博士論文 修士論文 卒業論文

博士論文

• 2019 (H31) Koki Yamamoto ： MEMS bistable generator to power sensors for energy efficient building and building management（仏グルノーブル大COMMUNAUTÉ UNIVERSITÉ GRENOBLE ALPES, Doctorat Sciences Pour l'Ingénieur）
• 2015 (H27) 園田　晃司 ： バイポーラ荷電を用いた振動式静電型エナジーハーベスタに関する研究
• 2012 (H24) 橋本　泰知 ： ウインキング現象を利用したMEMSリングレーザジャイロに関する研究
• 2006 (H18) 井奥　　淳 ： 振動型MEMSジャイロの設計手法に関する研究
• 2003 (H15) 景　　玉鵬 ： A Study of Additives Effect on Silicon Anisotropic Etching
• 2000 (H12) 藤田　孝之 ： マイクロマシニングによるジャイロスコープとその集積化に関する研究

修士論文

• 2023 ( R5) 岩成　　優 ： 結晶異方性ドライエッチングを用いた振動方向変換機構とその応用
• 2023 ( R5) 田中　雄樹 ： MEMS飛翔デバイスの翼形状制御
• 2023 ( R5) 種村　　晃 ： 直方体バルク水晶ジャイロに関する研究
• 2022 ( R4) 河村　采歌 ： 圧電MEMS触覚デバイスのための設計指針
• 2022 ( R4) 横田　隆人 ： 振動型圧電MEMSエナジーハーベスタの応力制御と高出力化
• 2021 ( R3) 安達　佳孝 ： MEMS振動子の共振構造に関する研究
• 2021 ( R3) 嶋田倫太郎 ： 圧電型2次元MEMSミラーとそのシステム化
• 2021 ( R3) 武田　光平 ： NdFeB薄膜磁石を用いた振動変向機構付き圧電型MEMSエナジーハーベスタ
• 2020 ( R2) 饗庭　　岳 ： 気体流れを用いた振動型圧電MEMSエナジーハーベスタ
• 2020 ( R2) 近藤　真衣 ： 高引裂き強度を持つ柔軟ひずみゲージとその応用
• 2020 ( R2) 田中　勇輝 ： 水晶バルクジャイロに関する研究
• 2020 ( R2) 藤本　　匠 ： 磁界を媒介としたMEMS振動型ワイヤレス電力伝送のための非線形構造
• 2019 (H31) 牛田　大樹 ： 無指向性加速度センサに関する研究
• 2019 (H31) 内田　大樹 ： 静電型エナジーハーベスタの狭ギャップ化による出力向上
• 2019 (H31) 北田　友嗣 ： 低消費電力モノリシックバイタルモニタ集積回路
• 2019 (H31) 髙原　光將 ： 変位モニタリング可能な圧電MEMS触覚提示デバイス
• 2019 (H31) 中西　亮介 ： NdFeBエナジーハーベスタ挟ギャップ化のための磁性体形状と物性評価
• 2019 (H31) 平井　翔太 ： 振動型圧電MEMSエナジーハーベスタの最適設計と高出力化
• 2019 (H31) 福永　彬人 ： 振動型エナジーハーベスタへのNdFeB薄膜磁石応用と発電解析
• 2019 (H31) 本郷　裕之 ： MEMS共振型多軸磁気センサ
• 2018 (H30) 月山　元貴 ： 加速度センサと磁気センサのモノリシック融合
• 2018 (H30) 寺岡　　甫 ： ウェアラブルデバイスのための振動型エナジーハーベスタ
• 2018 (H30) 遠山　　蒼 ： 多層PZTと樹脂の積層構造によるMEMS触覚提示デバイス
• 2018 (H30) 藤田　亮介 ： 生体表面変位を検出する柔軟センサとその応用
• 2017 (H29) 廣田　朝地 ： モノリシック集積を指向したSiGe加速度センサ
• 2017 (H29) 吉井　真一 ： 両面NdFeB薄膜磁石を用いた電磁誘導式エナジーハーベスタ
• 2017 (H29) 藤原　　潤 ： 低消費電力バイタルモニタのためのミックスト・シグナル集積回路
• 2016 (H28) 大久保　昂 ： PZT薄膜と樹脂の積層構造による圧電MEMSハプティックデバイス
• 2016 (H28) 戸田　慎也 ： 磁性粉末を用いたフレキシブル配線
• 2016 (H28) 中本　翔満 ： PZT薄膜の多層成膜による超音波トランスデューサ―
• 2016 (H28) 三輪谷直輝 ： 倍密度対向電極を用いた静電型エナジーハ―ベスタのセンサシステム応用
• 2015 (H27) 佐野　　良 ： スタンダードPZTMEMSプロセスの積層化に関する研究
• 2015 (H27) 森上　慎悟 ： 3次元圧電MEMSのためのPZT薄膜のスパッタ成膜・加工及び特性評価
• 2015 (H27) 陳　　　健 ： SON構造体とその圧力センサへの応用
