた高温用空間電荷分布測定装置の開発,”令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会3-D-a1-1(2021. 9. 3 Online)
  4. 4) 右田 翼,小舟正文,松本健吾,竹内優利,藤沢浩訓,神田健介,前中一介, "マイクロピラー型マルチフェロイック複合体薄膜の諸特性に及ぼすポストアニール温度及びピラー形状の影響," 第38回強誘電体応用会議,01pm-11 (2021)
  5. 5) S. Aphayvong,T. Yoshimura,S. Murakami,K. Kanda,N. Fujimura, "Development of MEMS Piezoelectric Vibration Energy Harvester with Two-Degree-of-Freedom System for Impulsive Forces," 第38回強誘電体応用会議,02pm-08 (2021)
  6. 6) S. Aphayvong,T. Yoshimura,K. Kanda,S. Murakami,N. Fujimura, "Characterization of piezoelectric MEMS vibration energy harvester with two-degree-of-freedom system under impulsive force," 第68回応用物理学会春季学術講演会,19p-Z13-7 (2021.3.19 Zoom)
  7. 7) 松本和馬,藤邉康平,藤田孝之,神田健介,前中一介,“低寄生容量CdSフォトカプラによるリアルタイム不可特性評価システム,”,第68回応用物理学会春季学術講演会,18p-Z02-12,(2021.3.18 Zoom)
  8. 8) 小林美穂,小林史也,三宅弘晃,田中康寛,神田健介,“MEMS-PZT薄膜による高温PEA法用圧力波センサの開発,” 電気学会全国大会 2-028 (2021.3.10 Online).
  9. 9) 近藤真衣,横松得滋,神田健介,藤田孝之,前中一介,“カーボン材料を用いた柔軟ひずみゲージの試作と評価,”第11回集積化MEMSワークショップ,P3 (2021.1.28 Zoom)

2020

  1. 1) 嶋田 倫太郎 *, 北田 友嗣 , 神田 健介 , 藤田 孝之 , 前中 一介, "小型内視鏡のための小型圧電MEMSミラーとその駆動回路,”第12回集積化MEMSシンポジウム,28A3-AP-4 (2020)
  2. 2)治京 元気, 大西 康太, 梅垣 俊仁, 神田 健介, 神野 伊策,“Pb(Zr,Ti)O3 薄膜マイクロカンチレバーを用いた圧電特性評価,”第12回集積化MEMSシンポジウム,26A3-AP-5 (2020)
  3. 3)GONG LIQIANG, 高橋 春暁, 安部 隆, 神田 健介, 寒川 雅之,“ひずみゲージ・圧電体薄膜集積触覚センサの検知部形状の設計・評価,”第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,28A3-MN1-2 (2020)
  4. 4)近藤 真衣, 前中 一介, 横松 得滋, 藤田 孝之, 神田 健介, 金谷 昭範, 大原 勝義, 向田 芳純, 佐藤 大夢,“高引裂強度を持つ柔軟ひずみゲージの試作と評価,”第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,27P3-SSL-54 (2020)
  5. 5)田中 勇輝, 前中 一介, 藤田 孝之, 神田 健介,“α‐クォーツによるバルクジャイロの提案,”第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,26A3-SS1-4 (2020)
  6. 6)A. Sengsavang, T. Yoshimura, K. Kanda, S. Murakami, N. Fujimura, "Electromechanical properties of 2-degree-of-freedom piezoelectric vibration energy harvester for impulsive force,"第81回応用物理学会秋季学術講演会,8p-Z17-12 (2020)
  7. 7)右田翼,小舟正文,高崎英幸,伊藤稜,菊池丈幸,藤沢浩訓,神田健介,前中一介,“マイクロロッド型マルチフェロイック複合体薄膜の諸特性に及ぼすポストアニールの影響,”第81回応用物理学会秋季学術講演会,8p-Z17-1 (2020)
  8. 8)S. Aphayvong,T. Yoshimura,S. Murakami,K. Kanda,N. Fujimura, "Investigation of Efficient Piezoelectric Energy Harvesting from Impulse Vibration," 第37回強誘電体応用会議,29pm-07 (2020)
  9. 9)小舟正文,ア英幸,吉井正光,伊藤稜,右田翼,菊池丈幸,神田健介,前中一介,“有機金属分解法によるマイクロロッド型マルチフェロイック複合体薄膜の作製とその諸特性,”第37回強誘電体応用会議,28am-05 (2020)
  10. 10)右田翼,小舟正文,伊藤涼雅,大林大貴,高崎英幸,伊藤稜,菊池丈幸,藤沢浩訓,神田健介,前中一介,“有機金属化学気相堆積法を用いて作製したマイクロロッド型マルチフェロイック複合体薄膜の諸特性に及ぼす基板温度の影響,”第37回強誘電体応用会議,28am-04 (2020)
  11. 11)嶋田倫太郎,神田健介,藤田孝之,前中一介,“内視鏡を指向した2軸小型圧電MEMSミラ−,”第67回応用物理学会春季学術講演会,14p-A305-9 (2020)
  12. 12)小林史也・小原昌悟・三宅弘晃・田中康寛,神田健介,“PZT-MEMSを用いた高分解能圧力波検出センサの開発,”令和2年度電気学会全国大会,2-026 (2020)
  13. 13)北田友嗣,嶋田倫太郎,藤原 潤,神田健介,藤田孝之,前中一介,“低消費電力バイタルモニタのためのモノリシック集積回路の開発,”令和2年度電気学会全国大会,3-144 (2020)
  14. 14)横山万緒,木村 慧,神田健介,藤田孝之,前中一介,“放射線治療用ガンマ線検出システム,”令和2年度電気学会全国大会,3-134 (2020)

