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兵庫県立大学 工学部・大学院工学研究科 University of Hyogo SCHOOL OF ENGINEERING & GRADUATE SCHOOL OF ENGINEERING

放射光工学分野

放射光工学分野の概要

放射光工学分野では、高度産業科学技術研究所とNewSUBARU施設を拠点とし、「光をつくる、光でみる、光でつくる」ための科学と工学を体系的に学びます。

兵庫県立大学が運営する国内大学最大の放射光施設NewSUBARUを基盤に、高輝度放射光を自在に生み出す加速器科学から、X線を利用した先端材料分析、極端紫外光(EUV)を利用した半導体微細加工技術まで、放射光を軸とした幅広い領域を網羅しています。

加速器科学では、電子ビーム物理や光源技術を実験的に修得し、放射光を生み出す仕組みへの深い理解を育てます。材料分析では、電池材料・水素関連材料・半導体デバイスなどを対象に、X線吸収分光や顕微鏡計測を通してナノスケールの構造や電子状態を解明します。さらに、EUV リソグラフィー研究では、次世代半導体製造に不可欠な露光技術やレジスト材料評価に取り組み、産業応用に直結する実践的な経験を積むことができます。

これらの学びを通して、放射光を活用した新技術創出に貢献し、材料・エネルギー・半導体分野で活躍できる研究者・技術者を育成します。

  • 国内大学最大のニュースバル電子蓄積リングでは、電子ビームをほぼ光速まで加速し、長時間にわたって蓄積します。高エネルギー電子ビームからは、非常に強力なシンクロトロン放射光が発生します。
  • 高強度のEUVで励起した水素プラズマ。EUVリソグラフィー用の半導体原板の耐久性テスト中です。
  • ニュースバルのビームラインの一部。EUV反射率計、耐久性評価装置、分光実験装置などが所狭しと並んでいます。
  • 放射光を光源とした顕微鏡で見た、鉄表面の磁石の向き。