• 2015 (H27) 南　　啓大 ： 静電型エナジーハーベスタのSPICE等価回路と対向電極高密度化による高出化
• 2015 (H27) 山本　弘貴 ： 振動型エナジーハーベスタのための弓なり型非線形座屈構造
• 2015 (H27) 山口　晃平 ： 薄膜NdFeB電磁誘導式MEMS エナジーハーベスタ
• 2014 (H26) 田中　祐至 ： コルゲート形状NdFeB振動型電磁式エナジーハーベスタ
• 2014 (H26) 松田　貴文 ： 絆創膏型人体情報モニタリングシステムに関する研究
• 2014 (H26) 松本　裕貴 ： 低電力バイタルモニタリングシステムのための心拍抽出ASIC
• 2014 (H26) 池田　　玲 ： 生体信号ロギングシステムとその低消費電力化に向けたMEMSセンサ
• 2014 (H26) 井上　純一 ： MEMS応用のための多層スパッタリングPZT薄膜に関する研究
• 2013 (H25) 青木　俊介 ： マイクロインジェクションシステム用ガラスナノチューブの作製
• 2013 (H25) 大西斗志一 ： バイポーラ荷電手法を用いた静電型エナジーハーベスタ
• 2013 (H25) 狩野　公秀 ： 環状光デバイスとミックスドシグナルSoCを用いたSpO2計測システム
• 2013 (H25) 小峠　竜也 ： 電磁型エナジーハーベスタのための交互磁化マイクロ磁石アレイ
• 2013 (H25) 宮本　亜聖 ： MEMS技術を用いたガイガーカウンタの作製とその評価
• 2012 (H24) 田中　智也 ： 低電力身体モニタリングシステムのための特徴量抽出デジタルASIC
• 2012 (H24) 藤井　孝平 ： 振動型静電式エナジーハーベスタのプルイン抑制による高出力化
• 2012 (H24) 牧村　賢一 ： MEMS-RLGを指向したシリコンミラーの形成と評価
• 2012 (H24) 宮川　宜和 ： 低寄生容量SOIウエハの提案と加速度センサへの応用
• 2011 (H23) 石井　雅敏 ： 環状受光部を持つ光電型小型脈波センサ
• 2011 (H23) 塩野　祥平 ： 生体適合性に優れた柔軟配線材の開発とP(VDF/TrFE)を用いた心拍・呼吸センサへの応用
• 2011 (H23) 田中　伸哉 ： 高機能MEMSセンサのためのシリコン3次元中空構造および貫通配線
• 2011 (H23) 三木　省吾 ： 埋め込みNdFeBを用いた振動型電磁エナジーハーベスタ
• 2010 (H22) 豊永　智彦 ： エレクトレットを用いた振動型マイクロパワーハーベスタ
• 2010 (H22) 永田　和幸 ： スパッタPZT薄膜を用いた振動型MEMS加速度センサ
• 2010 (H22) 前家　純二 ： 直交音叉振動による3軸MEMSジャイロ
• 2010 (H22) 松木　勇介 ： シリコンガスレートジャイロ
• 2009 (H21) 伊賀　友樹 ： PZT薄膜の微細加工とMEMSデバイスへの応用
• 2009 (H21) 高　　崇裕 ： 振動型3軸MEMSジャイロ
• 2009 (H21) 園田　晃司 ： MEMSセンサ用ASICとその実装技術に関する研究
• 2009 (H21) 永谷　吉祥 ： Holed-PSDを用いたMEMSミラー制御システム
• 2009 (H21) 前川　賢太 ： 圧電ジャイロとその駆動システムに関する研究
• 2008 (H20) 鈴木　文章 ： 輸送環境モニタリングシステムとそのセンシング要素に関する研究
• 2008 (H20) 高瀬　　誠 ： MEMSガスジャイロの検出機構に関する研究
• 2008 (H20) 瀧野　文哉 ： ゾルゲル法による薄膜PZTのMEMSデバイスへの応用
• 2008 (H20) 田口　正敏 ： DMD露光によるMEMS-Lastプロセス
• 2008 (H20) 田中　佳人 ： バルクPZTジャイロとその制御回路
• 2008 (H20) 橋本　泰知 ： MEMSジャイロを指向した半導体レーザ外部共振光回路
• 2007 (H19) 岡田　宏紀 ： 振動型加速度センサとデジタル検出システムに関する研究
• 2007 (H19) 龍井　良明 ： ポンプとホットワイヤを一体化したMEMSガスレートジャイロに関する研究
• 2007 (H19) 橋野　義弘 ： 2次元MEMSミラーの制御システムとその小型化に関する研究
• 2006 (H18) 金山　陽平 ： 入力電力不等分配マイクロ波ドハティ電力増幅器の研究
• 2006 (H18) 小原　弘士 ： バルクPZTジャイロに関する研究
• 2006 (H18) 中道　　傑 ： シリコンへの直接金電解めっきとその応用に関する研究
• 2006 (H18) 福本　洋祐 ： マルチ環境センサおよびそのCMOSインターフェイス回路に関する研究
• 2006 (H18) 三木　芳彦 ： 振動形加速度センサの多軸感度低減と周辺回路に関する研究
• 2006 (H18) 吉田　憲弘 ： 大変位MEMSミラーとその制御システムに関する研究