2019

  1. 1) 高橋春暁,安部隆,神田健介,寒川雅之,“ひずみ・圧電触覚センサのためのPDMS封止カンチレバーによる荷重・振動検知”,第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム (2019)
  2. 2) 吉村 武,荒牧正明,村上修一,神田健介,藤村紀文, “2自由度系圧電MEMS振動発電素子における出力特性の向上”第11回集積化MEMSシンポジウム (2019)
  3. 3) 藤本匠,福永彬人,藤田孝之,神田健介,前中一介,“NdFeB薄膜磁石と磁界による振動型ワイヤレス電力伝送の基礎的考察”第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  4. 4) 杉野裕輝,福永彬人,藤田孝之,神田健介,前中一介,“NdFeB薄膜磁石の磁気反発力を用いた非接触面外面内振動変向機構の基礎研究”第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  5. 5) 小山司,二村寛子,瀬川有香,原田貴弘,大塚祐二,神田健介,“積層構造の異なるPZT薄膜における電気特性と形態の関係性”第80回応用物理学会秋季学術講演会
  6. 6) 村上修一,吉村武,金岡祐介,津田和城,細山亮,堀口翔伍,佐藤和郎,神田健介,藤村紀文,“非ガウス型ランダム振動を用いた圧電MEMS振動発電素子の特性評価”第80回応用物理学会秋季学術講演会
  7. 7) 原光將,ハズワニ B. M. ナシル,神田健介,藤田孝之,前中一介,“樹脂/薄膜PZT構造体を用いたMEMS1Dアレイ触覚ディスプレイ”,第80回応用物理学会秋季学術講演会
  8. 8) Aphayvong Sengsavang, 吉村武, 神田健介,村上修一,吉村紀文,“インパルス振動を用いた圧電MEMS振動発電素子の特性評価”第80回応用物理学会秋季学術講演会
  9. 9) 村上修一,吉村武,金岡祐介,津田和城,細山亮,堀口翔伍,佐藤和郎,神田健介,藤村紀文,“ランダム振動を用いた圧電MEMS振動発電素子の特性評価”,第10回集積化MEMS技術研究ワークショップ,(2019.7.26  産業技術総合研究所(つくば東)・集積マイクロシステム研究センター)
  10. 10) 伊藤稜,小舟正文,松永拓也,右田翼,菊池丈幸,神田健介,前中一介,“反応性イオンエッチング法によるビスマス層状構造強誘電体薄膜の微細加工”,日本セラミックス協会2019年年会,1P211(2019.3.24-26 工学院大学)
  11. 11) 横松得滋,神田健介,藤田孝之,前中一介,“SiGeによるコンボセンサを指向したサーモパイル素子”平成31年度電気学会全国大会,3-180(2019.3.14 北海道科学大学)
  12. 12)荒牧 正明,吉村 武,村上 修一,佐藤 和郎,神田 健介,藤村 紀文,“2 自由度構造を有する圧電 MEMS 振動発電素子の電気機械特性”第66回応用物理学会春季学術講演会,11p-W242-6(2019.3.11 東京工業大学)
  13. 13) 饗庭岳,平井翔太,神田健介,藤田孝之,前中一介,“自律センサを指向した電圧増倍による圧電MEMSハーベスタ”電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会,TER-19-4/MSS-19-4 (2019.2.28 ウインク愛知)

2018

  1. 1) 遠山蒼, 原光將, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介,“PZT/PI積層構造を用いた圧電MEMS触覚デバイス”第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,30am3-PS-25 (2018.10.30 札幌市民交流プラザ)
  2. 2) 平井翔太, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介,“多層PZT薄膜を用いた圧電エナジーハーベスタおよび回路シミュレータモデル” 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,30pm4-PS-22 (2018.10.30 札幌市民交流プラザ)
  3. 3) 原光將, 遠山蒼, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介,“センサ付き圧電MEMS触覚提示デバイスによる接触実験およびそのモデル化” 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,31am3-PS-121 (2018.10.31 札幌市民交流プラザ)
  4. 4) 本郷裕之, 月山元貴, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介,“SiGeによるコンボセンサを指向した共振型磁気センサ” 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,31am3-PS-133 (2018.10.31 札幌市民交流プラザ)
  5. 5) 福永彬人, 吉井真一, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介,“面外振動静電型エナジーハーベスタのためのNdFeB薄膜磁石を用いたプルイン防止構造における磁気反発力計測,” 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,31pm2-PLN-172 (2018.10.31 札幌市民交流プラザ)
  6. 6) 村上修一,吉村武,金岡祐介,荒牧正明,津田 和城,佐藤和郎,神田 健介,藤村紀文,“ランダム振動印加時の圧電MEMS振動発電素子の発電特性,”第79回応用物理学会秋季学術講演会,18a-233-4 (2018.9.18 名古屋国際会議場)
  7. 7) 月山元貴,本郷裕之,廣田朝地,氏家朱理,神田健介,藤田孝之,前中一介,“加速度センサと振動型磁気センサのモノリシック設計と試作,”電気学会フィジカルセンサ/バイオ・マイクロシステム合同研究会,PHS18-034/BMS-18-045 (2018.8.8 機械振興会館)
  8. 8) 本郷裕之,月山元貴,氏家朱里,神田健介,藤田孝之,前中一介,“共振型3軸磁気センサの設計”,平成30年度電気学会E部門総合研究会,フィジカルセンサ研究会,PHS-18-21(2018.7.13 奈良県文化会館)
  9. 9) 藤田亮介,江籠徳行,神田健介,藤田孝之,前中一介,“柔軟センサを用いた血圧推定における姿勢情報による精度向上の検討”,平成30年度電気学会E部門総合研究会,フィジカルセンサ研究会,PHS-18-24(2018.7.13 奈良県文化会館)
  10. 10) 平井翔太,神田健介,佐野良,藤田孝之,前中一介,“多層PZT薄膜によるMEMSエナジーハーベスタ試作,”第65回応用物理学会春季学術講演会,19a-C104-1 (2018. 3. 19 早稲田大学西早稲田キャンパス)
  11. 11) 村上修一,吉村武,金岡祐介,津田和城,佐藤和郎,神田健介,藤村紀文,“ランダム振動試験による圧電MEMS振動発電素子の特性評価,”平成30年度電気学会全国大会,3-159(2018.3.16 九州大学伊都キャンパス))

