Batch-Microfabrication DeviceFabrication

やっていること

圧電薄膜とシリコンベースの微細加工技術を融合したMEMSに関する研究開発を行っています。IoT社会においてキーテクノロジーとなるエナジーハーベスタ,自動運転向けのMEMSミラー,ウェアラブルシステム向けの人に触覚刺激を与えて情報をやり取りする触覚デバイスなど,デバイス開発も行っています。エナジーハーベスタでは,JST CRESTによる補助を受け,センサ向け電源を環境中の機械振動によって賄う素子の高出力化を行っており,多層膜によって単体素子としてはほぼ理論限界となる最高水準の出力電力密度を得ることに成功しています。よりアプリケーションに即したシステムとなるための検討を行い,電池のない,完全に独立動作可能なセンサシステムの実現を目指しています。


配属を考えている学生さんへ

研究室生活は社会に出る前の最後の学生生活です。エンジニアや研究者,社会人になる前の予行演習として,悔いの無いように学生生活・研究室生活楽しみましょう。この研究室では膨大な設備を保有し,モノづくり(MEMS)に関しては国内屈指の充実度を誇ります。設備を使いこなし,アイデアを形にし,ものづくりの楽しさを味わいたいという学生さんには最適な研究室です。なお,ものづくりを行うにあたって,研究室の先輩や後輩,教員とのコミュニケーションは非常に重要です。一人で研究を行える研究室ではないことを覚悟しておいてください。教員を含めた研究室のリソースを使い倒して最後の学生生活を満喫しましょう。それから,先輩の研究は多くが(修士の研究はほとんど)学術論文として国内外の学術誌に採択されており,学生さんが一生懸命やった仕事が世間に残ることも重視しています。