• 2006 (H18) 渡邊　一嗣 ： マイクロ波電力増幅器の低周波及び高調波制御による相互変調ひずみ改善
• 2005 (H17) 荒木　英之 ： ガスレートセンサに関する研究
• 2005 (H17) 内田　浩司 ： マイクロ波マルチバンド電力増幅器に関する研究
• 2005 (H17) 岡本　吉矢 ： 表面MEMSの基礎技術と強誘電体PZT薄膜との融合
• 2005 (H17) 小野　健一 ： マイクロ波デュアルバンドGaAs FET発振器に関する研究
• 2004 (H16) 島本　延亮 ： 表面MEMSの基礎技術とその応用
• 2004 (H16) 原田　哲治 ： マイクロ波Si MOSFETドハティ電力増幅器に関する研究
• 2003 (H15) 青田　一仁 ： マイクロ波高出力Si MOSFETのモデリングに関する研究
• 2003 (H15) 上田　英喜 ： MEMS技術を用いた光学素子に関する研究
• 2003 (H15) 大谷　稔彦 ： マイクロマルチセンシングシステムに関する研究
• 2003 (H15) 澤井　信博 ： 振動型慣性センサとそのインターフェースに関する研究
• 2003 (H15) 下山　尚保 ： エポキシ系樹脂を用いた電磁駆動型マイクロミラーに関する研究
• 2003 (H15) 高木　　優 ： RF-MEMSスイッチに関する研究
• 2002 (H14) 岩本　俊介 ： 振動型加速度センサとその検出システムに関する研究
• 2002 (H14) 牛尾　浩司 ： MEMSデバイスを指向したバルクPZTの接合・加工技術
• 2002 (H14) 八幡　直樹 ： マイクロコイルの試作とその電力伝送への応用
• 2001 (H13) 足森　洋平 ： 円筒状振動型ジャイロとそのシステム化に関する研究
• 2000 (H12) 井奥　　淳 ： 熱型アクチュエータに関する研究
• 2000 (H12) 岡田　　茂 ： SOIを用いた振動構造に関する研究
• 2000 (H12) 縄手　優克 ： 加速度センサとその分解能向上に関する研究
• 2000 (H12) 山本　明弘 ： 集積回路技術によるモノリシック磁気センサ
• 1999 (H11) 池田　英広 ： メッキ構造体によるマイクロ光学ミラー
• 1999 (H11) 大槻　良輔 ： 赤外線による声道形状検出に基づく母音と撥音の分離に関する研究
• 1999 (H11) 岡本　和人 ： 微小信号検出のためのASICに関する研究
• 1999 (H11) 景　　玉鵬 ： マイクロガスセンサに関する研究
• 1999 (H11) 村岡　隆正 ： 表面マイクロマシニング技術の基礎評価と慣性センサへの応用
• 1999 (H11) 村主　　誠 ： 数値解析手法に基づく高周波増幅回路の解析法
• 1998 (H10) 徳永　理人 ： SOIメンブレンによるマイクロジャイロに関する研究
• 1998 (H10) 宮崎　英樹 ： マイクロ光学スキャナとその多軸化に関する研究
• 1997 (H9) 藤原　誠司 ： 高周波用電力増幅器の効率に関する研究
• 1996 (H8) 秦　　克範 ： 高周波FETにおけるゲート構造のモデリングに関する研究
• 1996 (H8) 馬場　　一 ： 磁界を媒体としたポジションセンシングシステムとその小型化に関する研究
• 1996 (H8) 藤田　孝之 ： マイクロマシニングによるジャイロスコープとその集積化に関する研究
• 1995 (H7) 大谷　武志 ： シリコンマイクロマシニングを用いたアクチュエータに関する研究
• 1995 (H7) 小西　保司 ： マイクロマシニングを用いたシリコンジャイロスコープに関する研究
• 1995 (H7) 清水　雄一郎 ： 多次元磁気センサを用いたポジションセンシングに関する研究

卒業論文

• 2023 ( R5) 黒木　空翔 ： 低周波交流磁界を用いた無線電力伝送
• 2023 ( R5) 重松　　慶 ： 通電過熱を用いたSON構造体に関する研究
• 2023 ( R5) 山本　翔太 ： 残留応力をもつpMUTの性能に関する研究
• 2023 ( R5) 吉原　大智 ： 圧電エナジーハーベスタの二軸化構造に関する研究
• 2022 ( R4) 赤松　儀優 ： MEMS構造における非線形周波数応答の簡易的予測
• 2022 ( R4) 大田恵冶郎 ： SON(Silicon On Nothing)構造体形成プロセスに関する研究
• 2022 ( R4) 志水　駿文 ： リード型MEMS振動発電素子の特性評価
• 2022 ( R4) 玉田　晃大 ： MOS-FETを用いたひずみゲージに関する基礎研究
• 2022 ( R4) 成田　裕樹 ： 圧電雨滴ハーベスタの性能向上に関する研究
• 2022 ( R4) 野村　明弘 ： バタフライ型圧電振動ハーベスタに関する研究
• 2022 ( R4) 𠮷田　智郎 ： Cr膜を用いたMEMS構造の反り改善と制御