2017

  1. 1) 吉井真一,山口晃平,福永彬人,藤田孝之,神田健介,前中一介, “両面NdFeB 薄膜磁石を用いた電磁誘導式エナジーハーベスタの提案,” 電気学会マグネティックス,光・量子デバイス,フィジカルセンサ,マイクロマシン・センサシステム,バイオ・マイクロシステム合同研究会,MAG-17-219, OQD-17-089, PHS-17-066, MSS-17-036, BMS-17-071 (2017. 12. 15, じばさんビル,姫路)
  2. 2) 遠山蒼,神田健介,大久保昂,藤田孝之,前中一介,“多層圧電膜によるMEMS触覚デバイス,” 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,02pm1-PS-217 (2017.11.2, 広島国際会議場)
  3. 3) 廣田朝地,横松得滋,神田健介,藤田孝之,前中一介,“SiGeモノリシックコンボセンサに向けたラピッドプロトタイピング -3軸加速度センサと振動型磁気センサ-,” 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,01pm4-PS-136 (2017.11.1, 広島国際会議場)
  4. 4) 中西亮介,神田健介,藤田孝之,前中一介,“多層PZT薄膜による圧電MEMSエナジーハーベスタの提案,” 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,01pm4-PS-122 (2017.11.1, 広島国際会議場)
  5. 5) 吉井真一,北川雄基,藤田孝之,神田健介,前中一介,“振動型エナジーハーベスタのための磁気反発力を用いた耐衝撃構造,” 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,31pm3-PS-24 (2017.10.31, 広島国際会議場)
  6. 6) 福永彬人,吉井真一,神田健介,藤田孝之,前中一介,“TPMSを指向した面外振動型エナジーハーベスタへのNdFeB薄膜磁石の応用,” 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,31am3-PS-23 (2017.10.31, 広島国際会議場)
  7. 7) 遠山蒼,神田健介,大久保昂,原光將,藤田孝之,前中一介,圧電MEMSによる触覚デバイス試作,第78回応用物理学会秋季学術講演会,8p-A504-9 (2017.9.8, 福岡国際会議場)
  8. 8) 神田健介, 牛田大樹,横松得滋,藤田孝之,前中一介,低消費電力な人体活動モニタリングシステムのための圧電MEMSトリガ, 電気学会PHS/BMS合同研究会, PHS-17-052/BMS-17-045, (2017.8.10 機械振興会館)
  9. 9) 月山元貴,氏家朱理,廣田朝地,神田健介,藤田孝之,前中一介,ローレンツ力を用いたMEMS磁気センサの作製と評価,平成29年度電気学会E部門総合研究会,PHS-17-16 (2017,6,29 イーグレ姫路)
  10. 10) 西峯拓也,松永拓也,藤田智志,菊池丈幸,藤沢浩訓,清水勝,神田健介,前中一介,福室直樹,小舟正文,反応性イオンエッチング法によりマイクロパターン化したFe3O4磁性電極をもつFe3O4/BNEuT複合体薄膜の作製と諸物性,第34回強誘電体応用会議講演予稿集,pp.89-90,03-T-17(2017)
  11. 11) 松永拓也,小舟正文,西峯拓也,藤田智志,菊池丈幸,藤沢浩訓,清水勝,神田健介,前中一介,RIE法によりマイクロ加工したFe3O4磁性電極をもつFe3O4/BNEuT複合体薄膜の構造及び強誘電特性,日本セラミックス協会第30回秋季シンポジウム,1PC08(2017)
  12. 12) 氏家朱理,廣田朝地,神田健介,藤田孝之,前中一介,SiGeによるコンボセンサ実現に向けた磁気センサの設計,平成29年電気学会全国大会,3-131 (2017.3.16)
  13. 13) 中村健太,服部喜優,藤原潤,神田健介,藤田孝之,前中一介,生体モニタリングデバイスの低消費電力化,平成29年電気学会全国大会,3-133 (2017.3.16)
  14. 14) 山本弘貴,Adrian Badel,Fabien Formosa,藤田孝之,神田健介,前中一介,MEMS双安定構造による低周波数振動に向けた静電型振動ハーベスタの設計,平成29年電気学会全国大会,3-141 (2017.3.16)
  15. 15) 戸田慎也,藤田亮介,月山元貴,神田健介,藤田孝之,前中一介,磁性粉末を用いた生体用電極の試作,平成29年電気学会全国大会,3-006 (2017.3.17))

2016

  1. 1) 中本翔満,佐野良,神田健介,藤田孝之,前中一介,超音波トランスデューサを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層成膜,第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,25pm4-PS-036 (2016.10.25)
  2. 2) 三輪谷直輝,藤田孝之,南啓大,北川雄基,神田健介,前中一介,倍密度対向電極を用いた静電型エナジーハーベスタとセンサシステムへの応用,第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,25pm2-C-4 (2016.10.25)
  3. 3) 吉井真一,山口晃平,藤田孝之,神田健介,前中一介,静電型エナジーハーベスタのためのNdFeB薄膜磁石を用いたギャップ制御機構,第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,25pm2-C-2 (2016.10.25)
  4. 4) 大久保昂,嶋真弥,神田健介,藤田孝之,前中一介,PZT薄膜/樹脂積層構造による圧電MEMSハプティックデバイス,第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,24pm2-C-2 (2016.10.24)
  5. 5) 戸田慎也,神田健介,藤田孝之,前中一介,NdFeBパウダー配線の動きセンサへの応用,第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,24am2-A-2 (2016.10.24)
  6. 6) 廣田朝地,横松得滋,神田健介,藤田孝之,前中一介,MEMS材料としてのSiGe薄膜の物性評価と加速度センサへの応用,第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,24am2-B-3 (2016.10.24)
  7. 7) 神田健介,松井恵美,大久保昂,藤田孝之,前中一介,小型発汗計測デバイス,電気学会PHS/BMS合同研究会,PHS-16-036, BMS-16-039 (2016.8.9)
  8. 8) 山本弘貴,藤田孝之,神田健介,前中一介,Evaluation of Bi-stable Vibration Energy Harvester Structure by Using Parallel Curved Beams with Gravitational Acceleration,電気学会E部門総合研究会合同研究会,PHS-16-22,CHS-16-5,MSS-16-5,BMS-16-22 (2016.6.30)
  9. 9) 吉井真一,山口晃平,藤田孝之,神田健介,前中一介,静電型エナジーハーベスタのためのNdFeB薄膜磁石を用いた磁気ストッパー構造,電気学会E部門総合研究会合同研究会,PHS-16-32,CHS-16-15,MSS-16-24,BMS-16-35 (2016.6.30)
  10. 10) 三輪谷直輝,南啓大,藤田孝之,神田健介,前中一介,インターディジタル形状の対向電極を用いた静電型エナジーハーベスタ,電気学会E部門総合研究会合同研究会,PHS-16-31,CHS-16-14,MSS-16-23,BMS-16-34 (2016.6.30)
  11. 11) 服部喜優,藤原潤,鷲野史拓,松本裕貴,神田健介,藤田孝之,前中一介,生体モニタリングを指向したMPU設計と集積化,平成28年電気学会全国大会,3-009 (2016.3.18)
  12. 12) 中本翔満,佐野良,神田健介,藤田孝之,前中一介,圧電PZT薄膜の多層積層のための電極成膜条件の検討,平成28年電気学会全国大会,3-142 (2016.3.18)

