JSPS科研費

• “表面近傍における生体物質の三次元・直接追跡，”神田健介(代表)，JSPS科学研究費補助金 若手研究B 20760113 2008〜2009年度　
• “PZT/PZT薄膜バイモルフ構造の評価と応用”，神田健介(代表)，JSPS科学研究費補助金　若手研究B 23760233 2011〜2012年度
• “圧電PZT薄膜の超多層積層成膜およびMEMSデバイスへの応用”,神田健介(代表)，JSPS科学研究費補助金 基盤研究C 26420204 2014〜2016年度
• “圧電薄膜によるMEMSハプティックデバイスの創製”，神田健介(代表) JSPS科学研究費補助金　基盤研究C 17K06269 2017〜2019年度
• “微細加工技術を利用したナノピラー型マルチフェロイック複合体材料の開発”，小舟正文（分担）JSPS科研費補助金基盤研究B　18H01724 2018〜2020年度
• "圧覚・振動覚・温冷覚を包含したマイクロ触覚センサチップの開発"，寒川雅之（分担）JSPS科学研究費補助金基盤研究C　19K04290 2019〜2021年度
• “圧電/磁性体薄膜の融合による広帯域MEMS振動発電素子”，神田健介（代表），JSPS科学研究費補助金基盤研究B　20H02120　2020〜2024年度
• "ヒト受容器の周波数・空間特性を再現した機械刺激・温冷複合マイクロ触覚センサチップ", 寒川雅之（分担）JSPS科学研究費補助金基盤研究B　22H01442　2022〜2025年度

JST

• "分極制御非鉛圧電薄膜による高効率MEMS振動発電素子の創製"神野伊策(主たる共同研究者），"高出力圧電エナジーハーベスタの開発"（分担テーマ）平成28−31年度JST CREST「微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出」領域，JPMJCR16Q4

その他助成金等

• “圧電薄膜のMEMS融合に関する研究”, 神田健介(代表) 平成25年度公立大学法人兵庫県立大学特別研究助成金 若手研究者支援
• “大発生力圧電薄膜を用いた“人”にアピール可能なマイクロデバイス”，神田健介（代表）2015年度兵庫県立大学科学技術後援財団教育研究助成
• "トップダウン+ボトムアップ手法による反応表面積拡大構造の実現", 前中一介(分担)，平成26年度公立大学法人兵庫県立大学特別研究助成金　先導的プロジェクト研究
• “圧電縦効果を利用したMEMSデバイス設計に関する研究”, 神田健介(代表) 平成29年度公立大学法人兵庫県立大学特別研究助成金 若手研究者支援
• “多層圧電薄膜を用いた高出力エナジーハーベスタの開発と自立センサシステム開発”，神田健介（代表）平成30年度公立大学法人兵庫県立大学特別研究助成金 若手研究者支援
• “圧電MEMSを用いた浮遊センサ実現のためのフィージビリティスタディ”，神田健介（代表）2020年度ひょうご科学技術協会学術助成