• 2021 ( R3) 岩成　　優 ： MEMS組み込みを指向した全固体薄膜バッテリに関する研究
• 2021 ( R3) 内海　潮音 ： 熱電ハーベスタによる Sigfox-BLE ブリッジ の提案
• 2021 ( R3) 遠藤　佑輔 ： 柔軟センサと BLE 技術による医療見守りシステム
• 2021 ( R3) 桒田　光均 ： 雨滴で発電する圧電MEMSエナジーハーベスタ
• 2021 ( R3) 高尾　拓矢 ： 柔軟材料による心電測定用電極の試作と評価
• 2021 ( R3) 高嶋　優快 ： ミキサ食用ワイヤレス粘度測定器
• 2021 ( R3) 田中　雄樹 ： 圧電MEMS浮遊デバイスに関する基礎検討
• 2021 ( R3) 種村　 晃 ： 三角水晶ジャイロの節点支持が特性に及ぼす影響
• 2021 ( R3) 寺田誠志郎 ： 樹脂/PZT積層はりによるMEMSトリガデバイス
• 2021 ( R3) 室井　大和 ： 振動型ハーベスタのための磁石アレイを用いた周波数アップコンバータ
• 2020 ( R2) 荒木　蓮翔 ： 圧電型MEMSミラーアクチュエータに関する研究
• 2020 ( R2) 河村　采歌 ： 多端支持構造を持つ圧電MEMS触覚デバイス
• 2020 ( R2) 小沼　貴央 ： SrRuO3を内部電極に持つ多層PZT薄膜とその特性
• 2020 ( R2) 佐古田悠輝 ： 低背対向電極による低寄生容量静電エナジーハーベスタ
• 2020 ( R2) 七里 　愛 ： Si基板上における強磁性NdFeBと強誘電性PZTのヘテロ集積
• 2020 ( R2) 松本　和馬 ： 低寄生容量CdSフォトカプラによるリアルタイム負荷特性評価システム
• 2020 ( R2) 宮永　正貴 ： 三角柱水晶ジャイロの形状設計に関する研究
• 2020 ( R2) 山中　拓己 ： 近接センサを用いた要介護児支援IoTシステムの構築
• 2020 ( R2) 山本　達也 ： 柔軟なIoT容量センサを用いた医療チューブ自己抜去モニタリング
• 2020 ( R2) 横田　隆人 ： タイヤ振動で発電する圧電MEMSデバイス
• 2019 (H31) 安達　佳孝 ： 弱結合ばねをもつ振動子に関する研究
• 2019 (H31) インタン ファルハナ ビンティ モハマド ロザ ： A Study of Nonlinear Spring Structure with NdFeB Magnetic Film for Vibration Energy Harvester
• 2019 (H31) 嶋田倫太郎 ： 内視鏡治療のための小型圧電 MEMS ミラー
• 2019 (H31) 杉野　裕輝 ： NdFeB 薄膜磁石の磁気反発力を用いた振動変向機構
• 2019 (H31) 関山　賢太 ： 1 次元配列触覚提示デバイスの性能改善に関する研究
• 2019 (H31) 武田　光平 ： 無指向性を目指した圧電式 MEMS エナジーハーベスタの設計
• 2019 (H31) 土田　裕貴 ： 柔軟材料によるセンシング機構に関する基礎研究
• 2019 (H31) 満田　直仁 ： 触覚提示デバイス評価のためのヒトの触覚の定量化
• 2019 (H31) 藤邊　康平 ： CdSフォトカプラを用いた容量出力型エナジーハーベスタ自動評価システム
• 2019 (H31) 山田　大輔 ： 三相交流出力を目指した静電型エナジーハーベスタ
• 2019 (H31) 横山　万緒 ： 高感度バイメタル型光ファイバ温度センサ
• 2018 (H30) 木村　　慧 ： 放射線治療のための線量計測用MEMSガンマ線センサの基礎研究
• 2018 (H30) 近藤　真衣 ： 柔軟材料によるウェアラブルデバイス用ナノカーボン電極
• 2018 (H30) 藤本　　匠 ： NdFeB薄膜磁石と磁界による振動型ワイヤレス電力伝送
• 2018 (H30) 水谷　友哉 ： 低電力バイタルモニタリングシステムのためのアナログ・デジタルフロントエンド
• 2018 (H30) 岸 　瑛太 ： BLE通信による生体モニタリングデバイスの低消費電力化
• 2018 (H30) 田中　勇輝 ： αクォーツを用いた三角柱圧電バルクジャイロ
• 2018 (H30) 饗庭　　岳 ： 直列接続された多層PZT薄膜アレイによるエナジーハーベスタ
• 2018 (H30) ハズワニ ビンティ　モハマド ナシル ： MEMS 1D-Arrayed Tactile Display based on Thin Film Polymer/PZT Structure
• 2017 (H29) 内田　大樹 ： 両面対称構造を用いたプルインフリー静電型エナジーハーベスタ
• 2017 (H29) 江籠　徳行 ： 柔軟センサによる脈波検出とその血圧推定への応
• 2017 (H29) 北田　友嗣 ： 集積型MEMS加速度センサのためのアナログフロントエンド