2015

  1. 1) 南啓大,三輪谷直輝,神田健介,藤田孝之,前中一介,低加速度領域で発電可能な静電型エナジーハーベスタ設計手法,第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,28pm3-F-1 (2015.10.28)
  2. 2) 山口晃平,藤田孝之,神田健介,前中一介,ローレンツ力を考慮した薄膜磁石電磁ハーベスタの最適構造設計,第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,30am2-PS-030 (2015.10.30)
  3. 3) 森上慎悟,神田健介,藤田孝之,前中一介,加工した基板上へのPb(Zr,Ti)O3薄膜のスパッタ成膜と特性評価,第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,29pm3-PS-051 (2015.10.29)
  4. 4) 三輪谷直輝,藤田孝之,南啓大,神田健介,前中一介,衝撃による減衰振動を利用したTPMS用静電型エナジーハーベスタの設計,第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,28pm1-B-6 (2015.10.28)
  5. 5) 佐野良,井上純一,神田健介,藤田孝之,前中一介,RFマグネトロンスパッタ法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層とその評価,第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,28am2-A-6 (2015.10.28)
  6. 6) 大久保昂,佐野良,嶋真弥,神田健介,藤田孝之,前中一介,【講演奨励賞受賞記念講演】樹脂材料とPb(Zr,Ti)O3薄膜を用いた圧電構造体の特性評価,第76回応用物理学会秋季学術講演会,14a-1C-1 (2015.9.14)
  7. 7) 陳健,ハオシュウシュン,田中伸哉,横松得滋,神田健介,藤田孝之,前中一介,Silicon On Nothingの形成とその圧力センサへの応用,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会資料,PHS-15-034(2015.7.2)
  8. 8) 藤原潤,松田貴文,松本裕貴,神田健介,藤田孝之,前中一介,低消費電力心拍抽出ASIC及びアナログフロントエンド,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会マイクロマシン・センサシステム研究会資料,MSS-15-020(2015.7.3)
  9. 9) 三輪谷直輝,藤田孝之,南啓大,園田晃司,神田健介,前中一介,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会マイクロマシン・センサシステム研究会資料,MSS-15-021(2015.7.3)
  10. 10) 佐野良,井上純一,神田健介,藤田孝之,前中一介,Pb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層によるMEMSマルチモルフ構造,平成27年度第1回応用物理学会関西支部講演会(2015.6.22)
  11. 11) 大久保昂,佐野良,嶋真弥,神田健介,藤田孝之,前中一介,柔軟かつロバストなPb(Zr,Ti)O3-MEMSアクチュエータ,平成27年度第1回応用物理学会関西支部講演会(2015.6.22)
  12. 12) 森上慎悟,神田健介,藤田孝之,前中一介,多自由度なMEMSを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の加工済みウエハへの成膜加工,平成27年度第1回応用物理学会関西支部講演会(2015.6.22)
  13. 13) 佐野良,井上純一,神田健介,藤田孝之,前中一介,スパッタ積層Pb[Zr,Ti]O3薄膜構造の作製,第32回強誘電体応用会議,23-P-13(2015.5.23)
  14. 14) 三輪谷直輝,藤田孝之,園田晃司,南啓大,神田健介,前中一介,静電型エナジーハーベスタ高出力化のためのフリンジ効果を考慮した静電容量解析,平成27年電気学会全国大会,3-116(2015.3.24)
  15. 15) 大久保昂,神田健介,藤田孝之,前中一介,“Pb(Zr,Ti)O3薄膜と感光性樹脂の積層構造体作製とその評価”,第62回応用物理学会春季学術講演会,13a-P14-12 (2015.3.13)

2014

  1. 1) 山口晃平,田中祐至,竹平徳崇,藤田孝之,園田晃司,神田健介,前中一介,“微細凹凸形状SiへのスパッタNdFeBを用いた電磁型MEMSエナジーハーベスタの試作,第6回マイクロナノ工学シンポジウム,22am2-E6(2014.10.22)
  2. 2) 松田貴文,大河内沙也香,神田健介,藤田孝之,前中一介,絆創膏型生体モニタリングシステムと組み込みデータ処理アルゴリズム,第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,21pm2-B1 (2014.10.21)
  3. 3) 佐野良,井上純一,神田健介,藤田孝之,前中一介,スタンダードPZT-MEMSプロセスの提案とデバイス評価,第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,21pm3-PS052 (2014.10.21)
  4. 4) 森上慎悟,井上純一,神田健介,藤田孝之,前中一介,三次元Si加工基板上へのPZT成膜と評価,第75回応用物理学会秋季学術講演会,18p-A19-7 (2014.9.18)
  5. 5) 井上純一,松田貴文,神田健介,藤田孝之,前中一介,薄膜PZT-MEMSバイモルフ構造を用いた自励発振システム,第75回応用物理学会秋季学術講演会,18p-A19-6 (2014.9.18)
  6. 6) 南啓大,藤田孝之,大西斗志一,園田晃司,三輪谷直輝,神田健介,前中一介,静電型エナジーハーベスタのSPICEモデリングと最適負荷の解析,電子情報通信学会電子デバイス研究会資料ED2014-49,pp. 23-27 (2014.7.10)
  7. 7) 鷲野史拓,松本裕貴,田中智也,園田晃司,神田健介,藤田孝之,前中一介,生体運動把握のための低消費電力ASIC,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会資料,PHS-14-026(2014.5.28)
  8. 8) 佐野良,井上純一,神田健介,藤田孝之,前中一介,マルチチップサービスに向けたスタンダードPZT-MEMSプロセスの提案,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会資料,PHS-14-019(2014.5.27)
  9. 9) 松田貴文,大河内沙也香,神田健介,藤田孝之,前中一介,絆創膏型生体信号モニタリングシステム制御ソフトウェアに関する一考察,交通・電気鉄道、フィジカルセンサ合同研究会,TER/PHS14-001,(2014.3.7)
  10. 10) 青木俊介,神田健介,藤田孝之,前中一介,マイクロインジェクションシステム用ガラスナノチューブの作製,交通・電気鉄道、フィジカルセンサ合同研究会,TER/PHS14-003,(2014.3.7)
  11. 11) 小峠竜也,藤田孝之,田中祐至,山口晃平,園田晃司,神田健介,前中一介,電磁型エナジーハーベスタのための交互多極磁化マイクロ磁石アレイの試作,平成26年電気学会全国大会,3-158,(2014.3.18)
  12. 12) 鷲野史拓,松本裕貴,田中智也,神田健介,藤田孝之,前中一介,加速度から歩数および最大値最小値を抽出する低消費電力ASIC,平成26年電気学会全国大会,3-159,(2014.3.18)
  13. 13) 山本弘貴,園田晃司,藤田孝之,神田健介,前中一介,熱酸化による残留応力を利用した振動型発電用シリコン座屈両持ち梁,平成26年電気学会全国大会,3-160,(2014.3.18)
  14. 14) 森上慎悟,井上純一,梶村尚伍,神田健介,藤田孝之,前中一介,構造体側面へのPZT成膜と評価構造体作製,第61回応用物理学会春季学術講演会,19p-PG3-8,(2014.3.19)
  15. 15) 佐野良,井上純一,神田健介,藤田孝之,前中一介,PZT薄膜を用いた並列接続型スパイラルアクチュエータ,第61回応用物理学会春季学術講演会,19p-PG3-9,(2014.3.19)

