研究紹介

　マイクロ加工・複合センシング研究グループでは、人の安全と健康管理を目的とした複合マイクロセンサ技術の開発を行っています。血圧や脈拍あるいはその波形に代表される個人の体調とその活動状況や周辺環境の状態を計測する複数のセンサを集積化するとともに小型発電機、無線通信素子を統合化し、人の安全と健康を支援するシステムの構築を目指します。

　人の活動状況を常時センシングするためには、装着感が無く、長時間動作可能なシステムが必要となります。そのため本研究グループでは、マイクロセンサ、専用集積回路の低消費電力化・小型化を進めており、人の動作から発電して必要な電力をまかなう小型発電機（エナジーハーベスタ）の開発も行っています。最終的にはこれらを一体化した微小電気機械システム（MEMS）とすることを目指しています。

　所有する半導体プロセス装置を用いて、センサ・回路素子を研究グループ内で試作することが可能であるため、製作における新規の技術や特殊材料の使用によるグループ独自のデバイス開発や、アイデアや工夫を積極的に設計・試作段階で取り入れた研究を行っています。

　さらに、目標とするシステムに必要となる機能および性能探査のため、各種センサから得られた１次情報をどのように処理することで、目標とする体調や活動状況などの２次情報が得られるのか、システムとしての消費電力低減のためにはどこまでの１次情報が必要となるのかなど、信号処理・アルゴリズムについての研究にも取り組んでいます。