• 2017 (H29) 髙原　光將 ： センサ付き圧電MEMS触覚提示デバイス
• 2017 (H29) 中西　亮介 ： 櫛歯型中間電極による高効率圧電縦効果に関する研
• 2017 (H29) 平井　翔太 ： 多層PZT薄膜による圧電エナジーハーベスタ試作
• 2017 (H29) 福永　彬人 ： TPMSのための面外振動型エナジーハーベスタへのNdFeB薄膜磁石応用
• 2017 (H29) 本郷　裕之 ： 面外方向の磁界を検出する振動型磁気センサ
• 2016 (H28) 氏家　朱理 ： ローレンツ力を用いたMEMS磁気センサ
• 2016 (H28) 牛田　大樹 ： ノーマリオフシステムのための無指向性加速度センサの提案
• 2016 (H28) 北川　雄基 ： 振動型エナジーハーベスタのための磁気反発力を用いた耐衝撃構造
• 2016 (H28) 寺岡　　甫 ： 洗えるウェアラブルデバイスのための振動型エナジーハーベスタの基礎研究
• 2016 (H28) 遠山　　蒼 ： 多層化圧電膜によるMEMSハプティックデバイス
• 2016 (H28) 月山　元貴 ： ポスト集積回路プロセスによるモノリシックMEMSデバイスの基礎研究
• 2016 (H28) 中村　健太 ： 低消費電力生体信号処理デジタルプロセッサに関する研究
• 2016 (H28) 藤田　亮介 ： 高引き裂き強度を持つ材料を用いたフレキシブルセンサ
• 2015 (H27) 嶋　　真弥 ： ウェアラブルを指向した圧電型MEMSハプティクスデバイス
• 2015 (H27) 服部　喜優 ： 低電力バイタルモニタリングシステムのためのモノリシック集積回路
• 2015 (H27) 廣田　朝地 ： MEMS材料としてのSiGe薄膜の物性評価と応用
• 2015 (H27) 松井　恵美 ： 小型発汗計測デバイス
• 2015 (H27) 吉井　真一 ： 静電型エナジーハーベスタのためのNdFeB薄膜磁石を用いたプルイン防止機構
• 2014 (H26) 榎本　翔太 ： SoCを指向した生体モニタリングシステムのアーキテクチャ
• 2014 (H26) 大久保　昴 ： エポキシ系樹脂を構造体としたPZT-MEMS
• 2014 (H26) 武原　進拓 ： 小型片持ちはりによる液体粘度評価に関する研究
• 2014 (H26) 戸田　慎也 ： ウェアラブルデバイスを指向したストレッチャブル配線
• 2014 (H26) 竹平　徳崇 ： 振動型電磁式エナジーハーベスタ高出力化のための設計指針
• 2014 (H26) 中本　翔満 ： 振動型エナジーハーベスタに向けたバイステーブル構造
• 2014 (H26) 藤原　　潤 ： 超低消費電力心電取得用アナログフロントエンドに関する研究
• 2014 (H26) 三輪谷直輝 ： 静電型エナジーハーベスタのためのフリンジ効果を考慮した静電容量解析
• 2013 (H25) 佐野　　良 ： スタンダードPZTMEMSプロセスに関する研究
• 2013 (H25) 南　　啓大 ： 静電型エナジーハーベスタのSPICEモデルと最適設計
• 2013 (H25) 森上　慎悟 ： PZT薄膜の斜面上への成膜とアクチュエーターへの応用
• 2013 (H25) 山口　晃平 ： 微細凹凸形状へのNdFeBスパッタを用いた電磁型エナジーハーベスタの最適構造化
• 2013 (H25) 山本　弘貴 ： 残留応力を利用した振動発電用シリコン座屈構造
• 2013 (H25) 鷲野　史拓 ： 加速度の最大値最小値保持および歩数抽出機能をもつ低消費電力ASIC
• 2012 (H24) 池田　　玲 ： PSoCを用いた生体情報モニタリングシステムの小型化
• 2012 (H24) 井上　純一 ： スパッタリングによるPZTバイモルフの形成とMEMSへの応用
• 2012 (H24) 梶村　尚伍 ： MEMSへの応用を指向したSi構造体側壁へのPZTスパッタ成膜とその評価
• 2012 (H24) 勝間　洋行 ： 振動型静電式エナジーハーベスタのためのエレクトレット荷電特性評価
• 2012 (H24) 佐藤　洋太 ： 環状受光部を持つパルスオキシメータの試作
• 2012 (H24) 田中　祐至 ： 蛇行コイルを用いた振動型電磁式エナジーハーベスタの提案と設計
• 2012 (H24) 内藤　　傑 ： ハニカム絶縁層を有する低寄生容量SOIウエハの作製
• 2012 (H24) 松本　裕貴 ： 身体活動モニタリングシステムの低消費電力化に向けた加速度情報処理用ASIC
• 2011 (H23) 青木　俊介 ： 超厚膜SiO2構造体の機械的特性評価
• 2011 (H23) 大西斗志一 ： TEOS-SiO2による振動発電のための高耐熱エレクトレット膜
• 2011 (H23) 狩野　公秀 ： 擬似SoCのためのチップ埋め込み技術