2013

  1. 1) 神田健介,スパッタPZT薄膜の微細加工およびMEMSへの応用,第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,5PM1-E-1 (2013.11.5-7)(招待講演)
  2. 2) 山口晃平,藤田孝之,田中祐至,小峠竜也,神田健介,前中一介,高アスペクト比SiトレンチへのスパッタNdFeBを用いた電磁型MEMSエナジーハーベスタの構造最適化,第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,5AM2-C-2 (2013.11.5-7)
  3. 3) 南啓大,藤田孝之,大西斗志一,神田健介,前中一介,フリンジ効果を考慮した静電型エナジーハーベスタのための電極形状最適化,第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,5PM3-PMN-011 (2013.11.5-7)
  4. 4) 松本裕貴,田中智也,園田晃司,神田健介,藤田孝之,前中一介,低消費電力心拍抽出ディジタルASIC,第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,5PM1-B-1 (2013.11.5-7)
  5. 5) 池田 玲,園田晃司,田中智也,神田健介,藤田孝之,前中一介,PSoCを用いた汎用生体モニタリングシステム,第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,6PM3-PSS-050 (2013.11.5-7)
  6. 6) 井上純一,神田健介,藤田孝之,前中一介,「講演奨励賞受賞記念講演」厚膜PZT/PZTバイモルフを用いたMEMSミラー試作,第74回応用物理学会秋季学術講演会,19a-B4-1 (2013.9.16-20)
  7. 7) 狩野公秀,佐藤洋太,笠井一夫,樋口行平,神田健介,藤田孝之,前中一介,環状受光部をもつ反射型パルスオキシメータの作製とフォトダイオードの特性評価,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会資料,PHS-13-030 pp. 1-6 (2013.8)
  8. 8) 松本裕貴,田中智也,園田晃司,神田健介,藤田孝之,前中一介,心電と加速度に着目した特徴量抽出ディジタルASIC,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会資料,PHS-13-029 pp. 1-6 (2013.8)
  9. 9) 宮本亜聖,神田健介,藤田孝之,前中一介,シリコンを材料としたMEMSガイガーカウンタの試作,第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ講演予稿集,IMWS-04-12,p.10 (2013.7)
  10. 10) 井上純一,神田健介,齋藤誉司,藤田孝之,前中一介,MEMSデバイス向け厚膜PZT/PZTバイモルフ構造,第60回応用物理学会春季学術講演会,29p-PA4-2 (2013.3) *講演奨励賞
  11. 11) 松本裕貴,田中智也,園田晃司,藤田孝之,神田健介,前中一介,人体活動モニタリングシステムの低消費電力化にむけた加速度情報処理用ASIC,平成25年度電気学会全国大会,3-128,pp.185-186(2013.3.20-22)
  12. 12) 田中祐至,小峠竜也,園田晃司,樋口行平,神田健介,藤田孝之,前中一介,蛇行コイルを用いた電磁形MEMSエナジーハーベスタの構造最適化設計手法,平成25年電気学会全国大会,3-125, p.182 (2013.3.20-22)
  13. 13) 池田玲,園田晃司,田中智也,神田健介,藤田孝之,前中一介,PSoCを用いた生体モニタリングシステムの小型化,電気学会交通・電気鉄道研究会資料,TER-13-002&PHS-13-006,pp.1-5,(2013.3)

2012

  1. 1) 小峠竜也,藤田孝之,田中祐至,上原稔,神田健介,樋口行平,前中一介,NdFeBスパッタ薄膜の微細加工と応用デバイス,電気学会マグネティック研究会資料,Vol. MAG-12, No. 170, pp. 7-11 (2012. 12)
  2. 2) 橋本泰知,牧村賢一,宮本亜聖,神田健介,藤田孝之,前中一介,MEMS共振器を用いた周回レーザ発振,第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集,pp. 24-28 (2012. 10)
  3. 3) 園田晃司,藤井孝平,大西斗志一,勝間洋行,神田健介,藤田孝之,樋口行平,前中一介,振動型発電デバイスのための加速度データ評価,日本機械学会第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集,pp.93-94 (2012. 10)
  4. 4) 大西斗志一,藤田孝之,藤井孝平,勝間洋行,神田健介,樋口行平,前中一介,SiN/SiO2高耐熱エレクトレット膜へのバイアス荷電手法,日本機械学会第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集,pp.271-272 (2012. 10)
  5. 5) 狩野公秀,石井雅敏,笠井一夫,樋口行平,神田健介,藤田孝之,前中一介,環状受光部をもつ小型脈波センサによる脈波検出,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会資料,PHS-12-010,pp. 1-4 (2012. 6)
  6. 6) 橋本泰知,牧村賢一,宮本亜聖,笠井一夫,神田健介,藤田孝之,前中一介,垂直ミラーを用いた周回レーザ発振,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会資料,PHS-12-011,pp. 1-4 (2012. 6)
  7. 7) 宮本亜聖,橋本泰知,牧村賢一,神田健介,藤田孝之,前中一介,ウエハ貼り付け技術を用いたMEMS-ガイガーカウンタの試作,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会資料,PHS-12-013,pp. 1-4 (2012. 6)
  8. 8) 神田健介,永田和幸,山川隆洋,藤田孝之,前中一介,MEMSのための薄膜PZT/PZTバイモルフ,第29回強誘電体応用会議講演予稿集P.51 (2012. 5)
  9. 9) 郝秀春,田中伸哉,中村純,須藤孝一,高尾英邦,樋口行平,神田健介,藤田孝之,前中一介,SON技術を用いた静電容量式絶対圧圧力センサの試作,2012年春期第59回応用物理学関係連合講演会,15p-GP3-17 (2012. 3)
  10. 10) 横松得滋,竹内悠,宮川宜和,伊賀友樹,神田健介,藤田孝之,樋口行平,前中一介,ハニカム構造体を用いた低寄生容量SOIの検討,2012年春期第59回応用物理学関係連合講演会,16p-E3-15 (2012. 3)
  11. 11) 神田健介,明石優,藤田孝之,前中一介,低アスペクト比較構造体のPZT薄膜による側面方向駆動,2012年春期第59回応用物理学関係連合講演会16p-B3-23 (2012. 3)
  12. 12) 藤田孝之,三木省吾,神田健介,前中一介,蒋永剛,上原稔,樋口行平,4インチウエハ上へのNdFeB 磁性薄膜の形成,平成24年電気学会全国大会論文集Vol. 3, p. 210 (2012. 3)
  13. 13) 宮川宜和,横松得滋,竹内悠,神田健介,藤田孝之,樋口行平,前中一介ハニカム絶縁構造を用いた低寄生容量SOIの提案と応用,18th Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in Electronics” (Mate2012), pp. 267-270 (2012. 2)
  14. 14) 宮川宜和,横松得滋,竹内悠,神田健介,藤田孝之,樋口行平,前中一介,ハニカムSOIウエハを用いた加速度センサ,電気学会交通・電気鉄道研究会資料,TER12-007/PHS12-007,pp. 1-5 (2012. 1)
  15. 15) 牧村賢一,橋本泰知,宮本亜聖,笠井一夫,神田健介,藤田孝之,前中一介,MEMSリングレーザジャイロのためのミラー作製,電気学会交通・電気鉄道研究会資料,TER12-006/PHS12-006,pp. 1-4 (2012.1)

