研究紹介

　我々を取り巻く電子、機械、情報などの産業はめざましい発展を遂げており、ナノメートル（１０億分の１メートル）オーダーでの加工精度が求められています。このような加工精度の領域では、最先端と呼ばれている技術でさえ原理的な限界に達しつつあり、全く新しい加工技術が求められています。

　ナノ加工・高機能性構造開発研究グループでは、数千個のガス原子・分子が塊となった粒子（ガスクラスターイオン）を、固体表面に衝突させることにより、ナノメートルオーダーでの表面加工を開発しています。ガスクラスターイオンが固体表面に衝突した際には、表面のみに高密度エネルギー状態を形成するため、低損傷・低温・高効率でのナノ加工が可能となり、高精度加工・表面改質・表面分析など幅広い分野での応用が期待されています。

　ガスクラスターイオンビーム技術の産業界への普及を図っています。国内外の企業と連携し、次世代半導体デバイス、磁性材料、フォトニックデバイス、生体材料などの表面加工への応用を検討するとともに、新規装置の開発を行っています。

　本グループには、ナノ精度表面加工、サイズ選別照射装置、薄膜形成装置など、世界唯一の装置や高精度計測装置が設置されており、基礎研究と最先端加工技術の開発を進めています。