• 2011 (H23) 小峠　竜也 ： 衝撃による減衰振動を利用した振動型電磁エナジーハーベスタ
• 2011 (H23) 宮本　亜聖 ： ウエハ貼付け技術によるMEMSガイガーカウンタの試作
• 2011 (H23) 柚木　厚志 ： 小型ECGセンサを指向したInフリップチップボンディング
• 2011 (H23) 明石　　優 ： 薄膜PZTによる表面MEMS向け直交駆動アクチュエータ
• 2011 (H23) 岸田　裕士 ： PSoCを用いた無線脈波検出システムの小型化
• 2011 (H23) 原田　　涼 ： ハイブリッド集積化ECG回路のためのNiCr薄膜抵抗体
• 2010 (H22) 田中　智也 ： 身体活動モニタリングシステムを指向した8051互換CPU
• 2010 (H22) 藤井　孝平 ： シリコングリッド電極エレクトレットパワーハーベスタ
• 2010 (H22) 牧村　賢一 ： シリコン光導波路を用いたリングレーザジャイロの提案
• 2010 (H22) 正岡　真伍 ： NdFeB薄膜を用いた電磁型パワーハーベスタ
• 2010 (H22) 密山　京太 ： シリコントレンチ酸化による石英構造体の作製
• 2010 (H22) 宮川　宜和 ： 赤外線センサのための真空パッケージング技術
• 2010 (H22) 山川　隆洋 ： 振動型加速度センサのディジタル駆動検出システム
• 2010 (H22) 吉井　拓也 ： 身体活動モニタリングシステムにおける心拍データ取得
• 2009 (H21) 石井　雅敏 ： 小型ワイヤレス脈拍モニタリングシステム
• 2009 (H21) 植田　浩二 ： ボロメータ型赤外線温度センサに関する研究
• 2009 (H21) 塩野　祥平 ： 常圧封止による静電容量型圧力センサ
• 2009 (H21) 田中　伸哉 ： センサシステム用アナログCMOS-ICとそのアセンブリ
• 2009 (H21) 中出　圭亮 ： 振動型エレクトレット発電器とその選択的荷電手法の提案
• 2009 (H21) 三木　省吾 ： 省電力システムのための低しきい値MOSトランジスタ
• 2008 (H20) 豊永　智彦 ： DMD多重露光による加速度センサ
• 2008 (H20) 永田　和幸 ： 振動型MEMS加速度センサの高Q値振動梁形状に関する研究
• 2008 (H20) 久家　弓弦 ： MEMSミラーの精密角度制御のためのHoled-PSDに関する研究
• 2008 (H20) 前家　純二 ： MEMS-Ring Laser Gyroの光学系アライメント機構に関する研究
• 2008 (H20) 松木　勇介 ： MEMSガスジャイロ用マイクロポンプと周辺流路に関する研究
• 2008 (H20) 山口　晃広 ： MEMS材料としてのゾルゲルPZT薄膜の特性評価
• 2007 (H19) 高　　崇裕 ： BM3Pプロセスを用いたアクチュエータとセンサに関する研究
• 2007 (H19) 竹田　晃大 ： γダイポールを用いたDeep　RIE装置の試作
• 2007 (H19) 井口　　薫 ： 振動型加速度センサの薄膜梁構造に関する研究
• 2007 (H19) 岸田　雄介 ： 感光性樹脂への多重露光による圧力センサ
• 2007 (H19) 園田　晃司 ： 静電容量型３軸加速度センサとそのASICに関する研究
• 2007 (H19) 竹本　和弘 ： シリコンミラーによる光干渉変位測定に関する研究
• 2007 (H19) 永谷　吉祥 ： MEMSミラー制御のための貫通孔つきPSDに関する研究
• 2007 (H19) 前川　賢太 ： 2軸バルクPZTジャイロに関する研究
• 2006 (H18) 石谷　　聡 ： マイクロ波電力増幅器の並列合成によるひずみ特性改善に関する研究
• 2006 (H18) 岩元　慶介 ： 並列ダイオードリニアライザによるマイクロ波電力増幅器のひずみ補償
• 2006 (H18) 駒村　直也 ： 直列ダイオードリニアライザによるマイクロ波電力増幅器のひずみ補償
• 2006 (H18) 杉浦　　肇 ： 高圧用圧力センサに関する研究
• 2006 (H18) 鈴木　文章 ： マルチ環境センシングシステムを指向した加速度センサと周辺回路に関する研究
• 2006 (H18) 高瀬　　誠 ： 往復流を用いたガスジャイロスコープに関する研究
• 2006 (H18) 瀧野　文哉 ： ゾルゲル法を用いた強誘電体PZT薄膜の成膜と応用
• 2006 (H18) 田口　正敏 ： DMD露光機を利用した三次元構造体形成に関する研究
• 2006 (H18) 田中　佳人 ： 厚みすべり振動を参照振動とするジャイロの設計とその試作
• 2006 (H18) 橋本　泰知 ： MEMSリングレーザジャイロのレーザ共振機構に関する研究
• 2006 (H18) 柾木健太郎 ： マルチ環境センシングシステムとその応用に関する研究
• 2006 (H18) 文　　成民 ： シリコン上への直接金めっきおよびニッケルめっきに関する研究