2011

  1. 1) 石井雅敏,笠井一夫,樋口行平,神田健介,藤田孝之,前中一介,環状受光部を持つ脈波センサを用いた小型脈拍モニタリングシステム,平成23年度日本人間工学会関西支部大会, pp. 15-16, (2011. 11)
  2. 2) 園田晃司,田中智也,大河内沙也香,Alex Chan,神田健介,樋口行平,藤田孝之,前中一介,張付け型ECGモニタリングシステム,平成23年度日本人間工学会関西支部大会, pp. 13-14, (2011. 10)
  3. 3) 濱田浩幸,塩野祥平,蒋永剛,橋本泰知,笠井一夫,横松得滋,高尾英邦,神田健介,藤田孝之,樋口行平,前中一介,生体適合性を有する柔軟配線材の開発及びその心拍・呼吸センサへの応用,平成23年度日本人間工学会関西支部大会, pp. 11-12, (2011. 11)
  4. 4) 牧村賢一,橋本泰知,宮本亜聖,笠井一夫,神田健介,藤田孝之,前中一介,Optical MEMSを指向した大面積ミラーの試作,平成23年電気関係学会関西支部連合大会 pp.272-273 (2011. 10)
  5. 5) 田中智也,園田晃司,大河内沙也香,Alex Chan,新居学,神田健介,藤田孝之,樋口行平,前中一介,身体貼付け型小型モニタリングシステムを用いたHRV(Heart Rate Variability)の評価,平成23年電気関係学会関西支部連合大会 pp.489-490 (2011. 8)
  6. 6) 小峠竜也,三木省吾,蒋永剛,藤田孝之,上原稔,神田健介,樋口行平,前中一介,電磁エナジーハーベスタのための磁性体微細加工技術,平成23年電気関係学会関西支部連合大会 pp.270-271 (2011. 10)
  7. 7) 宮川宜和,伊賀友樹,横松得滋,竹内悠,神田健介,藤田孝之,前中一介,ハニカム構造を用いた改良型SOIの提案,平成23年電気関係学会関西支部連合大会 pp.274-275 (2011. 8)
  8. 8) 三木省吾,小峠竜也,蒋永剛,藤田孝之,上原稔,樋口行平,前中一介,埋め込みNdFeB膜を用いた電磁エナジーハーベスタ,日本機械学会第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集,MP-18 (DVD-ROM) (2011. 10)
  9. 9) 藤井孝平,藤田孝之,大西斗志一,神田健介,樋口行平,前中一介,共有電極を用いた静電誘導型エネルギハーベスタ,日本機械学会第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集,3-4 (DVD-ROM) (2011. 10)
  10. 10) 齋藤誉司,神田健介,伊賀友樹,樋口行平,前中一介,構造体上での演算機能を有する3軸加速度センサ,第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集,pp. 240-243 (2011. 10)
  11. 11) 園田晃司,田中智也,大河内沙也香*,Alex Chan,神田健介,藤田孝之,樋口行平,前中一介,身体貼付け型ECGリアルタイム計測システム,第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集,pp. 173-176 (2011. 10)
  12. 12) 神田健介,密山京太,藤田孝之,前中一介,石英構造体の機械的特性評価,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会資料,pp. 31-34 (2011. 6)
  13. 13) 石井雅敏,笠井一夫*,樋口行平*,神田健介,藤田孝之,前中一介,超小型脈拍モニタリングシステムを指向した3次元集積脈波センサの試作,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会資料,pp. 5-8 (2011. 6)
  14. 14) 塩野祥平,濱田浩幸*,蒋永剛*,樋口行平,神田健介,藤田孝之,前中一介,P(VDF/TrFE)薄膜を用いた柔軟な心拍・呼吸センサ,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会資料,pp. 1-4 (2011. 6)
  15. 15) 石井雅敏, 笠井一夫*, 樋口行平*, 藤田孝之, 神田健介, 前中一介,脈拍モニタリングシステムの3次元集積化,電気学会全国大会講演論文集, 3-174, p. 237 (2011. 3)
  16. 16) 塩野祥平, 蒋永剛*, 濱田浩幸*, 樋口行平, 藤田孝之, 神田健介, 前中一介,センサ応用のためのP(VDF/TrFE)薄膜の評価,電気学会全国大会講演論文集, 3-172, p. 235 (2011. 3)
  17. 17) 山川隆洋, 永田和幸, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介,圧電振動型加速度センサ用自励発振回路,電気学会全国大会講演論文集, 3-171, p. 234 (2011. 3)
  18. 18) 密山京太, 神田健介, 中村純, 藤田孝之, 前中一介,シリコントレンチ酸化によるSiO2構造体の作製,電気学会全国大会講演論文集, 3-128, p. 181 (2011. 3)
  19. 19) 前家純二,神田健介,藤田孝之,前中一介,振動型3軸MEMSジャイロの試作と初期評価,電気学会交通・電気鉄道研究会資料,pp. 27-30 (2011. 1)
  20. 20) 松木 勇介, 前中 一介, 藤田 孝之, 神田 健介,MEMSガスジャイロとその周辺回路に関する検討,電気学会フィジカルセンサ研究会資料, pp. 1-4, (2011. 1)
  21. 21) 永田和幸,山川隆洋,伊賀友樹*,神田健介,藤田孝之,樋口行平*,前中一介,スパッタPZT薄膜を用いた振動型加速度センサ電気学会フィジカルセンサ研究会資料, pp. 5-8, (2011. 1)

2010

  1. 1) 田中基史,倉本圭,小橋昌司,神田健介,藤田孝之,樋口行平,前中一介,畑 豊,“3次元加速度センサを用いた詳細歩行解析,”第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, pp. 299-302 (2010. 10).
  2. 2) 橋本泰知,牧村賢一,神田健介,藤田孝之,前中一介,“半導体光増幅素子を用いたリングレーザジャイロのウインキング観測,”第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,pp. 353-356,(2010. 10)
  3. 3) 三木省吾,植田浩二,宮川宜和,才木常正,伊賀友樹,神田健介,藤田孝之,樋口行平,前中一介, “スパッタPZT によるボロメータ型赤外線センサ,”第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,pp. 361-364,(2010. 10).
  4. 4) S. Tanaka, K. Maenaka, K. Sonoda, K. Kanda, T. Fujita,K. Kasai, K. Higuchi, “Crystallographic Anisotropic Etching In Rie and Its Application to Through Silicon Via,”第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, LN-2, (2010. 10).
  5. 5) 神田健介, 永田和幸, 伊賀友樹, 藤田孝之, 樋口行平, 前中一介, “多層薄膜スパッタによるPZTバイモルフ,” 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, pp. 204-207, (2010. 10).
  6. 6) 永田和幸,神田健介,伊賀友樹,藤田孝之,樋口行平,前中一介,PZT薄膜を用いた振動型加速度センサに関する基礎研究,電気学会センサマイクロマシン部門総合研究会, PHS-10-018,電気学会フィジカルセンサ研究会資料PHS-10 15-28 pp. 17-21 (2010. 6)
  7. 7) 藤田孝之,植田浩二,才木常正,神田健介,伊賀友樹,三木省吾,樋口行平,前中一介,PZT誘電ボロメータ型温度センサ,電気学会センサマイクロマシン部門総合研究会,PHS-10-017,電気学会フィジカルセンサ研究会資料,PHS-10 15-28,pp. 13-16,(2010.6)

2009

  1. 1) 伊賀友樹,神田健介,藤田孝之,樋口行平,前中一介,スパッタPZT薄膜のMEMSデバイス加工技術,第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,pp. 202-205 (2009. 10).
  2. 2) 永田和幸,伊賀友樹,藤田孝之,前中一介,神田健介,振動型MEMS加速度センサの高Q値振動梁形状の設計と試作,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会,pp. 129-134 (2009. 12)
  3. 3) 神田健介,伊賀友樹,藤田孝之,樋口行平,前中一介,圧電薄膜要素の直列接続によるセンサ出力電圧の増倍,第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,pp. 655-658 (2009. 10).