• 2005 (H17) 伊賀　友樹 ： スパッタ法によるPZT薄膜の形成とそのMEMSへの応用
• 2005 (H17) 岡田　宏紀 ： 振動型加速度センサの感度向上に関する研究
• 2005 (H17) 釜谷　厚希 ： 集積化センサを指向した湿度センサに関する研究
• 2005 (H17) 龍井　良明 ： 微小流速センサの作製とそのガスレートセンサへの応用
• 2005 (H17) 橋野　義弘 ： 大口径MEMSミラーの機械的強度改善に関する研究
• 2005 (H17) 秀島　陽子 ： マイクロ波デュアルバンド並列合成GaAsFET電力増幅器に関する研究
• 2005 (H17) 山口　一幸 ： 高調波制御によるマイクロ波電力増幅器の３次相互変調ひずみ低減に関する研究
• 2004 (H16) 大野　博史 ： マイクロ波電力増幅器の相互変調歪み特性に関する研究
• 2004 (H16) 金山　陽平 ： マイクロ波FET電流モデルの相互変調歪み解析精度に関する研究
• 2004 (H16) 小原　弘士 ： バルクPZTジャイロスコープの特性解析とその試作
• 2004 (H16) 中道　　傑 ： シリコン上への直接金めっきとその高周波回路素子への応用
• 2004 (H16) 福本　洋祐 ： マルチ環境センサ用 CMOS ASIC に関する研究
• 2004 (H16) 松下　裕子 ： バルク及び表面MEMS技術による円盤振動型ジャイロスコープの設計と試作
• 2004 (H16) 吉田　憲弘 ： シリコンMEMSミラーの大口径化に関する研究
• 2004 (H16) 渡邊　一嗣 ： マイクロ波電力増幅器相互変調歪み特性のバイアス回路依存性
• 2003 (H15) 荒木　英之 ： マイクロジャイロのための高Ｑ値振動体に関する研究
• 2003 (H15) 内田　浩司 ： マイクロ波高出力デュアルバンド増幅器に関する研究
• 2003 (H15) 大谷　友昭 ： 深いAB級超高周波高出力Si MOSFETの低歪み化に関する研究
• 2003 (H15) 岡本　吉矢 ： 2 層ポリシリコンによる表面MEMSプロセスに関する研究
• 2003 (H15) 小野　健一 ： シリコン{111}面を用いたミラーに関する研究
• 2003 (H15) 金子　裕昭 ： マイクロメカニカル共振構造に関する研究
• 2003 (H15) 上月　将弘 ： 十字梁構造を有する振動型加速度センサに関する研究
• 2003 (H15) 田中　稔彦 ： 高分子材料を用いたジンバル型マイクロミラーに関する研究
• 2003 (H15) 三木　芳彦 ： ICP-RIEとそのシリコンエッチング特性に関する研究
• 2002 (H14) 綾井　隆文 ： マイクロ波高出力SiMOSFETドハティ増幅器の設計及び特性に関する研究
• 2002 (H14) 荒木　雅行 ： 超高周波シリコン集積回路を指向した平面回路基本素子に関する研究
• 2002 (H14) 池野　泰弘 ： 金属材料を用いた振動デバイスに関する研究
• 2002 (H14) 金子　　悟 ： 筋電位計測のための微小電極アレイに関する研究
• 2002 (H14) 島本　延亮 ： PZT・Si　ユニモルフ構造とその応用
• 2002 (H14) 西村　　実 ： バルクPZTにおける高次共振モードの解析
• 2002 (H14) 樋口　　健 ： 数値解析手法による超高周波高出力SiMOSFETの相互変調歪み低減化構造
• 2001 (H13) 青田　一仁 ： マイクロ波Si MOSFETの小信号等価回路パラメータ抽出法に関する研究
• 2001 (H13) 上田　英喜 ： エポキシ感光樹脂を用いたマイクロレンズに関する研究
• 2001 (H13) 大谷　稔彦 ： SOIウエハによる3軸加速度センサ/圧力センサとその周辺回路に関する研究
• 2001 (H13) 木村　俊彦 ： 金属めっき構造体による超高周波平面基本回路素子に関する研究
• 2001 (H13) 澤井　信博 ： 円筒振動体を持つマイクロジャイロスコープに関する研究
• 2001 (H13) 下山　尚保 ： 高分子型湿度センサとその周辺回路に関する研究
• 2001 (H13) 高木　　優 ： 金属めっき構造体による超高周波スイッチに関する研究
• 2001 (H13) 高橋　英樹 ： 超高周波出力Si MOSFETプッシュプル増幅器に関する研究
• 2001 (H13) 原田　哲治 ： 超高周波Si MOSFET電力増幅器の特性改善に関する研究
• 2000 (H12) 岩本　俊介 ： X線マスクに関する基礎研究
• 2000 (H12) 牛尾　浩二 ： PZT貼り付けによる超音波デバイス
• 2000 (H12) 前田　耕平 ： 光集積システムに関する基礎研究
• 2000 (H12) 八幡　直樹 ： 高アスペクトマイクロコイルに関する研究