2008

  1. 1) 神田健介,鈴木孝明,神野伊策,小寺秀俊,質量分布型マイクロミキサー,日本機械学会年次大会講演論文集,Vol. 8,pp. 35-36. (2008. 8)
  2. 2) 瀧野文哉,伊賀友樹,山口晃広,藤田孝之,前中一介,神田健介PZT,圧電薄膜を用いたMEMSジャイロに関する研究,電気学会研究会資料,センサ・マイクロマシン部門フィジカルセンサ研究会,pp. 23-28. (2008. 12)

2007

  1. 1) 神田健介,石川覚志,小川純矢,鈴木孝明,神野伊策,小寺秀俊,外部駆動型マイクロポンプの固有値解析,第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム pp.111-114 (2007.10)
  2. 2) 小川純矢,神野伊策,神田健介,鈴木孝明,小寺秀俊,圧電薄膜を用いた流体搬送機能を有するマイクロチャネルの開発,日本機械学会年次大会講演論文集, Vol.7 pp.291-292 (2007.9)
  3. 3) 小川宏生,神田健介,小方聡,楊 明,マイクロチャンネルにおける流れのナノ粒子濃度に及ぼす影響,日本機械学会年次大会講演論文集, Vol.7 pp.315-316 (2007.9)
  4. 4) 神田健介,石川覚志,小川純矢,鈴木孝明,神野伊策,小寺秀俊,外部駆動型マイクロポンプの共振特性評価,日本機械学会年次大会講演論文集, Vol.7 pp.317-318(2007.9)
  5. 5) 小方聡,小野塚拓也,神田健介,楊 明,エバネッセント光によるマイクロチャネル内希薄高分子水溶液の流動特性の評価,日本機械学会年次大会講演論文集, Vol.2 pp.39-40 (2007.9)
  6. 6) 神宮一斐,神田健介,小方聡,楊 明, ナノ粒子とマイクロチャンネル壁面における相互作用力の検証, 日本機械学会年次大会講演論文集,Vol.2 pp.75-76 (2007. 8)
  7. 7) 神田健介,河野恵子,桑島修一郎,鈴木孝明,神野伊策,小寺秀俊,誘電エラストマーポンプ一体型微小分析システム,日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会論文集, pp.4-6 (2007.3)
  8. 8) 神宮一斐,神田健介,小方聡,楊 明,マイクロチャンネル壁面近傍における微粒子運動の評価,日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会論文集, pp.92-93 (2007.3)

2006

  1. 1) 神田健介,赤堀直哉,神宮一斐,楊 明エバネッセント光を用いた壁面近傍における3次元的微粒子運動計測,日本機械学会年次大会講演論文集,Vol.6-1, pp.309-310 (2006.9)
  2. 2) 神宮一斐,神田健介,楊 明,マイクロチャンネル壁面近傍における微粒子運動の評価,日本機械学会2006年度年次大会講演論文集,Vol.2, pp.287-288 (2006.9)

2005

  1. 1) 神田健介,小方聡,楊 明,エバネッセント光を用いた壁面近傍の流速分布測定, 第83期日本機械学会流体工学部門講演会論文集,p.36 (2005.11)
  2. 2) 神田健介,楊 明,マイクロチャンネル内流れにおける壁面近傍の微粒子運動の評価,日本機械学会2005年度年次大会講演論文集,Vol.7, pp.133-134 (2005.10)
  3. 3) 小方聡,神田健介,楊 明,希薄高分子水溶液の壁面極近傍の速度分布測定に関する研究,日本機械学会2005年度年次大会講演論文集,Vol.2, pp.25-26(2005.10)
  4. 4) 清野信子,篠田正紀,友高正嗣,神田健介,山口理知,石井洋平,楊 明, 生化学分析用デフューザマイクロポンプデバイス, 日本機械学会関東支部第11期講演会講演論文集,pp.299-300 (2005.3)
  5. 5) 岡元亮仁,齋藤弘己,伊藤国吉,神田健介,楊 明,金属材料マイクロポンプの創製と評価に関する研究,日本機械学会関東支部第11期講演会講演論文集,pp.297-298 (2005.3)

2004

  1. 1) 神田健介,楊 明,生体高分子を含むマイクロ流れに壁面が及ぼす影響,日本機械学会2004年度年次大会講演論文集,Vol.2,pp.99-100 (2004.9)
  2. 2) 山口理知,小沢知之,神田健介,楊 明,清野信子,篠田正紀,マイクロデフューザポンプの高効率化,日本機械学会2004年度年次大会講演論文集,Vol.2 pp.107-108 (2004.9)
  3. 3) 清野信子,篠田正紀,神田健介,小沢知之,山口理知,楊 明,バルブレスデフューザマイクロポンプデバイス,日本機械学会2004年度年次大会講演論文集,Vol.2,pp.105-106 (2004.9)
  4. 4) 神田健介,田内久真,楊 明,エバネッセント光を用いたマイクロ流れの可視化に関する研究,可視化情報学会可視化情報シンポジウム講演論文集,Vol.1,pp.29-30 (2004.6)
  5. 5) 神田健介,楊 明,壁面が生体流れに及ぼす影響(AFMを用いたせん断力測定),日本機械学会関東支部第10期講演会講演論文集,pp.335-336 (2004.3)
  6. 6) 清野信子,篠田正紀,神田健介,小沢知之,山口理知,楊 明,ミキサ一体型バルブレスマイクロポンプデバイス,日本機械学会関東支部第10期講演会講演論文集,pp.319-320 (2004.3)

2003

  1. 1) 神田健介,楊 明,はっ水性壁面が生体流体のマイクロ流れに及ぼす影響,日本機械学会2003年度年次大会講演論文集,Vol.2, pp.233-234 (2003.9)
  2. 2) 神田健介,楊 明,マイクロチャンネル中における生体流体の特性評価,第52回理論応用力学講演会論文集,pp.431-432 (2003.3))

2002

  1. 1) 神田健介,楊 明,マイクロチャンネル内の生体流体の挙動に関する研究2002年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集,p332 (2002.9)