• 1999 (H11) 足森　洋平 ： 振動円筒型ジャイロスコープの提案と設計
• 1999 (H11) 入江　　進 ： メンブレン構造を持つマイクロジャイロのハードスプリング効果に関する研究
• 1999 (H11) 織田　優子 ： 微小静電容量検出のための集積回路に関する研究
• 1999 (H11) 坂本　和也 ： マイクロミラーの２軸化に関する研究
• 1999 (H11) 日吉　康介 ： 表面マイクロマシニングを用いた構造体の試作と評価
• 1999 (H11) 平尾　泰隆 ： イオン注入によるピエゾ抵抗の試作とその応用に関する研究
• 1998 (H10) 東　　邦彦 ： 増幅器の高調波歪みに関する研究
• 1998 (H10) 井奥　　淳 ： LIGAライクプロセスによる可動構造体の試作
• 1998 (H10) 岡田　　茂 ： バッチプロセスによるSOIシリコンマイクロジャイロに関する研究
• 1998 (H10) 中川　貴明 ： 加速度センサのマウスへの応用に関する検討
• 1998 (H10) 縄手　優克 ： シリコンマイクロ加速度センサ
• 1998 (H10) 西村　　隆 ： 高分子膜によるマイクロ光学スキャナ
• 1998 (H10) 春名　俊希 ： 集積化コイルとそのインターフェイス回路の設計
• 1998 (H10) 渕　　暢之 ： 赤外線を用いた声道形状の識別に関する研究
• 1998 (H10) 森　　明弘 ： マイクロホットワイヤの作製とその応用
• 1997 (H9) 青野　友紀 ： シリコン角速度センサとその集積化に関する研究
• 1997 (H9) 浅田　和磨 ： センサフュージョンによる３次元ポジションセンシング
• 1997 (H9) 池田　英広 ： 高アスペクト比構造体実現に関する基礎的研究
• 1997 (H9) 岡本　和人 ： 振動型ジャイロ用ASICの試作及び評価
• 1997 (H9) 大槻　良輔 ： 超音波センサを用いた口内形状のセンシングに関する基礎的研究
• 1997 (H9) 瀧山　寛之 ： マイクロマシニングを用いた微小流量センサの試作とその応用
• 1997 (H9) 波多野健太 ： 振動円盤型ジャイロの試作
• 1997 (H9) 村岡　隆正 ： 円盤振動型ジャイロの構造設計
• 1997 (H9) 村主　　誠 ： 非線形特性を考慮した増幅器の解析法の提案
• 1996 (H8) 磯部　　寛 ： ポジションセンシングのためのニューラルネットワークの学習効率改善に関する研究
• 1996 (H8) 北川　啓明 ： FET電力増幅器の効率に関する研究
• 1996 (H8) 瀬戸野真吾 ： シリコン加速度センサに関する研究
• 1996 (H8) 徳永　理人 ： マイクロマシニングによるガスレートジャイロの基礎研究
• 1996 (H8) 福吉　　崇 ： インテリジェントセンサを指向した集積回路の設計及び試作
• 1996 (H8) 藤原　成悟 ： SOIウェハを用いたマイクロガスポンプに関する研究
• 1996 (H8) 宮崎　英樹 ： SOIウェハによる振動型センサのためのアクチュエータに関する検討
• 1996 (H8) 宮本　　悟 ： マイクロファブリケーションのためのドライプロセスに関する研究
• 1995 (H7) 大竹　正記 ： 振動型センサ駆動用アクチュエータに関する研究
• 1995 (H7) 須本　貴章 ： 3入力ニューラルネットワークを用いた位置検出に関する研究
• 1995 (H7) 十倉　知之 ： 磁界を媒体とした屈曲検出に関する研究
• 1995 (H7) 原　桂太郎 ： 高周波FETのゲート伝送線路モデルに関する研究
• 1995 (H7) 藤原　誠司 ： 高周波FETのゲート伝送線路モデルに関する研究
• 1995 (H7) 諸頭　正隆 ： ニューラルネットワークの学習効率に関する研究
• 1994 (H6) 生野　晃良 ： シリコンレートセンサにおける加速度感度の理論解析
• 1994 (H6) 田中　成人 ： シリコンマイクロマシニングによる平面アクチュエータに関する研究
• 1994 (H6) 秦　　克範 ： 超高周波FETのゲート構造に関する研究
• 1994 (H6) 馬場　　一 ： 三次元磁気センサを用いたタブレタイザに関する研究(指節間関節の曲がり角検出)
• 1994 (H6) 藤田　孝之 ： マイクロマシニングによるシリコンレートセンサ
• 1994 (H6) 宮崎　真一 ： 超高周波FETゲート構造に関する研究
• 1993 (H5) 大谷　武志 ： シリコン異方性エッチングを用いた２次元アクチュエータに関する研究
• 1993 (H5) 小西　保司 ： マイクロマシニング技術を用いたシリコンレートセンサ
• 1993 (H5) 清水雄一郎 ： 磁気センサを用いた三次元タブレタイザに関する研究

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