その他

  1. Yano Eplus 2022年7月号 紹介記事pp.63-68 (2022):矢野経済研究所
  2. 神田健介,"IoT社会のキーテクノロジー:MEMS",応用物理学会関西支部リフレッシュ理科教室(2021年11月6日,島津製作所基盤技術研究所)
  3. 神田健介,笹川清隆,福岡寛,井原正博,"リフレッシュ理科教室―現代テクノロジー講座―" (2019.11.17, 島津製作所関西支社マルチホール)
  4. 神田健介,"巻頭言:機能性材料を用いたセンサ・マイクロマシン", 電気学会論文誌E,139 巻 11 号 p. 368 (2019)
  5. 神田健介,"人の触覚刺激が可能なIoTデバイス",全学交流会(2019.8.1 姫路工学キャンパス)
  6. 神田健介,"フル圧電MEMSによる流体を介した振動発電"JST戦略的創造研究推進事業「微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出」CREST・さきがけ複合領域公開シンポジウム"環境発電を作ってみよう",デモ展示D5(2018.11.7早稲田大学西早稲田キャンパス)
  7. 神田健介,圧電MEMSデバイス調査専門委員会MPWの紹介,電気学会マグネティックス,光・量子デバイス,フィジカルセンサ,マイクロマシン・センサシステム,バイオ・マイクロシステム合同研究会,(2017.12.14,じばさんビル)
  8. 神野伊策,神田健介,吉村武,村上修一,石田謙司,非鉛圧電薄膜材料を用いたMEMS振動発電素子,J4-11,JSTフェア2017,(2017.8.31-9.1,東京ビッグサイト)
  9. 神田健介,山下馨,寒川雅之,圧電MEMSデバイス調査専門委員会,平成29年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会,調査専門委員会プレゼンテーション(2017,6,29)
  10. M. Tsukiyama, S. Toda, R. Fujita, K. Kanda, T. Fujita, and K. Maenaka, "Interconnection between Stretchable Wiring and Integrated Circuit Using Magnetic Attractive Force," The 6th International Symposium in Computational Medical and Health Technology, (2016)
  11. R. Fujita, S. Toda, M. Tsukiyama, K. Kanda, T. Fujita, and K. Maenaka, "Wearable Pulse Sensing System with P(VDF/TrFE) Piezoelectric Film for Health Management," The 6th International Symposium in Computational Medical and Health Technology, (2016)
  12. 神田健介,E部門information:圧電MEMSデバイス調査専門委員会 活動紹介,電気学会誌,Vol. 136, No. 7, p. 502 (2016).
  13. 神田健介,山下馨,寒川雅之,圧電MEMSデバイス調査専門委員会,平成28年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会,調査専門委員会プレゼンテーション(2016,6,29)
  14. 神田健介,圧電MEMSとPZT薄膜・厚膜マルチチップサービス,平成28年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会,調査専門委員会講演(2016,6,30)
  15. MEMS応用研究グループ(前中・藤田・神田研究室),SS32-eMap-48,い〜まっぷ@第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  16. S. Toda, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, "Cohesive Magnetic-Powder for Stretchable Wiring," The fifth International Symposium on Himeji Initiative in Computational Medical and Health Technology, (2015. 9. 8)
  17. 神田健介,"電気学会E部門発足20周年特集〜未来に向けて(若手研究者の夢)〜:圧電PZT薄膜のMEMS融合",電気学会論文集E,Vol. 135, No. 8, NL8_2 (2015)
  18. 陳健,横松得滋,神田健介,藤田孝之,前中一介,兵庫県立大学知の交流シンポジウム
  19. K. Yamaguchi, T. Fujita, Y. Tanaka, K. Yamamoto, K. Sonoda, K. Kanda, K. Maenaka, Electromagnetic Energy Harvester by Damped Vibration of Impulse Shock, The forth International Symposium in Computational Medical and Health Technology, S2-3 (Taipei, Taiwan, Sep. 21-22 2014)
  20. 井上純一,田中祐至,松本裕貴,(エディタ)神田健介,学生のページ"X線自由電子レーザSACLA",IEEJ Journal, Vol. 134, No. 12, pp. 836-839 2014 ※電気学会学生のページ(2014年7月29日 取材引率)
  21. 神田健介,東北大学金属材料研究所 関西センター Webpage コーヒーブレイク執筆
  22. 神田健介,MEMS Engineering Forum 2014 アカデミック展示「圧電PZT薄膜のMEMS融合」2014年4月24・25日@KFCホール
  23. S. Aoki, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka,Fabrication of Glass Nanotube for Injection Systems, The third International Symposium on Himeji Initiative in Computational Medical and Health Technology, pp. 31-34, Sep. 26-27, 2013, じばさんビル,姫路
  24. 神田健介,圧電PZT薄膜の微細加工とMEMSへの応用技術、M-42 イノベーションジャパン2013,2013年8月29-30日,東京ビッグサイト
  25. 神田健介,人体活動モニタリングシステムのためのPZT-MEMS, 次世代センサ Vol. 23 No. 1, pp. 10-13 (2013)
  26. 橋本泰知,牧村賢一,宮本亜聖,神田健介,藤田孝之,前中一介,「MEMS技術を用いたリングレーザジャイロを目指して」(ELEX Best Paper Award受賞記),電気情報通信学会エレクトロニクスソサイエティNews letter, Vol. 150, pp. 13-14 (2012)
  27. 宮本亜聖,橋本泰知,牧村賢一,神田健介,藤田孝之,前中一介,ウエハ貼付技術を用いたMEMSガイガーカウンタの試作,兵庫県立大学シンポジウム,2012年9月24日,イーグレ姫路
  28. K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka, Human Activity Monitoring System by MEMS Sensing Fusion, Kickoff Symposium on Himeji Initiative in Computational Medical and Health Technology 2011, 4 pages, 2011.11.1, Himeji Shosha campus, University of Hyogo
  29. 神田健介,国際会議報告9th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (Power MEMS 2009) 報告,電気学会論文誌E, Vol.130-E, No.5, p.210 (2010)
  30. 神田健介,生体活動モニタリング用センサデバイス及びシステム,兵庫県立大学新技術説明会,2010年12月16日,科学技術振興機構JSTホール
  31. 神田健介,圧電薄膜のMEMS応用,兵庫県立大シンポジウム, 2010年9月27日イーグレ姫路

特許

  1. “液体の攪拌方法、カートリッジ、およびこれを用いた液体処理装置”神田健介,小寺秀俊,鈴木孝明,野田雄一郎,特許4980465 国際出願PCT/JP2009/056932 国際公開WO2009/119918 A2(出願日:平成21年3月27日)
  2. “慣性センサ及びその製造方法”神田健介,伊賀友樹,前中一介,特願2010-088643 特開2011-220765(出願日:平成22年4月23日)
  3. “センサ用構造体、容量式センサ、圧電式センサ、容量式アクチュエータ、及び、圧電式アクチュエータ”神田健介,密山京太,中村純,樋口行平,前中一介,特願2011-42937 特開2012-181050(出願日:平成23年2月28日)
  4. "圧電センサ" 神田健介,前中一介,特許第6699830号 特願2016-065610(出願日:平成28年3月29日)
  5. "光走査装置およびその駆動方法" 神田健介,梶山佳敬,特許第6960889号 特願2018-142320(出願日:平成30年7月30日)